摘要
ll5;09 \Hb!<mrp 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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5; /cClV"S*G
{eU>E/SQ ddL3wQ 建模任务
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ox SSEs 光栅特性与参数的严格分析
;*rGZ?%* 7s%D(;W_Mo 不同光栅周期下的衍射效率
P:g!~&Q q2#Ebw%]
9(fh+ OR&pGoW 关于光栅周期选择的考虑
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Z~r. + &DGqY5= 偏振相关的衍射特性
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)*%uG{h e3n^$'/\r 通过参数优化进行光栅设计
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g 固定周期的2D参数优化
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4+qo=i 2D参数优化–设计1
x=0Ak'1M qh bagw~
.+2:~%v6 @}jg5} 2D参数优化–设计2
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DaH4 Br.2 dw#pObH|` 制造
公差分析–设计2
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Z ral=`/p
Wv5=$y c-zW
2;|61 变化光栅周期的3D参数优化
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O /p;OZf]
fC"?r6d DB"z93Mr<K 制造公差分析
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x15&U\U xNY&*jI 走进
VirtualLab Fusion
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S]E|a@kD3 ^Gbcs
l~Gj VirtualLab Fusion中的工作流程
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_ y'g11 \
*W=1yPP •构造光栅
结构 Oxu}W%BF* −通过使用界面来配置光栅结构
E08!a [用例]
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.Pbbs% •分析光栅衍射效率
BDL[C<d( −光栅级次分析器[用例]
}q_Iep •使用参数运行搜索初始解决方案
CC6]AM(i −参数运行文档的使用[用例]
/L`qOr2E •通过参数优化找到最终设计
*ax&}AHK[/ abe5 As r VirtualLab Fusion技术
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