摘要
nAX|=qp# T4#knSIlh 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
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:^*V[77 @t2 Q5c 建模任务
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2$Ji4`p}S 光栅特性与参数的严格分析
+Va?wAnr XnY}dsSO 不同光栅周期下的衍射效率
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^GAdl} SB'YV#-- 关于光栅周期选择的考虑
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f|G7L5- 87Uv+((H 偏振相关的衍射特性
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#,PAM.rH *~cs8<.!1 通过参数优化进行光栅设计
X|QCa@Foe G9a%N 固定周期的2D参数优化
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yUSB{DLpla GufP[|7b- 制造
公差分析–设计2
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JAb?u.,Ns_ 4QN;o%, 变化光栅周期的3D参数优化
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制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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jDX<iX%e 1(i>Vt.+ VirtualLab Fusion中的工作流程
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f<<lq •构造光栅
结构 ww($0A`ek −通过使用界面来配置光栅结构
Uo}&-$ B [用例]
7Hl_[n| •分析光栅衍射效率
-p.*<y −光栅级次分析器[用例]
i5KwYoN •使用参数运行搜索初始解决方案
mrC+J* −参数运行文档的使用[用例]
^A[`NYK •通过参数优化找到最终设计
~snF20 M6'C 3,y0 VirtualLab Fusion技术
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