摘要 {hE\ECT- =Eh~ wm
共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
{p70(
]v 3fb"1z# 建模任务 ` !JcQ' u l1EI4Y9KG 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
N
N1(f JIA'3"C 焦点区域的探测场 L XGlG p 1O[ QQ| Ag6^>xb^ 测试对象的直接反射 ZbZCW:8>k )[c@5zy~* $N[R99*x8 测试对象的直接反射 XITh_S4fs= \'BA}v
&/ '0\v[f{K3G 测试对象的像 \ QZ~w_ -k+}w_<Q XEB1%. p 测试对象的像 x9U(,x6r 1dl@2CVS `F^~*FnR,B 功率测量与测试对象的横向偏移 :O~*}7G
