摘要 mc9$" Eb{TKz? 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
?&/9b)c S F!a YK2 建模任务 ;'p0"\SV w8>T ~Mv 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
;Oe6SNquT PB }$.8 焦点区域的探测场 :4)mv4Q |vEfE{ n7{1m$/ 测试对象的直接反射 yd>kJk^~/ Qj3UO]> zxwpS 测试对象的直接反射 )OjbmU!7 O#u)~C?)8 rV2}> k 测试对象的像 cH2
nG:H hA/FK ~(hmiNa; 测试对象的像 ixfkMM,W C"0gAN ~Bu~?ZJmd 功率测量与测试对象的横向偏移 JziMjR