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{2s 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
hC<E4+5., qrw*?6mSQ 建模任务 TeZu*c
R7z @y o 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
^2rj);{V 8irTGA 焦点区域的探测场 "\;n t5L *<
fJgc"3 o+}1M 测试对象的直接反射 ?rt[
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Gv-$0{P3 q$v0sTk0Y 测试对象的直接反射 #huh!Mn @Q ~;@M X04LAYY_u 测试对象的像 67T.qX2I$ e&ZTRgYdi jc:=Pe!E 测试对象的像 A-myY30 zD8$DG8 N,9~J"z 功率测量与测试对象的横向偏移 _M7|:*