摘要 c z'5iK 2&LQg=O 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
On_@HQ/FI 7[#xOZT 建模任务 x?,9_va] kuMKX`_ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
>)nS2bOE '+y_\ 焦点区域的探测场 vT{ kL v! hY l?q qqB 测试对象的直接反射 |zsbW9
W*m ?+C V1 ] qYB~VE03 测试对象的直接反射 n D6G tjnPyaJEl V2 d,ksKwn 测试对象的像 ]ya; v ' hlbvt-C?}" Qst$S} n 测试对象的像 +OaUP*\Dd .T B"eUy @R6 ttx 功率测量与测试对象的横向偏移 <,@%*G1-