摘要 9i\RdJv.
L<!h3n 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
cg8/v:B Ak?9a_f 建模任务 Okci L] epsRv&LfC 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
{N2GRF~c-y B~I ]3f 焦点区域的探测场 -s 0SQe{!_
z:-{ Y2F g=\(%zfsxr 测试对象的直接反射 dHY@V> D'-
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wo&IVy@s$ z -? \ b^ 功率测量与测试对象的横向偏移 l -XfUjJ
