摘要 d5sGkR`( '.h/Y/oz 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
G7/?hky 0. {M)3GsP? 建模任务 G"U>fwFuK S,`Sq8H 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
l9ifUhe n6%jhv9H 焦点区域的探测场 *(\;}JF- j0pvLZjM t7!>5e)C} 测试对象的直接反射 ktw!T{ F'5d\ v vY0V{u?J 测试对象的直接反射 o.
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&0@&U &Xl_sDvt 测试对象的像 Y%CL@G60 od5w9E. UB&S 2g 测试对象的像 J%Z)# "mP*}VF qs
c-e,rl 功率测量与测试对象的横向偏移 B'gk/^6$eg