摘要 bA2[=6
$)c[FR~a 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
BNA1"@9q g.blDOmlc 建模任务 vJct)i Z__fwv.X[ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
'vu]b#l3 =./PY10' 焦点区域的探测场 fv+d3s?h
,)!%^~v ePl+ M 测试对象的直接反射 R]Z#VnL@qz
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}.U(Gxu$ n9 FA`e 功率测量与测试对象的横向偏移 ^_V0irv