摘要 =6XJr7Ay8u KW* 2'C& 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
S'Hb5C2u yqEX0|V% 建模任务 M bj{C ,g.*Mx`- 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
i++a^f +VJS/ 焦点区域的探测场 |[)k5nUQ| n(i Uc1Y FeW}tKH 测试对象的直接反射 y$
L@!r/s m#}41< 9g7d:zG 测试对象的直接反射 b`%3> +-DF3( V`c"q.8 测试对象的像 eGwO!Lv}B z%)~s/2Rs kPhdfF*Q 测试对象的像 ~4 ~c+^PF 9H~2
iW,Q; mH1T|UI 功率测量与测试对象的横向偏移 <EhOIN7@*D