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M{H&5 9v 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
) ad-s n5 i}J/Sa2 建模任务 $@x kKe" Ob+&!XTp?0 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
\Q$);:=q Q vf m-K;,# 焦点区域的探测场 7%'<}u
$X?V_K;9/ |j+~Td3})& 测试对象的直接反射 mvw:E_
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)/ 功率测量与测试对象的横向偏移
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