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(>OCLmV$ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
Uv(THxVh y8$TU; 建模任务 7,sslf2%K r&G=}ZMO 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
w2!5Cb2 *o/ Q# 焦点区域的探测场 pN[G ?A
| 'SqG}h fR=B/` 测试对象的直接反射 3MR4yw5v
i#@3\&{J> |kHPk)}I] 测试对象的直接反射 Hw1<! Dyv
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2Mc}>UI?eO 5z8!Nmb/ 测试对象的像 L{hP&8$k
"g)@jqq:> xwwy9:ze*l 功率测量与测试对象的横向偏移 +v 9@du
