摘要 nY(jN D *d(wO l5[ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
TmO\!` FJ#V"| } 建模任务 ?(ks =rRK lW7kBCsz# 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
}3N8EmS #%+IU 焦点区域的探测场 I80.|KIv >~XX' } 'jmcS0f
- 测试对象的直接反射 UpB7hA YBg\L$| n e6{/e +/R 测试对象的直接反射 :*Ckq~[Hg ,g^Bu {? EStHl(DUPq 测试对象的像 /&ph-4\i |=GRPvvi o#w6]Fmc 测试对象的像 6bfk4k a}e7Q<cGj qf7.Sh 功率测量与测试对象的横向偏移 "hQV\|!\
