摘要 vf[&7n
Y|_O8[ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
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{=~V pzi q0 建模任务 fa4=h;>a+ ZvH?3Jy 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
X{`1:c'x 7|Xe&o<n 焦点区域的探测场 i@XB&;*c\
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Ju? W+K.r?G<j 测试对象的直接反射 07FT)QTE
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JCD?qeTg IT18v[-G 功率测量与测试对象的横向偏移 l#$TYJi