摘要 u:<%!? JoIffI?{(D 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
& Z*&& vxY7/ _] 建模任务 HSq&'V L~CwL 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
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+MqXeq 焦点区域的探测场 ;}WdxWw4 k oZqoP 8.F]&D0p8 测试对象的直接反射 E*i <P L-",.U*; $D<LND=o= 测试对象的直接反射 ig)rK<@*[
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[XBp !*'uPw:l2 vrLI`3n] 功率测量与测试对象的横向偏移 aU4v-9@U8