摘要 o;4e)tK &M3ES}6 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
lAn+gDP [}ZPg3Y 建模任务 =PFR{=F Xvj=*wg\Y 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
'*N9"C EhIV(q9x 焦点区域的探测场 mk%"G =w Zp(=[n5 ;j>Vt?:Pw 测试对象的直接反射 Z#F,y)YiO vf'cx:m p37zz4 测试对象的直接反射 oa &z/`@ J(EaE2 EN-H4F 测试对象的像
y^!E " lQdnL.w$.4 3cCK"kr 测试对象的像 `?]rr0.}hp G=C5T( RF4$ 功率测量与测试对象的横向偏移 2&gd"Ak(