摘要 V0&7 MY *
o_[~{@ RoR 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
E AKW^'D &^ uaoB0 建模任务 m_BpY9c]5 jp@X,H ES 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
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u 焦点区域的探测场 x K\i&A
`P-d. M6Oa 8bO+[" c 测试对象的直接反射 i[{*(Y$L
UQ7La 7" aGsO ~ODc 测试对象的直接反射 VGu(HB8n#
J^%E$ s U5@B7v1 测试对象的像 ]#rV]As
jO|`aUY Tf qLc&.O.= 测试对象的像 ua &uR7
#F2DEo^0 QZa^ Cng~ 功率测量与测试对象的横向偏移 d(R8^v/L
