摘要 ' -[ nn$,|/ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
zLuej' lKEdpF< 建模任务 a;m-Vu! z=vfP% 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
swuW6p YVZm^@ZVV 焦点区域的探测场 GEy^*, d ZVE q{x1Zc E
N%cjvE 测试对象的直接反射 ~P|YAaFx I(ds]E
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Z; $d%m%SZxv fb4/LVg'J 功率测量与测试对象的横向偏移 FSd842O