摘要 M97p.; ; !/q&0 a 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
6'lT`E| L08;z 建模任务 ,i((;/O6 >IydXmTy 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
ng)yCa_Ny ^=M(K '' 焦点区域的探测场 U~`^Y8UF #i#.tc KVe'2Q< 测试对象的直接反射 ra#)*fG,~ sf&K<C]( u2Z^iY 测试对象的直接反射 4Fc1' @T=HcUP) *[/Xhx" 测试对象的像 .&!{8jBX -bX.4+U ;;J98G|1 测试对象的像 ,rPyXS9Sa{ I6Q_A \$Qm2XKrK 功率测量与测试对象的横向偏移 03jBN2[!