摘要 cy)L%`(7
HGWwGd 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
Xu3^tH-b< XT{1!I( 建模任务 9Lk.\. 1)#<nk)I 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
5Ag]1k{ ?P<&8eY 焦点区域的探测场 8 PXleAn
oVoTnGNM6 }O2hhh_ 测试对象的直接反射 wa<@bub
@WhcY*R2 7Yk6C5C 测试对象的直接反射 &lBfW$PZjk
RK'3b/T ;TmwIZ 测试对象的像 +/\.%S/
1Na CGD" YH':cze 测试对象的像 4mshB
feNr!/ QV{Nq=%] 功率测量与测试对象的横向偏移 b44H2A.