摘要 VT+GmS \DfvNeF 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
F.T~txQ~u VS 8|lgQ 建模任务 )iEK7d^- =3& WH0 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
W_kJb BT`6v+,h7k 焦点区域的探测场 (}Gl'.>\M (*hA0&n
g]d@X_ &D 测试对象的直接反射 -|V@zSKr3 a2x2N_\=/D Ij4\* D! 测试对象的直接反射 )B8[w # Dy;x\a )V9$ P) 测试对象的像 a{]1H4+bQ |w\D6d]o 'kYV}rq;l 测试对象的像 LsBDfp5/ ^t#]E# 2t[inzn=E 功率测量与测试对象的横向偏移 7p2x}[ .\