摘要 $Th)z}A}EA
i/1$uQ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
Ve&_NVPrd ?_Z-}f 建模任务 wlaPE8Gc 6[c|14l 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
`Hlf.>b1 e5P9P%1w 焦点区域的探测场 G2)F<Y
Y%;X7VxU* L\:m)g,F. 测试对象的直接反射 3Z=yCec]
?X@[ibH6 '5De1K.\` 测试对象的直接反射 P=jsOuW
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sJ 功率测量与测试对象的横向偏移 ?{J1Uw<