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N@o?b 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
XkKC! _#$9 y1bd 建模任务 2Nc>6 hmbj*8 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
D]! aT+ 1{"llD 焦点区域的探测场 ;+ "f
iP~,n8W 5wt TP ;P 测试对象的直接反射 vW,snxK6y&
5m$2Ku q!'rz 测试对象的直接反射 c/W=$3
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Nf,Z;5e i?;r7> 功率测量与测试对象的横向偏移 jLg@FDb~