摘要 k{?!O\yY lt{lHat1 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
FwXKRZa @k_Jl>X 建模任务 } /[_ "3\oQvi. 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
4[2=L9MIo~ Tt{U"EFO 焦点区域的探测场 &fCP2]hj' gW'P`Oxw 1d/NZJ9 测试对象的直接反射 $K+4C0wX` '$n:CNha tCuN?_UG 测试对象的直接反射 )Y=w40Yzd qUifw @ \m(ymp<c` 测试对象的像 i/5y^
fEHh]%GT` olYPlHF 测试对象的像 9 %D$T'K IRlN++I! 1P(%9 功率测量与测试对象的横向偏移 wCV>F-