摘要 |v& &%>A2
nq;)!Wry 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
Fk:(% ci V{r@D!} 建模任务 fA^ O R<)uvW _@ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
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FP$]D~DMo qJ ! xhf1 功率测量与测试对象的横向偏移 i || /=ai
