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X:&p9_O@ 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
2j1v.% 7G/|e24 建模任务 MXk. 2 ue<<Y"NR 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
pVS2dwBqE y51D-vj 焦点区域的探测场 yMl'1W
DAHf&/JK c0q) 测试对象的直接反射 sA-W^*+
PRC)GP&q NqE7[wH 测试对象的直接反射 ID# qKFFW
N09+id g g4a X 测试对象的像 v9lBk]c
E:=KH\2f zB"
`i 测试对象的像 T,2Dr;
cjC6\.+l3 <<5 :zlb 功率测量与测试对象的横向偏移 %yM'
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