摘要 U%t/wq .`&/QiD 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
:6j :9lYL2 GP[r^Z 建模任务 )uid!d ,ANK3n\ 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
99Yo1Q0 iE^a%|?} 焦点区域的探测场 %|(?!w7 ]AA%J@ ZutB_uW 测试对象的直接反射 /uE^H%9h v^c<`i; R,+/A8[j 测试对象的直接反射 '#N5i uB<F.!3 WTD49_px 测试对象的像 ljJz#+H2_ TwuX-b 2yQ}Lxr( 测试对象的像 RzzFhU#r IjDT'p_ +~4bB$6*4) 功率测量与测试对象的横向偏移 \5[D7}