摘要 Gmz6$^D , #kIr 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利，后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光，有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中，我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜，并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
tmtT ( Zg .& V 建模任务 0MdDXG-7 3F <VH 共聚焦扫描显微镜是如何工作的，它如何检测物体横向位移导致的
功率变化？
$-*!pRaVU v 7x:dcV 焦点区域的探测场 XSZ k%_ ze]h..,]K ~Onoe $A[< 测试对象的直接反射 ziCHjqT }O4^Cc6 TG5XSy 测试对象的直接反射 .>IhN 5 +o51x'Ld* Ht4 ;5?/y 测试对象的像 Mwr"~?\\ 82DmG@"s2 E}tqQ*u 测试对象的像 '^"6+ k ;y2/-tL? xcf%KXJf6 功率测量与测试对象的横向偏移 c*@E_}C#
