摘要 K)sO #J, `a. 共聚焦扫描
显微镜在 1950 年代由 M. L. Minsky 发明并获得
专利,后来又以采用
激光作为
光源的新颖性获得了广泛的应用。 通过使用空间针孔来阻挡从焦平面外散射或反射的光,有助于提高纵向
分辨率和对比度。 在本例中,我们在
VirtualLab Fusion 中构建了一个共聚焦扫描显微镜,并使用具有交替脊和凹槽的金属
光栅作为测试对象来演示其工作
原理。
C \H%4p1r K
S,X$)9 建模任务 2y,NT|jp 7zgU>$i 共聚焦扫描显微镜是如何工作的,它如何检测物体横向位移导致的
功率变化?
1}QU\N(t 9$)TAI&P 焦点区域的探测场 &( b\jyf
f<!eJO:<' EbY%:jR 测试对象的直接反射 mUm9[X~' p(v+j_ak g(,gg1mG 测试对象的直接反射 PE]jYyyHtU g.s~Ph- G 06]J] 测试对象的像 D5]T.8kX(7 Nf}G
"! zo7Hm]W` 测试对象的像 H--(zxK G;yf]xFd = =cAL"Z 功率测量与测试对象的横向偏移 ^ bexXYh