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q4EOI 内容简介 6MD9DqD Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 $} @gR]
Z 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 j|KjQ'9 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 68?>#o865 68UfuC 讯技科技股份有限公司 ;/h&40&
xZ]QT3U+ 目录 cBD#F$K2 Preface 1 4
Aj<k 内容简介 2 J2Mq1*Vp q 目录 i '5m4kDs 1 引言 1 &z]x\4#, 2 光学薄膜基础 2 64L;np> 2.1 一般规则 2 5SMV3~*P 2.2 正交入射规则 3 2<T/N 2.3 斜入射规则 6 .OpG2P 2.4 精确计算 7 l$&dTI<# 2.5 相干性 8 w:pPd;nz0Y 2.6 参考文献 10 oF~+L3&X 3 Essential Macleod的快速预览 10 7 w<e^H? 4 Essential Macleod的特点 32 >B<#,G 4.1 容量和局限性 33 GJ{XlH 4.2 程序在哪里? 33 q@^^jlHP 4.3 数据文件 35 *iN5/w{VG 4.4 设计规则 35 Q!!u=}GYK 4.5 材料数据库和资料库 37 ?Rk[P
cX< 4.5.1材料损失 38 jL7r1pu5 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ? *v*fs0 4.5.2 材料库 41 1u8hnG 4.5.3导出材料数据 43 %L|xmx!c 4.6 常用单位 43 p'0X>>$ 4.7 插值和外推法 46 0v,fY2$c 4.8 材料数据的平滑 50 PfsUe,* 4.9 更多光学常数模型 54 4wN5 x[vp 4.10 文档的一般编辑规则 55 nMJ(tQ 4.11 撤销和重做 56 g%V#Z`*| 4.12 设计文档 57 ?t/G@ 4.10.1 公式 58 R,s}<N$ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 Om*(dK]zHQ 4.10.3 沉积密度 59 |)C
# 4.10.4 平行和楔形介质 60 ^`[<%. 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .EReYZO 4.10.4 性能 61 lbX
YWZ~7 4.10.5 保存设计和性能 64 ucJ}KMz 4.10.6 默认设计 64 :-WNw
n 4.11 图表 64 Na4O( d` 4.11.1 合并曲线图 67 %^d<go^ 4.11.2 自适应绘制 68 1G6 \}El95 4.11.3 动态绘图 68 VJP # 4.11.4 3D绘图 69 *8_Dn}u?Jx 4.12 导入和导出 73 psse^rFg 4.12.1 剪贴板 73 m] yUcj{F 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 73B[|J* 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Uq @].3nf 4.13 背景 77 %{7*o5` 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 L/E7xLz 4.15 生成Rugate 84 wwRPfr[ 4.16 参考文献 91 ~;z]
_`_Va 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 >9mj/P D 5.1 Jobs 92 $e2+O\.> 5.2 创建一个新Job(工作) 93 8f1M6GK? 5.3 输入材料 94 teI?.M9r 5.4 设计数据文件夹 95 C4qK52'2s 5.5 默认设计 95 Ir-QD!!< 6 细化和合成 97 *p=enflU
6.1 优化介绍 97 `zrg? 6.2 细化 (Refinement) 98 -LT!LBnEkf 6.3 合成 (Synthesis) 100 =)G]\W)m 6.4 目标和评价函数 101 EP"Z 58&$R 6.4.1 目标输入 102 8AuE:=?,, 6.4.2 目标 103 (7N!Jvg9 6.4.3 特殊的评价函数 104 a6gPJF[Jo 6.5 层锁定和连接 104 ~1E!Co 6.6 细化技术 104 Zoc4@%
n 6.6.1 单纯形 105 :nR80] 6.6.1.1 单纯形参数 106 g4Q' Fub+I 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 pKpB 6.6.2.1 Optimac参数 108 {* :^K\- 6.6.3 模拟退火算法 109 oc]:Ty 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ll1N`ke 6.6.4 共轭梯度 111 2@lGY_O!m 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 M>|ZBEK 6.6.5 拟牛顿法 112 C7G,M 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9-V'U\}L 6.6.6 针合成 113 M 87CP=yc 6.6.6.1 针合成参数 114 m?4hEwQxf 6.6.7 差分进化 114 6Q\|8a 6.6.8非局部细化 115 |O6/p7+. 6.6.8.1非局部细化参数 115 S[2?,C<2= 6.7 我应该使用哪种技术? 116 qjh k#\y 6.7.1 细化 116 FNuE-_
6.7.2 合成 117 (sQXfeMz 6.8 参考文献 117 ;/_htdj 7 导纳图及其他工具 118 ]{#=WTp] 7.1 简介 118 n?$c"} 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 W7'<Jom|? 7.2.1 四分之一波长规则 119 m<)`@6a/ 7.2.2 导纳图 120 z/+{QBen8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 [U",yN]d 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Bm,Vu 1]t 7.5 斜入射导纳图 141 .D ^~!A 7.6 对称周期 141 J _dgP[ 7.7 参考文献 142 q?Csm\Y 8 典型的镀膜实例 143 Pzq^x] 8.1 单层抗反射薄膜 145 qEXN}Pq< 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 akt7rnt?i 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %cg| KB"l 8.4 W-膜层 148 PuREqa\_[ 8.5 V-膜层 149 :H3/+/x 8.6 V-膜层高折射基底 150 8Th,C{ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 >W8"Ar 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 W>i%sHH6 8.9 四层抗反射薄膜 153 =f
y|Dm74 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 h'};spv 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Q&vdBO/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 _J!&R:]$ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 BCe'J! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 NJ.oM E@= 8.15十五层宽带抗反射膜 159 *E/ Mf
8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 " (O3B 8.17 1/4波长堆栈 162 #"KC29!Yj 8.18 陷波滤波器 163 /q\e&&e 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 RG'76?z 8.20 褶皱 165 a-E}3a 8.21 消偏振分光器1 169 Ad>81=Z 8.22 消偏振分光器2 171 n<j+KD#a 8.23 消偏振立体分光器 172 w-e{_R 8.24 消偏振截止滤光片 173 |@'O3KA 8.25 立体偏振分束器1 174 KS93v9| 8.26 立方偏振分束器2 177 z,ERq,g+L 8.27 相位延迟器 178 <fG\J 8.28 红外截止器 179 H}5WglV. 8.29 21层长波带通滤波器 180 tF}^ 8.30 49层长波带通滤波器 181 :K]7(y7> 8.31 55层短波带通滤波器 182 '7el`Ff 8.32 47 红外截止器 183 QHZ",1F 8.33 宽带通滤波器 184 p__wBUB 8.34 诱导透射滤波器 186 DbH;DcV7 8.35 诱导透射滤波器2 188 $Q8
&TM}E 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 v;e8W9M 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 I:iMRvp 8.35 增益平坦滤波器 193 8!Wh`n< 8.38 啁啾反射镜 1 196 X2Z)>
10 8.39 啁啾反射镜2 198 [z2UfHpt~ 8.40 啁啾反射镜3 199 z``wqK 8.41 带保护层的铝膜层 200 s2G9}i{ 8.42 增加铝反射率膜 201 lJ-PW\P 8.43 参考文献 202 YPI)^ } 9 多层膜 204 sd\p[MXX 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 H,L{N'[Xph 9.2 内部透过率 204 i m;6$3 9.3 内部透射率数据 205
SW#/;|m 9.4 实例 206 8^ f: -5 9.5 实例2 210 {m>ylE 9.6 圆锥和带宽计算 212 {IV%_y? 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 g) oOravV 10 光学薄膜的颜色 216 A,DBq9Z+4R 10.1 导言 216 <Pt?N2]A| 10.2 色彩 216 YP_L~zZ 10.3 主波长和纯度 220 PmE)FthdP( 10.4 色相和纯度 221 :LNE?@ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 1]2]l*&3 10.6 色差 226 - /\qGI 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 (~^fx\-S 10.8 颜色渲染指数 234 ]q%r2 (y,k 10.9 色差计算 235 W[O]Aal{ 10.10 参考文献 236 BM,hcTr? 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 OY`B{jV- 11.1 短脉冲 238 %DKFF4k 11.2 群速度 239 1}DA| !~ 11.3 群速度色散 241 11yXI[ 11.4 啁啾(chirped) 245 ~#*C,4m 11.5 光学薄膜—相变 245 hHE~/U 11.6 群延迟和延迟色散 246 B]"`}jn 11.7 色度色散 246 R}Lk$#S# 11.8 色散补偿 249 ( *+'k1Ea 11.9 空间光线偏移 256 ^b+>r 11.10 参考文献 258 nL:&G'd 12 公差与误差 260 ZiJF.(JS 12.1 蒙特卡罗模型 260 Kt_oo[ey{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ?8V.iHJk 12.2.1 误差工具 267 eA4:]A" 12.2.2 灵敏度工具 271 [#Y
L_*p 12.2.2.1 独立灵敏度 271 \tI%[g1M 12.2.2.2 灵敏度分布 275 K4!-%d$ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 U8Y%rFh1 12.3 参考文献 276 !RmVb}m 13 Runsheet 与Simulator 277 XX~vg>3_ 13.1 原理介绍 277 qLDj\%~( 13.2 截止滤光片设计 277 /YvXyi>^"% 14 光学常数提取 289 2H|:/y 14.1 介绍 289 |NfFe*q0;8 14.2 电介质薄膜 289 'V:Q : 14.3 n 和k 的提取工具 295 y d97ys 14.4 基底的参数提取 302 -XV,r<'' 14.5 金属的参数提取 306 ^ F]hW 14.6 不正确的模型 306 u-TT;k' 14.7 参考文献 311 j~qm$ 'H 15 反演工程 313 o]e,5] 15.1 随机性和系统性 313 C 5.3[ 15.2 常见的系统性问题 314 C$y6^/7) 15.3 单层膜 314 1VX3pkUET 15.4 多层膜 314 xPm. TPj 15.5 含义 319 ,&t+D-s<f 15.6 反演工程实例 319 i<Vc~!pT 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 +FTc/r 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9* )&hhBs, 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 lYx_8x2 16.1 光学性质的热致偏移 329 03 @aG 16.2 应力工具 335 pr0X7 #_E5 16.3 均匀性误差 339 7]h %?W! 16.3.1 圆锥工具 339 OM\J4"YV$ 16.3.2 波前问题 341 %v0M~J}+ 16.4 参考文献 343 ;t&q|}x" 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ;>J!$B?, 17.1 引言 345 Xul`>8y| 17.2 操作数 345 )/;KxaKt 18 如何在Function中编写脚本 351 _gT65G~z 18.1 简介 351 a('0l2e<u9 18.2 什么是脚本? 351 ^{+ry<rS> 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 =A"Abmx| 18.4 基础 352 4era5= 18.4.1 Classes(类别) 352 5p0~AN) 18.4.2 对象 352 RaJTya^ 18.4.3 信息(Messages) 352 "Oxr}^% i 18.4.4 属性 352 ')uYI;h9 18.4.5 方法 353 TjW!-s?S 18.4.6 变量声明 353 uwNJM 18.5 创建对象 354 ]&*POri& 18.5.1 创建对象函数 355 fzSkl`K} 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ZoG@"vr2 18.5.3 丢弃对象 356 #I/P9)4 18.5.4 总结 356 X{-4w([ 18.6 脚本中的表格 357 >ED;_L*_o 18.6.1 方法1 357 >G]JwO 18.6.2 方法2 357 V"/.An| 18.7 2D Plots in Scripts 358 UUt"8]@[ 18.8 3D Plots in Scripts 359 2.q Zs8& 18.9 注释 360 1b5Z^a<u 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 `0d0T~ 18.11 一个更高级的脚本 362 /UCBoQ$/] 18.12 <esc>键 364 B"^j>SF 18.13 包含文件 365 noZbsI4 18.14 脚本被优化调用 366 O=0p}{3l 18.15 脚本中的对话框 368 'oa.-g 5 18.15.1 介绍 368 }LUvh 18.15.2 消息框-MsgBox 368 PUdv1__C 18.15.3 输入框函数 370 ng1E'c]0@ 18.15.4 自定义对话框 371 B>2=IZ 18.15.5 对话框编辑器 371 )&c2+Y@ 18.15.6 控制对话框 377 x@-K 18.15.7 更高级的对话框 380 `Y&`2WZ ~ 18.16 Types语句 384 i fsh(^N 18.17 打开文件 385 D;,p?]mgO~ 18.18 Bags 387 >F$9&s& 18.13 进一步研究 388 s9?mX@>h 19 vStack 389 vt
EfH 19.1 vStack基本原理 389 JX59n%$@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 V3,C5KKk&z 19.3 五棱镜 393 K;
#FU 19.4 光束距离 396 7e<=(\(yl 19.5 误差 399 z|g2Q#$-\S 19.6 二向分色棱镜 399 j=0kxvp 19.7 偏振泄漏 404 /J`}o} 19.8 波前误差—相位 405 lu#a.41 19.9 其它计算参数 405 CsR[@&n' 20 报表生成器 406 MK#
20.1 入门 406 IFLphm5 20.2 指令(Instructions) 406 e,(Vy 20.3 页面布局指令 406 {cdICWy(F3 20.4 常见的参数图和三维图 407 uLdHE5vr 20.5 表格中的常见参数 408 ZU\$x<, 20.6 迭代指令 408 uKx:7"KD 20.7 报表模版 408 ,N$Q']Td 20.8 开始设计一个报表模版 409 7[Us.V@ 21 一个新的project 413 [@K'}\U^+ 21.1 创建一个新Job 414 Y>$5j}K 21.2 默认设计 415 rZI63S 21.3 薄膜设计 416 %`Ce#b()' 21.4 误差的灵敏度计算 420 (B#FLoK 21.5 显色指数计算 422 lxn/97rA 21.6 电场分布 424
exWQ~& 后记 426
Dl!0Hl wSR|uh 有兴趣可以扫码加微联系 z_c-1iXCW
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