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Bdcs}Ga 内容简介 0}`0!Kv Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 k?}y@$[) 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 P\y ZcL 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 v'Pbx Doe:m#aNj 讯技科技股份有限公司 *&z!y/
\Ez&?yb/ 目录 uO( (Mg Preface 1 ?X+PNw|pf 内容简介 2 @8Cja.H 目录 i
98maQQWD 1 引言 1 cpm *m"Nk 2 光学薄膜基础 2 F@KtRUxE 2.1 一般规则 2 l>T]Y 2.2 正交入射规则 3 n0FzDQt26 2.3 斜入射规则 6 Elt"tJ 2.4 精确计算 7 dG!) < 2.5 相干性 8 b"2_EnE}1 2.6 参考文献 10 .)E1|U[L 3 Essential Macleod的快速预览 10 q26qY5D 4 Essential Macleod的特点 32 NE><(02qW 4.1 容量和局限性 33 Eb8~i_B- 4.2 程序在哪里? 33 :7*9W|e
4.3 数据文件 35 ,ZZ5A;) 4.4 设计规则 35 iX6*OEl/Q 4.5 材料数据库和资料库 37 <OrQbrWQa 4.5.1材料损失 38 .IsOU 4.5.1材料数据库和导入材料 39 _=9m[
4.5.2 材料库 41 Jv8VM\* 4.5.3导出材料数据 43 1*f/Y9 Z 4.6 常用单位 43 wkY$J\J 4.7 插值和外推法 46 ^e]h\G 4.8 材料数据的平滑 50 /vPr^Wv 4.9 更多光学常数模型 54 R1Fcd@DWD 4.10 文档的一般编辑规则 55 P\h1%a/D 4.11 撤销和重做 56 JH#p;7; 4.12 设计文档 57 bduHYs+rq 4.10.1 公式 58 L lD=c 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 lm*C:e)4A 4.10.3 沉积密度 59 Z?qc4Cg 4.10.4 平行和楔形介质 60 Of-8n- 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 <.{OIIuk 4.10.4 性能 61 I5]58Ohx 4.10.5 保存设计和性能 64 Y}h&dAr 4.10.6 默认设计 64 sRQ4pnnrn 4.11 图表 64 1I%niQv5t 4.11.1 合并曲线图 67 59(kk; 4.11.2 自适应绘制 68 R8Dn
GR 4.11.3 动态绘图 68 !{ !(yP_ 4.11.4 3D绘图 69 <.ZD.u 4.12 导入和导出 73 p::`1 4.12.1 剪贴板 73 uM[[skc 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 !>WW(n07Ma 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 D 77$aCt 4.13 背景 77 L?(m5u~b 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 U%K gLg# 4.15 生成Rugate 84 aN';_tGvK 4.16 参考文献 91 AgWG4C= 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 L>rW S-
5.1 Jobs 92 0IQ|`C. 5.2 创建一个新Job(工作) 93 =%{E^z>1 5.3 输入材料 94 ?SX0e(+}} 5.4 设计数据文件夹 95
Q)
iN_ | 5.5 默认设计 95 Hiih$O+ 6 细化和合成 97 6-\C?w
A 6.1 优化介绍 97 ^oEaE#I 6.2 细化 (Refinement) 98 ig'4DmNC 6.3 合成 (Synthesis) 100 w!R J8 6.4 目标和评价函数 101 BQ{'r^u 6.4.1 目标输入 102 D7C%Y^K]>E 6.4.2 目标 103 7??j}ob> 6.4.3 特殊的评价函数 104 mFyYn,Mu| 6.5 层锁定和连接 104 zeuSk|O 6.6 细化技术 104 _<jccQ 6.6.1 单纯形 105 XRn+6fn| 6.6.1.1 单纯形参数 106 nz`"f, 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Y|<1|wGG 6.6.2.1 Optimac参数 108 84gj%tw'- 6.6.3 模拟退火算法 109 ,-.=]r/s 6.6.3.1 模拟退火参数 109 wQU-r| 6.6.4 共轭梯度 111 PU%WpI.w 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 aT=V/Xh}d 6.6.5 拟牛顿法 112 yjucR
Fl 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 =@k3*#\ 6.6.6 针合成 113 Ot3+<{ 6.6.6.1 针合成参数 114 :LB< z#M 6.6.7 差分进化 114 WhL1OG 6.6.8非局部细化 115 mh~n#bah 6.6.8.1非局部细化参数 115 #~ [mn_C 6.7 我应该使用哪种技术? 116 NAfu$7 6.7.1 细化 116 uzL IllVX* 6.7.2 合成 117 |9
4xRC 6.8 参考文献 117 ~wd~57i@ 7 导纳图及其他工具 118 nb|"dK| 7.1 简介 118 z|G 39 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 y{\(|j 7.2.1 四分之一波长规则 119 0'Qo eFKG 7.2.2 导纳图 120 I[ I]C9D 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 kN$L8U8f 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 l7GLN1#m 7.5 斜入射导纳图 141 mQt?d?6 7.6 对称周期 141 B9h> 7.7 参考文献 142 cWL7gv\| 8 典型的镀膜实例 143 q\87<=9J 8.1 单层抗反射薄膜 145 ^
P=CoLFa 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 .e2K\o 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 \J^|H@;(@ 8.4 W-膜层 148 [es-&X07< 8.5 V-膜层 149 >5-]Ur~ 8.6 V-膜层高折射基底 150 `!g
XA.9Uv 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 {~:F1J~= 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Gnmxp%&}P| 8.9 四层抗反射薄膜 153 -%)8= 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 g,cl|]/\d 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (#k2S-5 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 (6\
H~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 dKTUW<C 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 f<G:}I 8.15十五层宽带抗反射膜 159 cc$+"7/J^c 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;u: }rA) 8.17 1/4波长堆栈 162 Fh$Xcz~i 8.18 陷波滤波器 163 3:WXrOl 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]Q\/si& 8.20 褶皱 165 WD5ulm?91| 8.21 消偏振分光器1 169 awa$o 8.22 消偏振分光器2 171 k ihO~< 8.23 消偏振立体分光器 172 ur2`.dY>3" 8.24 消偏振截止滤光片 173 tvG/oe .1' 8.25 立体偏振分束器1 174 rhe;j/ /` 8.26 立方偏振分束器2 177 1(z+*`"WB& 8.27 相位延迟器 178 &O.S ;b*+ 8.28 红外截止器 179 G|Y9F|.! 8.29 21层长波带通滤波器 180 UZ+FV;< 8.30 49层长波带通滤波器 181 gRdg3qvU 8.31 55层短波带通滤波器 182 onj:+zl 8.32 47 红外截止器 183 ~8G<Nw4*\ 8.33 宽带通滤波器 184 B]YY[i 8.34 诱导透射滤波器 186 tJ9i{TS 8.35 诱导透射滤波器2 188 _*Z2</5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3#Hx^H 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 URD<KIN> 8.35 增益平坦滤波器 193 Kr]`.@/.S 8.38 啁啾反射镜 1 196 pJE317 p' 8.39 啁啾反射镜2 198 \WVrn >%xu 8.40 啁啾反射镜3 199 GlVD!0 8.41 带保护层的铝膜层 200 l`R/WC 8.42 增加铝反射率膜 201 0oi
=}lV 8.43 参考文献 202 xFY;aK 9 多层膜 204 &~7b-foCq 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 5? s$(Lt~ 9.2 内部透过率 204 ctL@&~*nY 9.3 内部透射率数据 205 ]l'W=_XDg 9.4 实例 206 x1kb]0s<- 9.5 实例2 210 }$ Am;%?p 9.6 圆锥和带宽计算 212 5E/z.5 q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 dEp?jJP$; 10 光学薄膜的颜色 216 &` u<KKF6 10.1 导言 216 @M-+-6+ 10.2 色彩 216 +`x8[A)- 10.3 主波长和纯度 220 O9k9hRE]z 10.4 色相和纯度 221 :,=no>mMx 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ]64mSB 10.6 色差 226 NVMhbpX6 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ^V~rS8]gj 10.8 颜色渲染指数 234 YGObTIGJvf 10.9 色差计算 235 D/Y .'P:j 10.10 参考文献 236 p_jDnb# 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 g(Jzu' 11.1 短脉冲 238 <;.Zms${@ 11.2 群速度 239 o~F @1 11.3 群速度色散 241 xh\{ dUPA 11.4 啁啾(chirped) 245 OgfmyYMtc 11.5 光学薄膜—相变 245 ]cnLJ^2 11.6 群延迟和延迟色散 246
5eO`u8M 11.7 色度色散 246 O=#FpPHrdw 11.8 色散补偿 249 _n(NPFV 11.9 空间光线偏移 256 Z2WAVSw 11.10 参考文献 258 ++:v O 12 公差与误差 260 ` =!&9o 12.1 蒙特卡罗模型 260 yk9|H)-z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 92GO.xAD? 12.2.1 误差工具 267 >yn%.Uoh@ 12.2.2 灵敏度工具 271 4XDR?KUM 12.2.2.1 独立灵敏度 271 o)7gKWjujP 12.2.2.2 灵敏度分布 275 XGEAcN 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 Nf>1`eP 12.3 参考文献 276 E{d Mdz 13 Runsheet 与Simulator 277 l'(Cxhf.W 13.1 原理介绍 277 ;5A&[]@^^@ 13.2 截止滤光片设计 277 2i4FIS|z0 14 光学常数提取 289 uRQm.8b 14.1 介绍 289 %lchz/ 14.2 电介质薄膜 289 d^IOB|6Q 14.3 n 和k 的提取工具 295 o*\kg+8 14.4 基底的参数提取 302 sD.bBz 14.5 金属的参数提取 306 Ay!=Yk^~ 14.6 不正确的模型 306 S?%V o* Y 14.7 参考文献 311 ?MuM _6 15 反演工程 313 f8)D| 15.1 随机性和系统性 313 sf]y\_zU 15.2 常见的系统性问题 314 LKG],1n- 15.3 单层膜 314 #JGy2Hk$^ 15.4 多层膜 314 l0g#&V-- 15.5 含义 319 Wy,DA^\ef 15.6 反演工程实例 319 wYhWRgP 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 *~fZ9EkD 15.6.2 反演工程提取折射率 327 %FQMB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 >/EmC3?b! 16.1 光学性质的热致偏移 329 xmTa$tR+ 16.2 应力工具 335 'bkecC 16.3 均匀性误差 339 5B
.+>u"e 16.3.1 圆锥工具 339 $GUSTV 16.3.2 波前问题 341 ,:QG%Et 16.4 参考文献 343 !'B.ad 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 :KZI+ 17.1 引言 345
"=H7p3 17.2 操作数 345 /H@k;o 18 如何在Function中编写脚本 351 tsU.c"^n 18.1 简介 351 s'ntf 18.2 什么是脚本? 351 ,Z#t-? 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Vy{=Y(cpF2 18.4 基础 352 LDW":k| 18.4.1 Classes(类别) 352 X_|8CD-@6 18.4.2 对象 352 AShJtxxa 18.4.3 信息(Messages) 352 '+Dn~8Y+9 18.4.4 属性 352 G!oq
;< 18.4.5 方法 353 ];^A8? 18.4.6 变量声明 353 6J6MR<5' 18.5 创建对象 354 `Qv7aY 18.5.1 创建对象函数 355 abWmPi 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 IO`.]iG 18.5.3 丢弃对象 356 ?.IT!M}DR 18.5.4 总结 356 pQ*9)C 18.6 脚本中的表格 357 $uawQf+S 18.6.1 方法1 357 r`i<XGPJ% 18.6.2 方法2 357 u=jF\W9 18.7 2D Plots in Scripts 358 7<AHQ<#@ 18.8 3D Plots in Scripts 359 c&3
]%urL 18.9 注释 360 -f z
| 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 A(W%G|+ 18.11 一个更高级的脚本 362 sZPPS&KoP3 18.12 <esc>键 364 R(=Lhz6R4 18.13 包含文件 365 #DwTm~V0" 18.14 脚本被优化调用 366 q*Yh_IT.I 18.15 脚本中的对话框 368 5l2Ph4( 18.15.1 介绍 368 ]/HSlT= 18.15.2 消息框-MsgBox 368 AR]y p{NS 18.15.3 输入框函数 370 RhnSQe 18.15.4 自定义对话框 371 -wC;pA#o 18.15.5 对话框编辑器 371 WHqp7NPl 18.15.6 控制对话框 377 ]P(:z 18.15.7 更高级的对话框 380 8}\VlH] 18.16 Types语句 384 0MF[e3)a 18.17 打开文件 385 ['sj'3cW- 18.18 Bags 387 26yv w 18.13 进一步研究 388 _$NFeqLww 19 vStack 389 3@J0-w 19.1 vStack基本原理 389
.rD@Q{e50 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 x<"1T
w5e 19.3 五棱镜 393 05LVfgJ'q 19.4 光束距离 396 9loWh5_1Z 19.5 误差 399 d47b&.v8e 19.6 二向分色棱镜 399 A$WE:<^ 19.7 偏振泄漏 404 m7zen530 19.8 波前误差—相位 405 VThcG(
NF 19.9 其它计算参数 405 @T._
20 报表生成器 406 I0(BKMp& |