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9;PtYdJ8 内容简介 !Ej<J&e Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 Jps!,Mflc 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 >a<;)K^1 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 S7bSR?~L[ @c.pOX[]m, 讯技科技股份有限公司 TtzB[F
9I,Trk@& 目录 BEw(SQH Preface 1 'G&w[8mqY 内容简介 2 u URf 目录 i ~Y{K^:wN^ 1 引言 1 &:rf80`z. 2 光学薄膜基础 2 5lT lZRH1 2.1 一般规则 2 |K]tJi4fz 2.2 正交入射规则 3 s^cHR1^ 2.3 斜入射规则 6 RW'QU`N[Y 2.4 精确计算 7 j:0z/gHp$ 2.5 相干性 8 `W5f'RU 2.6 参考文献 10 o!Y7y1$ 3 Essential Macleod的快速预览 10 IMj{n.y4 4 Essential Macleod的特点 32 ~!I
\{( 4.1 容量和局限性 33 ;aSEv"iWX 4.2 程序在哪里? 33 Qk((H~I} 4.3 数据文件 35 1c]GS&(RP 4.4 设计规则 35 Ra/S46$ 4.5 材料数据库和资料库 37 !( /dbHB 4.5.1材料损失 38 +BESO 4.5.1材料数据库和导入材料 39 vV%w#ULxE~ 4.5.2 材料库 41 [L:,A{rve 4.5.3导出材料数据 43 ?Pa5skqR 4.6 常用单位 43 T5ol2 4.7 插值和外推法 46 YtFtU;{ 4.8 材料数据的平滑 50 8q_nOGd 4.9 更多光学常数模型 54 |1#*`2j\=9 4.10 文档的一般编辑规则 55 &U:;jlST9 4.11 撤销和重做 56 /)j:Y:5 4.12 设计文档 57 aPRF 4.10.1 公式 58 Ay[6rUO 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 7"1M3P5*8 4.10.3 沉积密度 59 LqNsQu"; 4.10.4 平行和楔形介质 60 HN\9d 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 HZ/e^"cpM 4.10.4 性能 61 d-X<+&VZ 4.10.5 保存设计和性能 64 3{CXIS 4.10.6 默认设计 64 ,#nyEE 4.11 图表 64 Mp}U>+8 4.11.1 合并曲线图 67 ol-U%J 4.11.2 自适应绘制 68 _qr?v=,-A 4.11.3 动态绘图 68 'bTtdFvJ 4.11.4 3D绘图 69 r+>gIX+Fl 4.12 导入和导出 73 04o(05K 4.12.1 剪贴板 73 Yf1?3(0O 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 H>%K}Fh 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 >HyZ~M 4.13 背景 77 U 1vZr{\ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 xtyOG 4.15 生成Rugate 84 &=~Jw5WK 4.16 参考文献 91 w=,bF$:fIW 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 voiWf?X 5.1 Jobs 92 `@RTfBBg 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ",Mr+;;:[ 5.3 输入材料 94 vr"O9L
w 5.4 设计数据文件夹 95 Ko:<@h 5.5 默认设计 95 y2KR^/LN|Y 6 细化和合成 97 EN^5Hppb 6.1 优化介绍 97 A{MMY{K3 6.2 细化 (Refinement) 98 ZwM(H[iqL 6.3 合成 (Synthesis) 100 HQX.oW 6.4 目标和评价函数 101 yhc}*BMZ 6.4.1 目标输入 102 !cW6dc^ 6.4.2 目标 103 Qhy!:\&1 6.4.3 特殊的评价函数 104 <- L}N ' 6.5 层锁定和连接 104 #A\@)wJ 6.6 细化技术 104 Xh+;$2l.B 6.6.1 单纯形 105 a]]eQ(xQ 6.6.1.1 单纯形参数 106 }]<0!q &xB 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 A`71L V% 6.6.2.1 Optimac参数 108 I'}&s|6 6.6.3 模拟退火算法 109 !Ah v07SI 6.6.3.1 模拟退火参数 109 gamE^Ee 6.6.4 共轭梯度 111 ? fW['% 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 iSbPOC7 6.6.5 拟牛顿法 112 VkFMr8@| 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 >e>%AMzo[ 6.6.6 针合成 113 w{mw?0 6.6.6.1 针合成参数 114 Y
\ Gx| 6.6.7 差分进化 114 gWQ(B 6.6.8非局部细化 115 tTOBKA89 6.6.8.1非局部细化参数 115 }k;wSp[3 6.7 我应该使用哪种技术? 116 C cPOK2 6.7.1 细化 116 [4w*<({* 6.7.2 合成 117 ,R.rxoO 6.8 参考文献 117 6%it`A8} 7 导纳图及其他工具 118 rtNYX=P 7.1 简介 118 .exBU1Yk@ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &+ "<ia( 7.2.1 四分之一波长规则 119 bMn)lrsX 7.2.2 导纳图 120 D%L^[|)c\s 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ;* QK^ # 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 DSQ2|{ 7.5 斜入射导纳图 141 (@->AJF1\ 7.6 对称周期 141 tq}MzKI* 7.7 参考文献 142 <2N{oK. 8 典型的镀膜实例 143 {7jl) x3l 8.1 单层抗反射薄膜 145 zZ6m`]{B9? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 :{+~i.* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 %_."JT$v{ 8.4 W-膜层 148 OClG dFJ| 8.5 V-膜层 149 :_}xN!9LA 8.6 V-膜层高折射基底 150 _K}q%In 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 _3(rwD 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 fV@[S 8.9 四层抗反射薄膜 153 9#TD1B/ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Q3Pu<j}Y 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ,OWk[0/ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 n]df)a 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 #9gx4U 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 :s6aFiz 8.15十五层宽带抗反射膜 159 XLC9B3Jt 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @Ddz|4 vEi 8.17 1/4波长堆栈 162 Q 9fK)j1$ 8.18 陷波滤波器 163 {CV+1kz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Q,:{(R 8.20 褶皱 165 Qo)Da}uo20 8.21 消偏振分光器1 169 |QS3nX< 8.22 消偏振分光器2 171 BBM[Fy37!} 8.23 消偏振立体分光器 172 ]!ox2m_U 8.24 消偏振截止滤光片 173 SV@*[r 8.25 立体偏振分束器1 174 Da615d
8.26 立方偏振分束器2 177 D'<L6w` 8.27 相位延迟器 178 jYi,oE 8.28 红外截止器 179 =* G3Khz! 8.29 21层长波带通滤波器 180 rCwE$5
b 8.30 49层长波带通滤波器 181 hs[x\:})/ 8.31 55层短波带通滤波器 182 k:I,$"y4 8.32 47 红外截止器 183 Pr1qX5> = 8.33 宽带通滤波器 184 y{/7z}d 8.34 诱导透射滤波器 186 Kf1J;*i|\ 8.35 诱导透射滤波器2 188 <4+P37^~ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 5CZyA`3V^5 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 PJiU2Y33 8.35 增益平坦滤波器 193 yAfwQ$Ll7 8.38 啁啾反射镜 1 196 r[4n2Mys 8.39 啁啾反射镜2 198 (IBT|K 8.40 啁啾反射镜3 199 @QV0l]H0+ 8.41 带保护层的铝膜层 200 GA[Ebzi 8.42 增加铝反射率膜 201 "Yh;3tI4* 8.43 参考文献 202 Rjq Xz6 9 多层膜 204 &y5"0mA 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 RI@\cJ\} 9.2 内部透过率 204 ]R_R`X? 9.3 内部透射率数据 205 Sp492W+ 9.4 实例 206 ka~_iUU4 9.5 实例2 210 (B>/LsTu 9.6 圆锥和带宽计算 212 >*RU:X 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 K_;vqi^1^& 10 光学薄膜的颜色 216 S7)qq 10.1 导言 216 SK
lvZ
10.2 色彩 216 4d`YZNvZW/ 10.3 主波长和纯度 220 =}0Uw4ub(u 10.4 色相和纯度 221 .26mB
Xr 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 -T,?'J0 2 10.6 色差 226 !gve]>M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 }:m/@LKB 10.8 颜色渲染指数 234 ~f h 10.9 色差计算 235 QkBw59L7 10.10 参考文献 236 )GkJ%o#H2 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 zMR)w77 11.1 短脉冲 238 >E>yA d 11.2 群速度 239 m,lZy#02s3 11.3 群速度色散 241 >G:Q/3jh 11.4 啁啾(chirped) 245 G
IN|cv= 11.5 光学薄膜—相变 245 w}gmVJ#p 11.6 群延迟和延迟色散 246 !l9{R8m>eJ 11.7 色度色散 246 ^ +SE_ -+] 11.8 色散补偿 249 /?eVWCR 11.9 空间光线偏移 256 6;Z-Y>\c 11.10 参考文献 258 BM<q;;pO 12 公差与误差 260 '{"Rjv7 12.1 蒙特卡罗模型 260 _ocCt XI9 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 x~V[}4E%> 12.2.1 误差工具 267 cD0rU8x 12.2.2 灵敏度工具 271 &eHRn_st5b 12.2.2.1 独立灵敏度 271 h^SWb91"G 12.2.2.2 灵敏度分布 275 5MVa;m 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 inWLIXC,
12.3 参考文献 276 t>[W]%op 13 Runsheet 与Simulator 277 iApq!u, 13.1 原理介绍 277 L}`/v]E"eU 13.2 截止滤光片设计 277 t(u2%R4<d 14 光学常数提取 289 B?! L~J@p 14.1 介绍 289 }|.<EkA 14.2 电介质薄膜 289 Wef%f]u 14.3 n 和k 的提取工具 295 J!2Z9<q5 14.4 基底的参数提取 302 $fmTa02q> 14.5 金属的参数提取 306 e$Ksn_wEq 14.6 不正确的模型 306 g&s.
0+ 14.7 参考文献 311 X`.##S KC 15 反演工程 313 g'7E6n"!, 15.1 随机性和系统性 313 d=D-s 15.2 常见的系统性问题 314 $*ff]># 15.3 单层膜 314 N&HI)X2& 15.4 多层膜 314 QQrldc(I 15.5 含义 319 7*l$i/! 15.6 反演工程实例 319 jH<
#)R 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 KqK]R6> 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ;P91'B~t 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 V|8'3=Z= 16.1 光学性质的热致偏移 329 P8eCaZg?(3 16.2 应力工具 335 6:zPWJB 16.3 均匀性误差 339 3vY-;& 16.3.1 圆锥工具 339 24 [KGp 16.3.2 波前问题 341 w"j>^#8 16.4 参考文献 343 rfqwxr45h 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 F7DA~G! 17.1 引言 345 ], lLDUZ\ 17.2 操作数 345 5W&L6.J}+ 18 如何在Function中编写脚本 351 I0m7;M7 P 18.1 简介 351 Sq5,}oT_{j 18.2 什么是脚本? 351
@ap!3o8,9 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ui%#f1Iq 18.4 基础 352 $
VT) 18.4.1 Classes(类别) 352 ]l,D,d81 18.4.2 对象 352 EtcT:k?y 18.4.3 信息(Messages) 352 1SExlU 18.4.4 属性 352 e$[O J<t 18.4.5 方法 353 8 0tA5AP 18.4.6 变量声明 353 U#z"t&o=L 18.5 创建对象 354 (Ceru o S 18.5.1 创建对象函数 355 Ui'v'
$ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 y!b2;- Dp 18.5.3 丢弃对象 356 $gl|^c\ 18.5.4 总结 356 eC-&.Fl 18.6 脚本中的表格 357 p:~#(/GWf 18.6.1 方法1 357 74([~Qs _M 18.6.2 方法2 357 L]=]/>jQ6 18.7 2D Plots in Scripts 358 cfTT7O#Dc 18.8 3D Plots in Scripts 359 &W\e 5X<A 18.9 注释 360 s ~Eo]e 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 $MR1
*_\V 18.11 一个更高级的脚本 362 *j3U+HV 18.12 <esc>键 364 jr`swyg 18.13 包含文件 365 f Fi=/} 18.14 脚本被优化调用 366 tK3$,9+ 18.15 脚本中的对话框 368 "9; 18.15.1 介绍 368 j,OA>{-$ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Q`k;E}x_- 18.15.3 输入框函数 370 JLd%rM\m 18.15.4 自定义对话框 371 z qA>eDx 18.15.5 对话框编辑器 371 7J);{ &x9h 18.15.6 控制对话框 377 z4YDngf=4 18.15.7 更高级的对话框 380 mnA_$W3~I 18.16 Types语句 384 v?He]e' 18.17 打开文件 385 F$UL.`X
_/ 18.18 Bags 387 OLx;j+p
18.13 进一步研究 388 1K/HVj+'. 19 vStack 389 PhAfEsD 19.1 vStack基本原理 389 ^&;,n.X5Z 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 |>ztx}\ 19.3 五棱镜 393 rZgu`5<a 19.4 光束距离 396 -53c0g@X 19.5 误差 399 &b (* 19.6 二向分色棱镜 399 }1 O"?6 19.7 偏振泄漏 404
:q/s%`ob 19.8 波前误差—相位 405 ,a>Dv@$Y 19.9 其它计算参数 405 Z66Xj-o 20 报表生成器 406 wqG#jC!5 20.1 入门 406 #x.v)S 20.2 指令(Instructions) 406 :}N heRi 20.3 页面布局指令 406 y(DT^>0 20.4 常见的参数图和三维图 407 f>Rux1Je4 20.5 表格中的常见参数 408 \`y:#N<c 20.6 迭代指令 408 +(!/(2>~ 20.7 报表模版 408 u0W6u} 4; 20.8 开始设计一个报表模版 409 3FvVM0l" 21 一个新的project 413 ,=e.QAF!" 21.1 创建一个新Job 414 :i{M1z I 21.2 默认设计 415 k{r<S|PK0 21.3 薄膜设计 416 S/ oD` 21.4 误差的灵敏度计算 420 +s<6eHpm 21.5 显色指数计算 422 ]EK(k7nH 21.6 电场分布 424 Lx_Jw\YO 后记 426 (c0L@8L 4Q!%16
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