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)\fLS d 内容简介 f]]UNS$AYQ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 </)HcRj'e 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rI;tMNs 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 sB%QqFRP uxD$dd? 讯技科技股份有限公司 &265
B_'D
{_>}K 目录 <P1x3 Preface 1 5YnTGf& 内容简介 2 ibQN
p Iz 目录 i J=AF`[ 1 引言 1 M%qHf{ B 2 光学薄膜基础 2 b&E9xD/;r 2.1 一般规则 2 xPorlX)zW 2.2 正交入射规则 3 -DE?L,9X9 2.3 斜入射规则 6 GilmJ2< 2.4 精确计算 7 ;TTH 2.5 相干性 8 _Xzl=j9[ 2.6 参考文献 10 <~R{U>zO 3 Essential Macleod的快速预览 10 ad,pHJ` 4 Essential Macleod的特点 32 f,'9Bj.~ 4.1 容量和局限性 33 >m4Q*a4M 4.2 程序在哪里? 33 clO9l=g 4.3 数据文件 35 -5sKJt]+i 4.4 设计规则 35 b*W01ist 4.5 材料数据库和资料库 37 IO}53zn<l 4.5.1材料损失 38 Mib<1ZM 4.5.1材料数据库和导入材料 39 }q D0- 4.5.2 材料库 41 aXRf6:\% 4.5.3导出材料数据 43 }+ZZO0 4.6 常用单位 43 {<y.G1<. 4.7 插值和外推法 46 _"688u'88 4.8 材料数据的平滑 50 (bo-JOOdY( 4.9 更多光学常数模型 54 g]E>e v{` 4.10 文档的一般编辑规则 55 H&E3RU>` 4.11 撤销和重做 56 #Zt(g( T 4.12 设计文档 57 ;{f4E)t 7 4.10.1 公式 58 ERz{, >G? 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ^QTtCt^: 4.10.3 沉积密度 59 yHjuT+/wM, 4.10.4 平行和楔形介质 60 |.Vs(0O 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 IAzi:ct 4.10.4 性能 61 ,)%$Zxng 4.10.5 保存设计和性能 64 I*hzlE 4.10.6 默认设计 64 Z[?zaQ$ 4.11 图表 64 8q_"aa,` 4.11.1 合并曲线图 67 8\B]! 4.11.2 自适应绘制 68 c-q=Ct 4.11.3 动态绘图 68 %+0V0. 4.11.4 3D绘图 69 \:D"#s%x 4.12 导入和导出 73 o*
C_9M 4.12.1 剪贴板 73 =@y
?Np^A 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 #[ ?E, 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ic')L*i7O 4.13 背景 77 ?:+sjHzXT 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 c=#V*< 4.15 生成Rugate 84 c@Q&i 4.16 参考文献 91 "`Mowp* 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 -0f,qNF 5.1 Jobs 92 3*!w c.= 5.2 创建一个新Job(工作) 93 -cP7`.a 5.3 输入材料 94 ^SC2k LI 5.4 设计数据文件夹 95 TAp8x 5.5 默认设计 95 AtYqD<hl: 6 细化和合成 97 T3,}CK#O 6.1 优化介绍 97 "^NsbA+ 6.2 细化 (Refinement) 98 jHQnD]Hr 6.3 合成 (Synthesis) 100 KuJNKuHa. 6.4 目标和评价函数 101 Z,1b$:+ 6.4.1 目标输入 102 J1g+H2 6.4.2 目标 103 Nn='9s9F?} 6.4.3 特殊的评价函数 104 Wf:LYL 6.5 层锁定和连接 104 iph}!3f 6.6 细化技术 104 (Qf. S{; 6.6.1 单纯形 105 I#PhzGC@ 6.6.1.1 单纯形参数 106 ,Vfjt=6]} 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 X;7hy0Y 6.6.2.1 Optimac参数 108 E_-QGE/1 6.6.3 模拟退火算法 109 DVz_;m6) 6.6.3.1 模拟退火参数 109 J^y?nE(j 6.6.4 共轭梯度 111 yV?qX\~* 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 0,5)L\{
R 6.6.5 拟牛顿法 112 Yaj}_M- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 LDh,!5G-M 6.6.6 针合成 113 8e32NJ^k~ 6.6.6.1 针合成参数 114 +=K =B 6.6.7 差分进化 114 ?Sr7c|a2 6.6.8非局部细化 115 DPr~DO`b 6.6.8.1非局部细化参数 115 SW)jDy 6.7 我应该使用哪种技术? 116 qPoN 8>. 6.7.1 细化 116 %&j\:X~A 6.7.2 合成 117 d<Dm( 6.8 参考文献 117 -CLBf'a 7 导纳图及其他工具 118 y;<F|zIm 7.1 简介 118 ~'v9/I-" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 JA~q}C7A7o 7.2.1 四分之一波长规则 119 6uIgyO*;k 7.2.2 导纳图 120 se=;vp]3a 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 B
*%ey? 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 6/6{69tnr 7.5 斜入射导纳图 141 Z rv:uEl 7.6 对称周期 141 OJiwI)a9 7.7 参考文献 142 QJ +Ml 8 典型的镀膜实例 143 mgMa)yc!dp 8.1 单层抗反射薄膜 145 A DVUx} 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 h43py8v 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |y
pXO3 8.4 W-膜层 148 "x3x$JQZy 8.5 V-膜层 149 jN-!1O._G 8.6 V-膜层高折射基底 150 4W#DLip9 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 >&ENrvaJ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 $,zW0</P*l 8.9 四层抗反射薄膜 153 {gh<SZsE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 9yz@hdG 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 r
@}N6U~* 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 8([ MR 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 }N&?8s= 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Z/czAr@4 8.15十五层宽带抗反射膜 159 G*_qqb{B 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0S96x}]J B 8.17 1/4波长堆栈 162 sI.p(
-KQ 8.18 陷波滤波器 163 e07u@_'^ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 05:?5M4}; 8.20 褶皱 165 k~F;G=P 8.21 消偏振分光器1 169 U(Tl$#Bt 8.22 消偏振分光器2 171 ;;6$d{ 8.23 消偏振立体分光器 172 +NbiUCMX 8.24 消偏振截止滤光片 173 67XUhnE 8.25 立体偏振分束器1 174 F^Bk @ 8.26 立方偏振分束器2 177 vVP.9( 8.27 相位延迟器 178 cyo[HI?WM 8.28 红外截止器 179 Fv*Et-8tN5 8.29 21层长波带通滤波器 180 y^z
c@f 8.30 49层长波带通滤波器 181 3"juj' 8.31 55层短波带通滤波器 182 1tLEKSo+ 8.32 47 红外截止器 183 zf&:@P{ 8.33 宽带通滤波器 184 wJD'q\n 8.34 诱导透射滤波器 186 ex
BLj
*] 8.35 诱导透射滤波器2 188 a?yU;IKJ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 {Kf5a
m 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 TB-dV'w 8.35 增益平坦滤波器 193 pKno~jja 8.38 啁啾反射镜 1 196 ltlo$`PR 8.39 啁啾反射镜2 198 Y'5(exW 8.40 啁啾反射镜3 199 YUHiD* 8.41 带保护层的铝膜层 200 :d pwr9) 8.42 增加铝反射率膜 201 N6v?Qzvi 8.43 参考文献 202 vZW[y5 9 多层膜 204 $s4.Aj 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 J?EDz, 9.2 内部透过率 204 ANNVE}, 9.3 内部透射率数据 205 G$2@N6 9.4 实例 206 ,i1BoG 9.5 实例2 210 PfyJJAQ[ 9.6 圆锥和带宽计算 212 Q6wa-Y, 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 @%G?Nht]o 10 光学薄膜的颜色 216 `a!9_%|8 10.1 导言 216 {
0-on"o 10.2 色彩 216 \7%#4@;? 10.3 主波长和纯度 220 R}cNhZC 10.4 色相和纯度 221 }Z{FPW.QK 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 8\^A;5 10.6 色差 226 !/!ga)Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 -7]j[{?w 10.8 颜色渲染指数 234 }i,r{Y]s] 10.9 色差计算 235 c#>(8#'.U 10.10 参考文献 236 22=sh;y+2 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 Rk[a|T & 11.1 短脉冲 238 T=)qD2? 11.2 群速度 239 &x[7?Y L 11.3 群速度色散 241 ":vEWp+g 11.4 啁啾(chirped) 245 .izq}q*P 11.5 光学薄膜—相变 245 !><asaB]1 11.6 群延迟和延迟色散 246 ZOMYo] 11.7 色度色散 246 jw9v&/- 11.8 色散补偿 249 o<%0|n_O& 11.9 空间光线偏移 256 M2N8?Ycv3 11.10 参考文献 258 ~!!\#IX 12 公差与误差 260 92t.@!m` 12.1 蒙特卡罗模型 260 \hZ%NLj 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 aZCq{7Xs 12.2.1 误差工具 267 ! xG*W6IT 12.2.2 灵敏度工具 271 (wM` LE(Ks 12.2.2.1 独立灵敏度 271 KyfH8Na? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 W>i"p~! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 -YAtM-VL 12.3 参考文献 276 ]/H6%"CTa 13 Runsheet 与Simulator 277 gK9d `5 13.1 原理介绍 277 5K 2K'ZkI 13.2 截止滤光片设计 277 ,aLwOmO 14 光学常数提取 289 J-Tiwl 14.1 介绍 289 e1LIk1`p 14.2 电介质薄膜 289 |5tZ*$nGa 14.3 n 和k 的提取工具 295 qSB&Q0T 14.4 基底的参数提取 302 4|E^
#C 14.5 金属的参数提取 306 -PAEJn5$O 14.6 不正确的模型 306 C[G+SA1&W 14.7 参考文献 311 CDRbYO 15 反演工程 313 flo$[]`.7 15.1 随机性和系统性 313 GaG>0x 15.2 常见的系统性问题 314 4minzrKM\ 15.3 单层膜 314 8ZVQM7O 15.4 多层膜 314 *
l1*zaE 15.5 含义 319 T" W<l4i- 15.6 反演工程实例 319 h7!O
K 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 m]!hP^^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 5C9b*]-# 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 =I546($ 16.1 光学性质的热致偏移 329 kuy?n-1g 16.2 应力工具 335 B(++*#T!^m 16.3 均匀性误差 339 ZQ_6I}i") 16.3.1 圆锥工具 339 1wKXOy=v0 16.3.2 波前问题 341 L|T?,^ 16.4 参考文献 343 R-S<7Q3E0= 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 p8_^6wfg 17.1 引言 345 0H}tb}4 17.2 操作数 345 z6C(?R 18 如何在Function中编写脚本 351 =+Fb\HvX{ 18.1 简介 351 p@su:B2Rl 18.2 什么是脚本? 351 pWGR#x' 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 o5tCbsHj- 18.4 基础 352 QMsq4yJ)% 18.4.1 Classes(类别) 352 oT):#,s 18.4.2 对象 352 I[Lg0H8 18.4.3 信息(Messages) 352 q[a\a7U z 18.4.4 属性 352 %S^hqC 18.4.5 方法 353 *y?HaU 18.4.6 变量声明 353 8m?(* [[ 18.5 创建对象 354 A~bSB
n: ' 18.5.1 创建对象函数 355 LJGpa )( 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 k.ou$mIY 18.5.3 丢弃对象 356 0% rDDB 18.5.4 总结 356 }}=n]_f 18.6 脚本中的表格 357 7 H 18.6.1 方法1 357 T,pr&1]Lw 18.6.2 方法2 357 FfJp::|ddr 18.7 2D Plots in Scripts 358 B>^6tdz 18.8 3D Plots in Scripts 359 'K ?h6?# 18.9 注释 360 j2MA['{ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 \5r^D|Rp} 18.11 一个更高级的脚本 362 5-|!mSd 18.12 <esc>键 364 ?ZlXh51 18.13 包含文件 365 [Y
.8C$0 18.14 脚本被优化调用 366 )=[\Yf K 18.15 脚本中的对话框 368 j%Au0k 18.15.1 介绍 368 yS
W$zA, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Q"XDxa'7" 18.15.3 输入框函数 370 a|7C6#iz$ 18.15.4 自定义对话框 371 j#5a&Z 18.15.5 对话框编辑器 371 BV~J*e 18.15.6 控制对话框 377 [`\VgKeu 18.15.7 更高级的对话框 380 ]<>cjk.ya 18.16 Types语句 384 ^Spu/55_ 18.17 打开文件 385 k4K.
mlIO 18.18 Bags 387 #Q8_:dPY 18.13 进一步研究 388 '@t$3
hk 19 vStack 389 f CU] 19.1 vStack基本原理 389 Zd[rn:9\ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @s LN 19.3 五棱镜 393 fs'SCwx 19.4 光束距离 396 ;
j!dbT~5 19.5 误差 399 f8:nKb>nq$ 19.6 二向分色棱镜 399 5^g* 19.7 偏振泄漏 404 ,<Q 19.8 波前误差—相位 405 odhS0+d^ 19.9 其它计算参数 405 %;'~TtW5 20 报表生成器 406 6<];}M_{ 20.1 入门 406 m)tu~neM 20.2 指令(Instructions) 406 P8z%*/
3NF 20.3 页面布局指令 406 Qo#]Lo> \g 20.4 常见的参数图和三维图 407 BIWe Hx 20.5 表格中的常见参数 408 yJ $6vmQ 20.6 迭代指令 408 Njc@5*rJ& 20.7 报表模版 408 5qz,FKx5 20.8 开始设计一个报表模版 409 QoZV6 21 一个新的project 413 %F 2h C
x 21.1 创建一个新Job 414 =NF0E8O 21.2 默认设计 415 BDI|z/~& 21.3 薄膜设计 416 /+Z*)q+SbT 21.4 误差的灵敏度计算 420 k H.dtg_ 21.5 显色指数计算 422 {=Zy;Er 21.6 电场分布 424 Z =+Z96 后记 426 1+FVM\<& 6gV*G 有兴趣可以扫码加微联系 Dkz/hg:q
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