摘要 ~5r=FF6
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 _/,SZ-C#L4
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1. 案例 p!+L
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在VirtualLab Fusion中构建系统 AH&9Nye8
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1. 系统构建模块 |x &Z~y
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2. 组件连接器 IWAj Mwo
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几何光学仿真
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以光线追迹 A&N$tH
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1. 结果:光线追迹 49o\^<4b
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快速物理光学仿真 WPIZi[hBs
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以场追迹 19'5Re&
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1. NA=1.4时的光栅成像 W;qP=DK2
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2. NA=0.75时的光栅成像 " rsSW3_
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3. NA=0.5时的光栅成像 "TfI+QgLF
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