摘要 ?m>!P@
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 U^.kp#x#
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1. 案例 &@h(6
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在VirtualLab Fusion中构建系统 ?(d<n
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1. 系统构建模块 c Y(2}Ay
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2. 组件连接器 mxfmK +'_
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几何光学仿真 +#V.6i
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以光线追迹 E6Uiw]3
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1. 结果:光线追迹 \]=''C=J
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1. NA=1.4时的光栅成像 l1I\khS
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2. NA=0.75时的光栅成像 0Mu6R=s
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3. NA=0.5时的光栅成像 mo()l8
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