摘要 -&]!ig5v
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 f)a0 !U 44
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1. 案例 m__pQu:
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在VirtualLab Fusion中构建系统 @^.W|Zh[&
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1. 系统构建模块 `]@=Hx(
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2. 组件连接器 ?YS 3)
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几何光学仿真 &(32s! qH
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以光线追迹 `JPkho
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1. 结果:光线追迹 kmt1vV.9
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快速物理光学仿真 {]dtA&8(
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1. NA=1.4时的光栅成像 -]D/8,|s
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2. NA=0.75时的光栅成像 Nf3UVK8LtS
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3. NA=0.5时的光栅成像 l$EN7^%w
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