摘要 wet[f {c
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 ]+3M\ ib
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1. 案例 z rG
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在VirtualLab Fusion中构建系统 2,`X@N`\
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1. 系统构建模块 k'H[aYMA
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2. 组件连接器 v
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几何光学仿真 8IQ}%|lN
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以光线追迹 @48!e-W
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1. 结果:光线追迹 f_[dFKoX
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快速物理光学仿真 ,52 IR[I<T
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以场追迹 8a)Brl}u
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1. NA=1.4时的光栅成像 7x>^ip"7
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2. NA=0.75时的光栅成像 OZe&p
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3. NA=0.5时的光栅成像 YX-j|m|
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