摘要 T':} p2}w+
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 Z~v-@
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1. 案例 bDjm:G
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在VirtualLab Fusion中构建系统 ;|pw;-
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1. 系统构建模块 HwZ"l31
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2. 组件连接器 A.cNOous|
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几何光学仿真 )8%m|v#W
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以光线追迹 Iad&Z8E
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1. 结果:光线追迹 "=,IbC
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快速物理光学仿真 4(&sw<k
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以场追迹 z!aU85y
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1. NA=1.4时的光栅成像 Xx1e SX
X+QoO=02LR
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2. NA=0.75时的光栅成像 }U@(S>,%
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3. NA=0.5时的光栅成像 }#2I/dn
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