摘要
QAI=nrlp dLQp"vs $ 显微
系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了
物镜的数值
孔径(NA)决定了
光栅(作为样本)
衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会
成像。本
实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。
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<F`9;WX TaF*ZT2 1. 案例
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bSM|" W)`>'X` 在VirtualLab Fusion中构建系统
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?n<sN" b`wT*& 几何
光学仿真 FpttH?^ %jUZc:06 以
光线追迹
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c5CxR#O kPEU }Kv 快速物理光学仿真
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Vg(p_k45` Q#*qPgs 1. NA=1.4时的光栅成像
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oW7;t Pi&\GMzd 2. NA=0.75时的光栅成像
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v&^N +>p TDtHRhq7 3. NA=0.5时的光栅成像
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