摘要 (7M^-_q]D
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 x8\E~6`,
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1. 案例 !#}v:~[A
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在VirtualLab Fusion中构建系统 2U-#0,ll]
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1. 系统构建模块 <B|n<R<?
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2. 组件连接器 0X] ekq
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几何光学仿真 f;@b
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以光线追迹 P#vv+]/
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1. 结果:光线追迹 $sd3h\P&R
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快速物理光学仿真 7?n*t
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以场追迹 mVc'%cPaw
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1. NA=1.4时的光栅成像 }`+^|1
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2. NA=0.75时的光栅成像 MA/"UV&M(
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3. NA=0.5时的光栅成像 110>p
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