摘要 3]Lk}0atpL
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后,像面不会发生干涉,因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 O\KAvoQ%s
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1. 案例 Dfhs@ z
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在VirtualLab Fusion中构建系统 u\.sS|$
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1. 系统构建模块 4QZy-a*tA
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2. 组件连接器 "^D6%I#T
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几何光学仿真 Y)
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以光线追迹 KnFbRhu[
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1. 结果:光线追迹 z0W+4meoH
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快速物理光学仿真 5#F+-9r
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以场追迹 4#YklVm
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1. NA=1.4时的光栅成像 zXC In
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2. NA=0.75时的光栅成像 "}EbA3
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3. NA=0.5时的光栅成像 By_Ui6:D
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