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n(J>'Z 内容简介 \~l_w
,Poo Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 3NgXM 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 mkn1LzE|F 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 r k W7;! yx5e 讯技科技股份有限公司 .how@>:P+
s2{SbOBis 目录 g[O?wH-a Preface 1 Nnl3r@ 内容简介 2 #m.e9MU 目录 i z#GZb 1 引言 1 8|i'~BFHs 2 光学薄膜基础 2 TwPQ8}pj? 2.1 一般规则 2 I "AjYv4R 2.2 正交入射规则 3 iPTQqx-m$7 2.3 斜入射规则 6 jW\:+Taq 2.4 精确计算 7 .J)TIc__|A 2.5 相干性 8 1.cP3kl 2.6 参考文献 10 = ^NvUrK 3 Essential Macleod的快速预览 10 G;l7,1;MU: 4 Essential Macleod的特点 32 Af;Pl|Zh[ 4.1 容量和局限性 33 eBrNhE-[G] 4.2 程序在哪里? 33 KGy3#r;Q 4.3 数据文件 35 7y'":1 4.4 设计规则 35 jmID@37t 4.5 材料数据库和资料库 37 4k;FZo]S 4.5.1材料损失 38 y&zFS4"x 4.5.1材料数据库和导入材料 39 dH^6K0J 4.5.2 材料库 41 EL?(D 4.5.3导出材料数据 43 "tz6O0D 4.6 常用单位 43 Y<xqws 4.7 插值和外推法 46 6h;(b2p{ 4.8 材料数据的平滑 50 9GD0jJEu 4.9 更多光学常数模型 54 7Jf~Bn 4.10 文档的一般编辑规则 55 %bDxvaftT 4.11 撤销和重做 56 fCr2'+O"b 4.12 设计文档 57 fg^25g'_ 4.10.1 公式 58 Tc6cBe, 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 LTWkHyx 4.10.3 沉积密度 59 UCLM*`M 4.10.4 平行和楔形介质 60 i.Rl&t 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 >|QH
I
d8 4.10.4 性能 61 Ay16/7h@hi 4.10.5 保存设计和性能 64 kv:9Fm\$ 4.10.6 默认设计 64 ~Ru\Z-q1 4.11 图表 64 4XN
\p 4.11.1 合并曲线图 67 )d2Z g 4.11.2 自适应绘制 68 3f7zW3F 4.11.3 动态绘图 68 =_dM@ j 4.11.4 3D绘图 69 "I.6/9 4.12 导入和导出 73 c{MoeIG)v@ 4.12.1 剪贴板 73 N[I@}j 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ic2D$`M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 E\[B E<y 4.13 背景 77 GE/!$3 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 Pd91<L 4.15 生成Rugate 84 +U
oNJ 4.16 参考文献 91 4\;zz85E 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 9{u8fDm! 5.1 Jobs 92 2)f_L|o,m 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Y
Zj-%5 5.3 输入材料 94 F9r.DG$} 5.4 设计数据文件夹 95 P@7>R7gS 5.5 默认设计 95 C%o|}i v" 6 细化和合成 97 1q}LO2 6.1 优化介绍 97 OyTK,i<n 6.2 细化 (Refinement) 98 cbJgeif 6.3 合成 (Synthesis) 100 [6!k:-t+ 6.4 目标和评价函数 101 <]rayUyaf 6.4.1 目标输入 102 nrl?<4_ 6.4.2 目标 103 .zO^"mXjS 6.4.3 特殊的评价函数 104 LDt6<D8,Q 6.5 层锁定和连接 104 4=yzf 6.6 细化技术 104 cgb>Naa< 6.6.1 单纯形 105 %ih\|jRt 6.6.1.1 单纯形参数 106 \"O5li3n 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 k~tEUsv 6.6.2.1 Optimac参数 108 Qte5E}V` 6.6.3 模拟退火算法 109 .(@=L1C<}J 6.6.3.1 模拟退火参数 109 4S_f2P2J 6.6.4 共轭梯度 111 ?qjdmB|w 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]v
${k 6.6.5 拟牛顿法 112 ,?GwA@~$k: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
t ed:] 6.6.6 针合成 113 ,&o9\|ih7] 6.6.6.1 针合成参数 114 #/G!nN # 6.6.7 差分进化 114 iXWHI3
6.6.8非局部细化 115 #HcQ*BiF3 6.6.8.1非局部细化参数 115 |J&\/8Q 6.7 我应该使用哪种技术? 116 R$:-~<O 6.7.1 细化 116 9)!Ksg(h 6.7.2 合成 117 4:V
+>Jt 6.8 参考文献 117 )M8d\] 7 导纳图及其他工具 118 iJTG+gx 7.1 简介 118 @yTu/U 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 C
@Ts\);^ 7.2.1 四分之一波长规则 119 Igo`\JY 7.2.2 导纳图 120 yhH2b:nY(9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 lS=YnMs6a 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ZX_QnSNZ? 7.5 斜入射导纳图 141 Q7+WV`& 7.6 对称周期 141 3!P^?[p3 7.7 参考文献 142 ktU:Uq 8 典型的镀膜实例 143 | R,dsBd 8.1 单层抗反射薄膜 145 MfQ0O?oBp 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 st w@@GQ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 oiyvKMHz7 8.4 W-膜层 148 #aqnj+ 8.5 V-膜层 149 @[^ 3yC# 8.6 V-膜层高折射基底 150 (
fFrX_K] 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 IjhRSrCv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 =-dnniKW4 8.9 四层抗反射薄膜 153 f}c;s 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Ec7xwPk 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 11PL1zzH 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 JQ+Mg&&Q 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 2^XmtT 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 29Uqdo 8.15十五层宽带抗反射膜 159 kH 9k<{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 #hBqgG:> 8.17 1/4波长堆栈 162 'M%iS4b{IM 8.18 陷波滤波器 163 '&CZ%&(Gw 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 'bfxQ76@sa 8.20 褶皱 165 Dk\%,[4( 8.21 消偏振分光器1 169 4W>DW`{ 8.22 消偏振分光器2 171 >Iij,J5i 8.23 消偏振立体分光器 172 (CQ! &Z8 8.24 消偏振截止滤光片 173 <(E)M@2 8.25 立体偏振分束器1 174 c<1$zQY! 8.26 立方偏振分束器2 177 [)`*k#.= 8.27 相位延迟器 178 P~(&lu/;P 8.28 红外截止器 179 !MSa - 8.29 21层长波带通滤波器 180 ZPf&4#| 8.30 49层长波带通滤波器 181 R5sEQ| E 8.31 55层短波带通滤波器 182 m#h`iW 8.32 47 红外截止器 183 6UIS4_
8.33 宽带通滤波器 184 j Hq+/\ 8.34 诱导透射滤波器 186 2K~v`c*4 8.35 诱导透射滤波器2 188 CQ!D{o= 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 PCCE+wC6 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 y95
#t 8.35 增益平坦滤波器 193 Z@q1&}D! 8.38 啁啾反射镜 1 196 iu{y.}? 8.39 啁啾反射镜2 198 !5 S# 8.40 啁啾反射镜3 199 5+GTK)D 8.41 带保护层的铝膜层 200 jzi%[c<G 8.42 增加铝反射率膜 201 `c:r`Oi? 8.43 参考文献 202 ufR|V-BWx 9 多层膜 204 q4:zr
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 mcwd2) 9.2 内部透过率 204 li3X} 9.3 内部透射率数据 205 41R~.? 9.4 实例 206 qLBQ!>lR
9.5 实例2 210 :MDFTw~ | 9.6 圆锥和带宽计算 212 # wn>S< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 z%fjG} z 10 光学薄膜的颜色 216 Q8TR@0d 10.1 导言 216 s#~VN;-I 10.2 色彩 216 !le#7Kii 10.3 主波长和纯度 220 +fvVora 10.4 色相和纯度 221 ^Oj^7.T+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ; 180ct4 10.6 色差 226 oKRI2ni$j9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 <a
CzB7x 10.8 颜色渲染指数 234 7\dt<VV 10.9 色差计算 235 N#J8 4i;ry 10.10 参考文献 236 *`s*l+0b 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 :CM2kh"Iu 11.1 短脉冲 238 ^g'uR@uU 11.2 群速度 239 J?p|Vy|9 11.3 群速度色散 241 }lk9|U#6*` 11.4 啁啾(chirped) 245 UeUOGf , 11.5 光学薄膜—相变 245 z'Bvjul 11.6 群延迟和延迟色散 246 %i&am= 11.7 色度色散 246 f`}u9!jVR 11.8 色散补偿 249 ?zo7.R-Vac 11.9 空间光线偏移 256 -6q7ze{@ 11.10 参考文献 258 rl"yE= 12 公差与误差 260 Vl7V?`_4 12.1 蒙特卡罗模型 260 dn5t7D^x 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 E]Cm#B 12.2.1 误差工具 267 3&X5*-U 12.2.2 灵敏度工具 271 G$`hPNSh 12.2.2.1 独立灵敏度 271 j%!xb>< 12.2.2.2 灵敏度分布 275 s_u!
RrC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 b^Do[o}5 12.3 参考文献 276
X/!Y mV! 13 Runsheet 与Simulator 277 +C$wkx] 13.1 原理介绍 277 ^]LWcJ?"^! 13.2 截止滤光片设计 277 B(@uJ^N 14 光学常数提取 289 R<T5lkJ\/ 14.1 介绍 289 B)DtJf 14.2 电介质薄膜 289 17rg!'+ 14.3 n 和k 的提取工具 295 kDKfJp&a 14.4 基底的参数提取 302 NS4W!o;" 14.5 金属的参数提取 306 xG%O^ 14.6 不正确的模型 306 %e:
hVU 14.7 参考文献 311 P\X$fD 15 反演工程 313 G!GGT?J 15.1 随机性和系统性 313 o`jV d,aj 15.2 常见的系统性问题 314 YZ0Q?7l7 15.3 单层膜 314 P; =,Q$e8 15.4 多层膜 314 &'5j! 15.5 含义 319 A*{V%7hs& 15.6 反演工程实例 319 (Sj?BZjC 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ()$tP3o 15.6.2 反演工程提取折射率 327 U_0"1+jbq 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ~RM_c 16.1 光学性质的热致偏移 329 :EC[YAK+D 16.2 应力工具 335 ][Cg8 16.3 均匀性误差 339 orF8% 16.3.1 圆锥工具 339 w##$SaTI 16.3.2 波前问题 341 ~<_PjV 16.4 参考文献 343 |A
u+^#:; 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 6$+F5T 17.1 引言 345 !uHVg(} 17.2 操作数 345 DTV"~>@ 18 如何在Function中编写脚本 351 $Jy1=/W& 18.1 简介 351 vP&JL~ 18.2 什么是脚本? 351 \g;-q9g;O 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 \H?r[]*c% 18.4 基础 352 ~p/1
9/ 18.4.1 Classes(类别) 352 f,Dj@?3+ 18.4.2 对象 352 i\k>2df 18.4.3 信息(Messages) 352 8z"*CJ@ 18.4.4 属性 352 l:VcV 18.4.5 方法 353 [RUYH5>Ik 18.4.6 变量声明 353 *p%=u>?& 18.5 创建对象 354 6SD9lgF*- 18.5.1 创建对象函数 355 @X>Oj . 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 =I9RM9O< 18.5.3 丢弃对象 356 *1b)Va8v* 18.5.4 总结 356 [Gb8o' 18.6 脚本中的表格 357 }7|UA%xz 18.6.1 方法1 357 _"c?[n 18.6.2 方法2 357 Hk|wO:7Be 18.7 2D Plots in Scripts 358 w
]$Hr 18.8 3D Plots in Scripts 359 @ * *]o 18.9 注释 360 KP]{=~( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ]EPFyVt~3 18.11 一个更高级的脚本 362 4Q(GX.5 18.12 <esc>键 364 w+3-j 18.13 包含文件 365 *U^7MU0 18.14 脚本被优化调用 366 ZncJ 18.15 脚本中的对话框 368 %FO#j 6 18.15.1 介绍 368 /q >1X!Z 18.15.2 消息框-MsgBox 368 PPSSar 18.15.3 输入框函数 370 aRF}FE,u 18.15.4 自定义对话框 371 e47N 9&4 18.15.5 对话框编辑器 371 q'[q] 18.15.6 控制对话框 377 4XXuj 18.15.7 更高级的对话框 380 }0~4Z)?e3 18.16 Types语句 384 leJ\ 18.17 打开文件 385 N1i%b,:3 18.18 Bags 387 DF!*S{) 18.13 进一步研究 388 "_
i: 19 vStack 389 ^8eu+E.{ 19.1 vStack基本原理 389 E#m|Sq 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 }&O}t{gS* 19.3 五棱镜 393 a$ FO5%o 19.4 光束距离 396 `8D}\w<eI 19.5 误差 399 %gE*x
# 19.6 二向分色棱镜 399 z<9wh2*M 19.7 偏振泄漏 404 &!5S'J% 19.8 波前误差—相位 405 m3E`kW| 19.9 其它计算参数 405 hMvLx>q3) 20 报表生成器 406 7awh__@ 20.1 入门 406 <*55d2 20.2 指令(Instructions) 406 7$u}uv`j 20.3 页面布局指令 406 Zw<\^1 20.4 常见的参数图和三维图 407 #?EmC]N7 20.5 表格中的常见参数 408 %^CoWbU 20.6 迭代指令 408 %qqX-SF0C 20.7 报表模版 408 K/Qo~
20.8 开始设计一个报表模版 409 n6]8W^g 21 一个新的project 413 (Ld,<!eN0 21.1 创建一个新Job 414 TcM;6h` 21.2 默认设计 415 Q&A^(z} 21.3 薄膜设计 416 aBonq]W 21.4 误差的灵敏度计算 420 sV`!4
u7%} 21.5 显色指数计算 422 .P^&sl*J 21.6 电场分布 424 85GU~. 后记 426 Y ZyV 有兴趣可以扫码加微联系 Yy3g7!K5E
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