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2IqsBK` 内容简介 gc7S_D~; Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 .3A66 O~zT 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ^:\|6`{n 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 `pE~M05 W{At3Bfy 讯技科技股份有限公司 sE-E\+
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p"ks8" 目录 'AE)&56 Preface 1 1fm\5/}'`1 内容简介 2 t*<.^+Vd 目录 i &|IY=$- 1 引言 1 M$
`b$il 2 光学薄膜基础 2 S>aN# 2.1 一般规则 2 x,STt{I= 2.2 正交入射规则 3 @/ wJW``; 2.3 斜入射规则 6 jtV{Lf3< 2.4 精确计算 7 !!b5vzyve 2.5 相干性 8 k ;R*mg*K 2.6 参考文献 10 "6lf~%R" 3 Essential Macleod的快速预览 10 ot]E\g+! 4 Essential Macleod的特点 32 kz(%8qi8& 4.1 容量和局限性 33 Ajr]&H4 4.2 程序在哪里? 33 [P]zdw
w# 4.3 数据文件 35 +iir]"8 4.4 设计规则 35 *{P"u(K 4.5 材料数据库和资料库 37 Q_euNoA0 4.5.1材料损失 38 >
F&Wuf 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Di<KRg1W]} 4.5.2 材料库 41 E#`=xg 4.5.3导出材料数据 43 5u
MP31 4.6 常用单位 43 wLPL9 4.7 插值和外推法 46 7KnZ 4.8 材料数据的平滑 50 "~9 !o" 4.9 更多光学常数模型 54 Y5$5qQ 4.10 文档的一般编辑规则 55 3 ~0Z.!O 4.11 撤销和重做 56 cXFNX< 4.12 设计文档 57 KtU I(*$` 4.10.1 公式 58 ji="vs=y 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 r;t0+aLc* 4.10.3 沉积密度 59 W^ict,t 4.10.4 平行和楔形介质 60 w-2p'u['Z 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 WLQm|C, 4.10.4 性能 61 ce\]o^4 4.10.5 保存设计和性能 64 Pdmfn8I]% 4.10.6 默认设计 64 &/d;4Eu 4.11 图表 64 I#zrz3WU 4.11.1 合并曲线图 67 YQvN;W 4.11.2 自适应绘制 68 y5 $h 4.11.3 动态绘图 68 \C5 YVl# 4.11.4 3D绘图 69 Eg-3GkC 4.12 导入和导出 73 UJ1iXV[h" 4.12.1 剪贴板 73 >c*}Do{lG 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Cb7f-Eag 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 zdrCr0Rx,
4.13 背景 77 dq28Y$9~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4pq@o 4.15 生成Rugate 84 N W :_)1 4.16 参考文献 91 o;.PZi2k 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 v=E V5#A 5.1 Jobs 92 ]y>)es1 5.2 创建一个新Job(工作) 93
XZLo*C!MG 5.3 输入材料 94 _nOJ.G 5.4 设计数据文件夹 95 s9>f5u?dK 5.5 默认设计 95 1T a48 6 细化和合成 97 7"Sw))H| 6.1 优化介绍 97 <RS@, 6.2 细化 (Refinement) 98 x+x6F 6.3 合成 (Synthesis) 100 {O9CYP: 6.4 目标和评价函数 101 v*SSc5gFG 6.4.1 目标输入 102 ,4zwd@&O 6.4.2 目标 103 o@mZ 6!ax3 6.4.3 特殊的评价函数 104 "5"6mw? 6.5 层锁定和连接 104 i\lur ET 6.6 细化技术 104 D]S@U>]M! 6.6.1 单纯形 105 fhw.A5Ck 6.6.1.1 单纯形参数 106 fNNkc[YTZI 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 O}I8P")m 6.6.2.1 Optimac参数 108 ~F [}*%iR 6.6.3 模拟退火算法 109 tfW/Mf 6.6.3.1 模拟退火参数 109 mD{<Lp= 6.6.4 共轭梯度 111 D1o<:jOj 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 CB{%~ 6.6.5 拟牛顿法 112 l2QO\O
I9m 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 h@}KBK 6.6.6 针合成 113 j/`-x 6.6.6.1 针合成参数 114 rVgz+'rFD[ 6.6.7 差分进化 114 FtXd6)_S 6.6.8非局部细化 115 +ntrp='7O7 6.6.8.1非局部细化参数 115 7pMQ1-( 6.7 我应该使用哪种技术? 116 j&6'sg;n) 6.7.1 细化 116 6FNs4|(d 6.7.2 合成 117 7^7Rk 6.8 参考文献 117 k~Qb"6n2 7 导纳图及其他工具 118 ?K%&N99c! 7.1 简介 118 L1A0->t 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 \]ouQR.t@\ 7.2.1 四分之一波长规则 119 Y?W"@awE"\ 7.2.2 导纳图 120 Vw.c05 x 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 JRt^YX 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Pz#D9.D0 7.5 斜入射导纳图 141 86igP 7.6 对称周期 141 T\ZWKx*# 7.7 参考文献 142 c`}-i6 8 典型的镀膜实例 143 S`HshYlE q 8.1 单层抗反射薄膜 145 8 #fzL7 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Y[Jt+p] 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 /cHd&i,> 8.4 W-膜层 148 t)P5bQ+$u9 8.5 V-膜层 149 Tap=K|b ]
8.6 V-膜层高折射基底 150 Q;{[U!\: 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ],CJSA!5F 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ;AMbo`YK[ 8.9 四层抗反射薄膜 153 eAKK uML 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 d\Cx(Lb[ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 4Kjrk7GAx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 EV{kd.=f 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 kXimJL_<g 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 mi9B C9W( 8.15十五层宽带抗反射膜 159 i
bAZ*I 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 KNT(lA0s 8.17 1/4波长堆栈 162 GyI(1OAW 8.18 陷波滤波器 163 vJ5` :4n" 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 7L~LpB 8.20 褶皱 165 <Wc98m 8.21 消偏振分光器1 169 N!Dc\d=8q] 8.22 消偏振分光器2 171 >;V ?s] 8.23 消偏振立体分光器 172 E*V UP5E 8.24 消偏振截止滤光片 173 #;FHyKx 8.25 立体偏振分束器1 174 P\<dy?nZ 8.26 立方偏振分束器2 177 ]-h$CJSY 8.27 相位延迟器 178 Q79& Q04XN 8.28 红外截止器 179 [0|g3K!A 8.29 21层长波带通滤波器 180 bB^% O^: 8.30 49层长波带通滤波器 181 [U+6Tj, 8.31 55层短波带通滤波器 182 O%? TxzX; 8.32 47 红外截止器 183 + E8\g 8.33 宽带通滤波器 184 `k y>M- 8.34 诱导透射滤波器 186 v~^c-]4I 8.35 诱导透射滤波器2 188 FlJ(V 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 46(Vq| 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 w5*?P4P 8.35 增益平坦滤波器 193 ga0>J_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 |Y'xtOMX 8.39 啁啾反射镜2 198 H |8vW 8.40 啁啾反射镜3 199 #N%ATV 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;\(Wz5Ok&J 8.42 增加铝反射率膜 201 6<0-GD}M 8.43 参考文献 202 VB6EM|bphl 9 多层膜 204 klHOAb1 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 _4qP0LCa 9.2 内部透过率 204 , VZ;= 9.3 内部透射率数据 205 q~*3Bk~ 9.4 实例 206 c\GJfsVk 9.5 实例2 210 T' O5>e 9.6 圆锥和带宽计算 212 BLxtS 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 Z9-HQ5> 10 光学薄膜的颜色 216 zTi%j$o 10.1 导言 216 W[S4s/)mg 10.2 色彩 216 tBEZ4 W>67 10.3 主波长和纯度 220 >XzCHtEP 10.4 色相和纯度 221 0Yz
&aH 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 O8BxXa@5 10.6 色差 226 Jej P91 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ca>6r` 10.8 颜色渲染指数 234 ~d oOt 10.9 色差计算 235 `P;fD/I 10.10 参考文献 236 $ijWwrh 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 !>XG$-$`Z 11.1 短脉冲 238 d ; (&_; 11.2 群速度 239 Y9F78=Q 11.3 群速度色散 241 bni :B?# 11.4 啁啾(chirped) 245 Id8^6FLw 11.5 光学薄膜—相变 245 S-^y;#= 11.6 群延迟和延迟色散 246 I!bzvPJ]xc 11.7 色度色散 246 cVv>"oF;~* 11.8 色散补偿 249 E<]l]? 11.9 空间光线偏移 256 51.! S 11.10 参考文献 258 J;+AG^U< 12 公差与误差 260 77/&M^0 12.1 蒙特卡罗模型 260 ]p3hq1u3& 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 x7$U 12.2.1 误差工具 267 *yAC8\v 12.2.2 灵敏度工具 271 2!QS&i 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,=KJ7zIK? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 @W3fKF9*R 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 ;6aTt2BQ 12.3 参考文献 276 ]>h2h ?2te 13 Runsheet 与Simulator 277 b6=.6?H@4f 13.1 原理介绍 277 S3nA}1R 13.2 截止滤光片设计 277 Nx4_Oc^hY 14 光学常数提取 289 .E:QZH' M 14.1 介绍 289 v ?@Ys+V 14.2 电介质薄膜 289 eK\ O> 14.3 n 和k 的提取工具 295 w91gM*A 14.4 基底的参数提取 302 (n7v $A 14.5 金属的参数提取 306 GCul6,w 14.6 不正确的模型 306 T1m097 14.7 参考文献 311 eN]0]9JO 15 反演工程 313 1fRYXqx 15.1 随机性和系统性 313 ` +]9+:tS 15.2 常见的系统性问题 314 k!E`Xeob 15.3 单层膜 314 TL@_m^SM 15.4 多层膜 314 R{S{N2+p( 15.5 含义 319 %)_R>. > 15.6 反演工程实例 319 Y<Y5HI" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 . (*V|&n 15.6.2 反演工程提取折射率 327 YBQO]3f 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 |x3(Tf 16.1 光学性质的热致偏移 329 2#'{Q4K 16.2 应力工具 335 +GMM&6< 16.3 均匀性误差 339 6
)eO%M` 16.3.1 圆锥工具 339 F;yq/e#Q 16.3.2 波前问题 341 OI B~W 16.4 参考文献 343 |;{^Mci% 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 b8)>:F 17.1 引言 345 reLYtv 17.2 操作数 345 0+IJ, ;Wx 18 如何在Function中编写脚本 351 ZQND^a: 18.1 简介 351 1fwCQM 18.2 什么是脚本? 351 QFIdp R. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 c_a*{L|c 18.4 基础 352 Md'd=Y_0 18.4.1 Classes(类别) 352 5{qFKo"g@, 18.4.2 对象 352 dix\hqZ 18.4.3 信息(Messages) 352 c:"*MM RC 18.4.4 属性 352 @u3K.}i:g 18.4.5 方法 353 ]qL#/ 18.4.6 变量声明 353 ?1}1uJMj- 18.5 创建对象 354 }K9Vr! 18.5.1 创建对象函数 355 2-nL2f!a{p 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 `Q6@,-(3 18.5.3 丢弃对象 356 2Xk(3J!!'a 18.5.4 总结 356 O-:#Q(H! 18.6 脚本中的表格 357 [(}f3W & 18.6.1 方法1 357 '#[U7(lIQ 18.6.2 方法2 357 ^dH#n~Wx0 18.7 2D Plots in Scripts 358 Y[Us"K` 18.8 3D Plots in Scripts 359 <QTu"i 18.9 注释 360 rP,i,1Ar 4 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 qQ%zSJ? 18.11 一个更高级的脚本 362 L<]j& 18.12 <esc>键 364 yi%A*q~MT 18.13 包含文件 365 'R8VCj 18.14 脚本被优化调用 366 F6Z l#eL 18.15 脚本中的对话框 368 V|
z|H$- 18.15.1 介绍 368 ^sd+s ~xx 18.15.2 消息框-MsgBox 368 N8}R<3/ 18.15.3 输入框函数 370 -QCo]:cp 18.15.4 自定义对话框 371 g*\u8fpRq 18.15.5 对话框编辑器 371 vp &jSfQ^ 18.15.6 控制对话框 377 s0v?*GRX 18.15.7 更高级的对话框 380 HY9H?T 18.16 Types语句 384 j(6:
18.17 打开文件 385 &$jg *Kr 18.18 Bags 387 ]oP2T:A 18.13 进一步研究 388 b,/fz6
{N 19 vStack 389 -vwkvNn8 19.1 vStack基本原理 389 +jO1?:Lr 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ,XCC#F(d1 19.3 五棱镜 393 7J./SBhB 19.4 光束距离 396 cEi{+rfZd| 19.5 误差 399 `R0>;TdT 19.6 二向分色棱镜 399 fGb(=l
19.7 偏振泄漏 404 %Nd|VAe 19.8 波前误差—相位 405 _ZIaEJjH/ 19.9 其它计算参数 405 )y'`C@ijI 20 报表生成器 406 *aS|4M- 20.1 入门 406 xeo;4c#S5 20.2 指令(Instructions) 406 9c8zH{T_{ 20.3 页面布局指令 406 =#n05*^ 20.4 常见的参数图和三维图 407 C\dQ6(3}\ 20.5 表格中的常见参数 408 8^&)A b 20.6 迭代指令 408 +cM; d4 20.7 报表模版 408 xT{qeHeZ9, 20.8 开始设计一个报表模版 409 $iDatQ[ 21 一个新的project 413 <%<}];bmFL 21.1 创建一个新Job 414 COc1np 21.2 默认设计 415 ygS*))7
r 21.3 薄膜设计 416 !0c7nzjm 21.4 误差的灵敏度计算 420 uCF+Mp 21.5 显色指数计算 422 l!Z>QE`.S 21.6 电场分布 424 [=u8$5/a 后记 426 j#Ly!%dp 有兴趣可以扫码加微联系 !Qjpj KRy
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