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2jyxP6t 内容简介 }*vO&J@z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 36yIfC, 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 H@`lM~T[ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 1#nY Z% 9+:<RFJ 讯技科技股份有限公司 g3\13<
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0/,teJk 目录 Qz([\Xx: Preface 1 S|T*-?| 内容简介 2 ^fvx2< 目录 i \`8?=_ST 1 引言 1 R3E|seR 2 光学薄膜基础 2 IUQYoKz4}A 2.1 一般规则 2 DK(8Ml:k 2.2 正交入射规则 3 -7A2@g 2.3 斜入射规则 6 PAv<J<d 2.4 精确计算 7 I =nvL 2.5 相干性 8 \n0MqXs# 2.6 参考文献 10 l"9$lF} 3 Essential Macleod的快速预览 10 {-L}YX"Bh 4 Essential Macleod的特点 32 sKDL=c;?j 4.1 容量和局限性 33 MMf_ 4.2 程序在哪里? 33 9f$3{ g{m 4.3 数据文件 35 ^c:I]_Ww 4.4 设计规则 35 !6`&0eY 4.5 材料数据库和资料库 37 W";Po)YC
4.5.1材料损失 38 vPx#TXY=b} 4.5.1材料数据库和导入材料 39 k]yv#Pa 4.5.2 材料库 41 tDNo; f 4.5.3导出材料数据 43 )!d_Td\- 4.6 常用单位 43 /UiB1-*b 4.7 插值和外推法 46 (h%xqXs 4.8 材料数据的平滑 50 910N1E 4.9 更多光学常数模型 54 RzqU`<// 4.10 文档的一般编辑规则 55 N1X;&qZDd 4.11 撤销和重做 56 Q@.%^1Mp 4.12 设计文档 57 n$3w=9EX* 4.10.1 公式 58 vf['$um 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 PpR
eqmo 4.10.3 沉积密度 59 ~{!,ZnO* 4.10.4 平行和楔形介质 60 n2&M?MGX 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 QHe: 4.10.4 性能 61 -A1:S'aN- 4.10.5 保存设计和性能 64 N#7_)S[@0l 4.10.6 默认设计 64 LH>h]OTQF 4.11 图表 64 *|)O 4.11.1 合并曲线图 67 W29GM -,K 4.11.2 自适应绘制 68 .jRv8x b 4.11.3 动态绘图 68 K?,`gCN}v 4.11.4 3D绘图 69 txy'7t 4.12 导入和导出 73 jN2Xoh9 4.12.1 剪贴板 73 )iCg,?SSw= 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 a`S3v 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;Yn_*M/* 4.13 背景 77 Ct}rj-L<i 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 `}*jjnr" 4.15 生成Rugate 84 7kQ,D,c' 4.16 参考文献 91 t++\&!F 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q??N, 5.1 Jobs 92 <&=3g/Y 5.2 创建一个新Job(工作) 93 cb9@
0^- 5.3 输入材料 94 Bt"*a=t; 5.4 设计数据文件夹 95 .;NoKO7) 5.5 默认设计 95 SRc|9W5t*J 6 细化和合成 97 vz'<i. Yv4 6.1 优化介绍 97 )LE#SGJP 6.2 细化 (Refinement) 98 T1fX[R ^\ 6.3 合成 (Synthesis) 100 R|dSjE s 6.4 目标和评价函数 101 vmT6^G 6.4.1 目标输入 102 +yIO 6.4.2 目标 103 8Nxyc>8K~ 6.4.3 特殊的评价函数 104 8!Q0:4Vb 6.5 层锁定和连接 104 kl9<l* 6.6 细化技术 104 rYk 6.6.1 单纯形 105 q'<K$4_,% 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]\oE}7K%r 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 nokMS 6.6.2.1 Optimac参数 108 }7/Ob)O 6.6.3 模拟退火算法 109 [NguQ]B. 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )\,hc$<=m 6.6.4 共轭梯度 111 '2c4
4F)i 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 &6@e9ff0 6.6.5 拟牛顿法 112 4L[-[{2 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
B,RHFlp{ 6.6.6 针合成 113 v9vY#W 6.6.6.1 针合成参数 114 >)S'`e4Gu 6.6.7 差分进化 114 [LHfH3[gU 6.6.8非局部细化 115 ED
R*1!d 6.6.8.1非局部细化参数 115 5 }F6s 6.7 我应该使用哪种技术? 116 PVUNi: h 6.7.1 细化 116 C$fQ[@ 6.7.2 合成 117 m4kUA"n5 6.8 参考文献 117 4p_@f^v~QH 7 导纳图及其他工具 118 [[d@P%X& 7.1 简介 118 E9n7P'8 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 &1,qC,:! 7.2.1 四分之一波长规则 119 3W}xYYs]^ 7.2.2 导纳图 120 Wy,Tf*[ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 vCtag]H2@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Y([vma>U] 7.5 斜入射导纳图 141 ]mmL8%B@_ 7.6 对称周期 141 YfOO]{x,X 7.7 参考文献 142 jYJfo< 8 典型的镀膜实例 143 U2VnACCUZs 8.1 单层抗反射薄膜 145 [:\8Ug8 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 ^)|1T#Tz 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 -YP>mwSN? 8.4 W-膜层 148 ,c'a+NQ_t 8.5 V-膜层 149 z hFk84 8.6 V-膜层高折射基底 150 )9JuQ_R 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 B~2\v%J 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 S)d_A 8.9 四层抗反射薄膜 153 ~",,&>#[K 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 WgQ6EV` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 za@`,Yq 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 3xz{[ 5<p 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 cYMlcwS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7A[`%.!F6 8.15十五层宽带抗反射膜 159 $N1UEvC%Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 u6(>?r- 8.17 1/4波长堆栈 162 L(!mm 8.18 陷波滤波器 163 zSFqy'b.M- 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 )q+9_KUq 8.20 褶皱 165 sd~T 8.21 消偏振分光器1 169 Skd,=r 8.22 消偏振分光器2 171 mf)o1O&B 8.23 消偏振立体分光器 172 sw715"L 8.24 消偏振截止滤光片 173 >O&:[CgEF 8.25 立体偏振分束器1 174 kGSB6 8.26 立方偏振分束器2 177 lj!f\C}d 8.27 相位延迟器 178 .2
/$ !'E 8.28 红外截止器 179 h^KLqPBt{ 8.29 21层长波带通滤波器 180 [1*3 kt*h 8.30 49层长波带通滤波器 181 p4OiCAW; 8.31 55层短波带通滤波器 182 tgbr/eCoU 8.32 47 红外截止器 183 9
6'{ES9D 8.33 宽带通滤波器 184 xPi/nWl`| 8.34 诱导透射滤波器 186 q={\|j$X 8.35 诱导透射滤波器2 188 :9`T.V<? 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Mo2b"A;}| 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 s~(iB{- 8.35 增益平坦滤波器 193 Ya)s_Zr7 8.38 啁啾反射镜 1 196 Lh5d2}tcO 8.39 啁啾反射镜2 198 ,??%["R 8.40 啁啾反射镜3 199 4F+n`{~ 8.41 带保护层的铝膜层 200 {~"6/L 8.42 增加铝反射率膜 201 ?Q)z5i'g# 8.43 参考文献 202 ^3L6mOoA 9 多层膜 204 Bld $<uU 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $3Ct@}=n 9.2 内部透过率 204 6Q._zk 9.3 内部透射率数据 205 |[VtYV _{ 9.4 实例 206 &&;ol}W 9.5 实例2 210 LA.xLU3 9.6 圆锥和带宽计算 212 r%g?.4o*b 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ''f07R 10 光学薄膜的颜色 216 Uaho.(_GP 10.1 导言 216 #D$vH 10.2 色彩 216 ji[O? 10.3 主波长和纯度 220 x^|J- 10.4 色相和纯度 221 *kXSl73 k 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 7lvUIc?krW 10.6 色差 226 <z*SO
a 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 MhNDf[W> 10.8 颜色渲染指数 234 H3"[zg9L:a 10.9 色差计算 235 !ACWv*pW 10.10 参考文献 236 \1[I(u 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?[K+Ym+ 11.1 短脉冲 238 %7PprN0> 11.2 群速度 239 ;u'mSJI' 11.3 群速度色散 241 l+.E' 11.4 啁啾(chirped) 245 s9<fPv0w 11.5 光学薄膜—相变 245 {Tp0#fi 11.6 群延迟和延迟色散 246 |yi3y `f 11.7 色度色散 246 :Gh*
d) 11.8 色散补偿 249 7RmL#f` 11.9 空间光线偏移 256 N;A#3Ter 11.10 参考文献 258 HN\Zrb 12 公差与误差 260 XB)e;R 12.1 蒙特卡罗模型 260 0(|BQ'4~H 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 FKd5]am 12.2.1 误差工具 267 C^S?W=1=w 12.2.2 灵敏度工具 271 u,
%mVd 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ~a[]4\m; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 JrTSu`S(' 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 n<p`OKIV3 12.3 参考文献 276 nu] k<^I5| 13 Runsheet 与Simulator 277 \#[W8k<Z 13.1 原理介绍 277 `~hAXnQK= 13.2 截止滤光片设计 277 }ZEh^zdz8 14 光学常数提取 289 fv!l { 14.1 介绍 289 GqI^$5? 14.2 电介质薄膜 289 "-y\F}TE 14.3 n 和k 的提取工具 295 ]],6Fi+
14.4 基底的参数提取 302 Wiqy".YY 14.5 金属的参数提取 306 JEX{jf 14.6 不正确的模型 306 C|Bk'<MI 14.7 参考文献 311 >w jWX{&? 15 反演工程 313 )^uLZMNaI 15.1 随机性和系统性 313 F_!6C-z 15.2 常见的系统性问题 314 X-! yi 15.3 单层膜 314 0}q ij 15.4 多层膜 314 i+yqsYKO 15.5 含义 319 cI4%zeR 15.6 反演工程实例 319 *$x/(!UE 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 f)q\RJA)X 15.6.2 反演工程提取折射率 327 )#MKOsOct 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ,~FyC_%*
16.1 光学性质的热致偏移 329 (|Am 16.2 应力工具 335 !arcQ:T@G 16.3 均匀性误差 339 -[s*R%w 16.3.1 圆锥工具 339 j-ugsV`2=* 16.3.2 波前问题 341 [UquI " 16.4 参考文献 343 Z~8Xp 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 R:B-4 17.1 引言 345 1 ,o C:N 17.2 操作数 345 fcb:LPk; 18 如何在Function中编写脚本 351 &-+qB
>SK> 18.1 简介 351 N10'./c K 18.2 什么是脚本? 351 N{`-&8q;K 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 +&tY&dQQB 18.4 基础 352 it\{#rb=4 18.4.1 Classes(类别) 352 ]y$D@/L@ 18.4.2 对象 352 bslv_OxJ 18.4.3 信息(Messages) 352 KO<fN,DR 18.4.4 属性 352 dY/=-ymW 18.4.5 方法 353 je.jui" 18.4.6 变量声明 353 aZ2liR\QE 18.5 创建对象 354 E8=.TM]L 18.5.1 创建对象函数 355 6}IOUWLB@ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 dW<. 18.5.3 丢弃对象 356 DTN @b! 18.5.4 总结 356 *(L4rK\2 18.6 脚本中的表格 357 h|dVVCsN 18.6.1 方法1 357 g8mVjM\B; 18.6.2 方法2 357 a9"x_IVU 18.7 2D Plots in Scripts 358 nTY`1w.; 18.8 3D Plots in Scripts 359 HGB96,o f9 18.9 注释 360 }_0?S0<# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 b#P, 18.11 一个更高级的脚本 362 0F`@/C1y55 18.12 <esc>键 364 mT5d[lz 18.13 包含文件 365 Vlce^\s; 18.14 脚本被优化调用 366 B8Jev\_ 18.15 脚本中的对话框 368 W+a>*#* 18.15.1 介绍 368 9+9}^B5@A 18.15.2 消息框-MsgBox 368 I'BoP 18.15.3 输入框函数 370 BkA>':bUr 18.15.4 自定义对话框 371 ag14omM- 18.15.5 对话框编辑器 371 J7emoD[ 18.15.6 控制对话框 377 }Q`Kg8L 18.15.7 更高级的对话框 380 LcE!e%3 18.16 Types语句 384 ;%]Q%7 18.17 打开文件 385 Pp:(PoH 18.18 Bags 387 XV)ej>A-V 18.13 进一步研究 388 sqei(OXy 19 vStack 389 f&H):. 19.1 vStack基本原理 389 +f+x3OMX3 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 HV&N(;@ 19.3 五棱镜 393 (E&}SI~ 19.4 光束距离 396 B!!xu 19.5 误差 399 9Z6] ];8E 19.6 二向分色棱镜 399 Ne@Iv)g? 19.7 偏振泄漏 404 +kH*BhSj 19.8 波前误差—相位 405 f'aUo|^? 19.9 其它计算参数 405 0^]E-Zf 20 报表生成器 406 N|z-s 20.1 入门 406 :De}5BMy 20.2 指令(Instructions) 406 vC$[Zm 20.3 页面布局指令 406 fa/
'4 20.4 常见的参数图和三维图 407 E0>4Q\n{ 20.5 表格中的常见参数 408 -#Yg B5 20.6 迭代指令 408 <QugV3e 20.7 报表模版 408 Vg\EAs>f 20.8 开始设计一个报表模版 409 KZ`d3ad 21 一个新的project 413 7}%3Aw6]S 21.1 创建一个新Job 414 k:Uyez 21.2 默认设计 415 \UGs_5OT 21.3 薄膜设计 416 4B<D.i ;} 21.4 误差的灵敏度计算 420 g*b% 21.5 显色指数计算 422 ToCB*GlL 21.6 电场分布 424 st|$Fu 后记 426 IJs*zzR 有兴趣可以扫码加微联系 g/mVd;#o
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