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HNRAtRvnY 内容简介 $`A{-0=x\U Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 )x,/+R]{8l 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 !/a![Ne 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 _/czH<
{Gr"lOi*@ 讯技科技股份有限公司 $>8O2p7W
J9*i`8kU. 目录 qfkdQ/fP Preface 1 "{S6iH)]8 内容简介 2 lak,lDt] 目录 i mm9uhlV8 1 引言 1 s{Og3qUy 2 光学薄膜基础 2 csd9[=HW/Q 2.1 一般规则 2 iT;Ld $!{f 2.2 正交入射规则 3 pO/vD~C> 2.3 斜入射规则 6 5DpvMhc_ 2.4 精确计算 7 p,V%wGM 2.5 相干性 8 ih|;H:"^ 2.6 参考文献 10 R XCjYzt 3 Essential Macleod的快速预览 10 3ey.r%n 4 Essential Macleod的特点 32 Z2L7US- 4.1 容量和局限性 33 i[?VF\Y( 4.2 程序在哪里? 33 1V wcJd 4.3 数据文件 35 Pl. y9g~ 4.4 设计规则 35 !4a#);`G 4.5 材料数据库和资料库 37 f}~=C2R1<! 4.5.1材料损失 38 ~_hA{$ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Ma'#5)D 4.5.2 材料库 41 K.=5p/^a 4.5.3导出材料数据 43 0h~{K 4.6 常用单位 43 '6kD6o_p1 4.7 插值和外推法 46 ZC%;5O` 4.8 材料数据的平滑 50 L PS,\+ 4.9 更多光学常数模型 54 *;(^)Sj4Q 4.10 文档的一般编辑规则 55 J)^F 4.11 撤销和重做 56 2FW"uYA;6 4.12 设计文档 57 52 *ii 4.10.1 公式 58 ^9`|QF 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 gAh#H ?MM 4.10.3 沉积密度 59 Qqi?DW1)- 4.10.4 平行和楔形介质 60 2cO6'?b 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 bSz@@s. 4.10.4 性能 61 )@p?4XsT4J 4.10.5 保存设计和性能 64 +J85Re ` 4.10.6 默认设计 64 0~EGrEt 4.11 图表 64 LzJ`@0RrX 4.11.1 合并曲线图 67 #1C]ZV] B 4.11.2 自适应绘制 68 w=CzPNRHH! 4.11.3 动态绘图 68 U {Knjo S 4.11.4 3D绘图 69 1{5t. 4.12 导入和导出 73 eh%{BXW[p 4.12.1 剪贴板 73 &qK:LHhj 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 u|Oc+qA( 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 n!.=05OtX 4.13 背景 77 c3Gy1#f:#2 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 %Oo
f/q 4.15 生成Rugate 84 @ze2'56F} 4.16 参考文献 91 _-sFJi8B 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 )Fp$
*]| 5.1 Jobs 92 ^Zp 5.2 创建一个新Job(工作) 93 FrUqfTi+W 5.3 输入材料 94 "G-h8IN^O 5.4 设计数据文件夹 95 0WfnX>(C7R 5.5 默认设计 95 `a:3S@n(} 6 细化和合成 97 9=j)g 6.1 优化介绍 97 :h |]j[2p 6.2 细化 (Refinement) 98 zRa2iCi 6.3 合成 (Synthesis) 100 7p hf 6.4 目标和评价函数 101 ZDAW>H< 6.4.1 目标输入 102 Zxd*%v; 6.4.2 目标 103 j:qexhtho 6.4.3 特殊的评价函数 104 Mo<q(_ZeRP 6.5 层锁定和连接 104 sa&`CEa 6.6 细化技术 104 WF-jy7+ 6.6.1 单纯形 105 $=Ns7Sbup 6.6.1.1 单纯形参数 106 tHo|8c~[ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 @D!*@M6 6.6.2.1 Optimac参数 108 n((A:b 6.6.3 模拟退火算法 109 Xz)qtDN|( 6.6.3.1 模拟退火参数 109 }vh4ix 6.6.4 共轭梯度 111 %LzARTX 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !V(r
p80 6.6.5 拟牛顿法 112 f1v4h[)- 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ]j>`BK>FE 6.6.6 针合成 113 Cc*R3vHM6 6.6.6.1 针合成参数 114 3^nH>f-Y 6.6.7 差分进化 114 dCS f$5 6.6.8非局部细化 115 j}B86oX 6.6.8.1非局部细化参数 115 }IZw6KiN 6.7 我应该使用哪种技术? 116 -|^)8 6.7.1 细化 116 b1cVAfUP 6.7.2 合成 117 Ncsh{. 6.8 参考文献 117 4xq| 7 导纳图及其他工具 118 N6of$p'N 7.1 简介 118 Y)]C.V,~ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 L -:@Om! 7.2.1 四分之一波长规则 119 0}qlZFB 7.2.2 导纳图 120 <K<#)mcv 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 09anQHa 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 |,5|ZpgL 7.5 斜入射导纳图 141 zRD-[Z/- 7.6 对称周期 141 A7%/sMv 7.7 参考文献 142 D*[Jrq, 8 典型的镀膜实例 143 a*LfT<hmU3 8.1 单层抗反射薄膜 145 Osm))Ua( 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 j*gJP
! 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 7(X
z%v 8.4 W-膜层 148 "f_qG2A{ 8.5 V-膜层 149 );VuZsmi 8.6 V-膜层高折射基底 150 s[y.gR.( 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 D>7J[ Yxg- 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 c`p'5qz 8.9 四层抗反射薄膜 153 t"YsIOT:O" 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k_,&
Q?GtU 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 (DY[OIHI 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ^i Jyo&I 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 *9$SFe|&n: 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 w(aHB8T 8.15十五层宽带抗反射膜 159 S}
OO) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 M*ZN]9{^. 8.17 1/4波长堆栈 162 q)Nw$dW< 8.18 陷波滤波器 163 %+Ze$c}X 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 5|*`} ;/y 8.20 褶皱 165 viUJ4Pn 8.21 消偏振分光器1 169 abT,"a\h 8.22 消偏振分光器2 171 [SC6{| 8.23 消偏振立体分光器 172 u "jV#,, 8.24 消偏振截止滤光片 173 4F
G0'J&hw 8.25 立体偏振分束器1 174 vVw@^7U 8.26 立方偏振分束器2 177 RPgz"- 8.27 相位延迟器 178 pKy4***I3 8.28 红外截止器 179 `62v5d*>a 8.29 21层长波带通滤波器 180 ^M6lF5 8.30 49层长波带通滤波器 181 1J/'R37lP 8.31 55层短波带通滤波器 182 &xN+a{& 8.32 47 红外截止器 183 I2}eFz&FE 8.33 宽带通滤波器 184 "QNQ00[T`> 8.34 诱导透射滤波器 186 g,EDE6`8 8.35 诱导透射滤波器2 188 N;'c4=M~( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 bA#9'Qu^j
8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 rf%lhBv 8.35 增益平坦滤波器 193 >h;]rMD!| 8.38 啁啾反射镜 1 196 `}#rcDK 8.39 啁啾反射镜2 198 C&H'?0Y@ 8.40 啁啾反射镜3 199 >bze0`}Z 8.41 带保护层的铝膜层 200 _8u TK%| 8.42 增加铝反射率膜 201 Wy7w zt 8.43 参考文献 202 IJGw<cB]+ 9 多层膜 204 S\8v)|Pr 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 iLuC_.'u= 9.2 内部透过率 204 2.niB> 9.3 内部透射率数据 205 b|Emu!9U
9.4 实例 206 IoLi7NKw 9.5 实例2 210 ^wd@mWxx 9.6 圆锥和带宽计算 212 [M~tH *4" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 +|obU9M 10 光学薄膜的颜色 216 =;uMrb4 10.1 导言 216 /"?DOsJ. 10.2 色彩 216 b/:wpy+9Z 10.3 主波长和纯度 220 G5/A{1sz& 10.4 色相和纯度 221 /ki-Tha 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 MmjZq 10.6 色差 226
F/5G~17 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 u7hu8U= 10.8 颜色渲染指数 234 .yZLC%} 10.9 色差计算 235 .A<Hk1(-) 10.10 参考文献 236 F&czD;F 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 x5Lbe5/P 11.1 短脉冲 238 W^L^7 11.2 群速度 239 6Bjo9,L 11.3 群速度色散 241 5N|LT8P}Z 11.4 啁啾(chirped) 245 b`#YJpA 11.5 光学薄膜—相变 245 js81@WX!c 11.6 群延迟和延迟色散 246 Ldz]FB| 11.7 色度色散 246 5U475& 11.8 色散补偿 249 CLaQE{ 11.9 空间光线偏移 256 <3B^5p\/ 11.10 参考文献 258 .u7}p# 12 公差与误差 260 bLai@mL&a 12.1 蒙特卡罗模型 260 ?/3wO/7[ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 V)<>W_g 12.2.1 误差工具 267 "frZ%mv 12.2.2 灵敏度工具 271 FFcCoPX_ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 n]IF`kYQV 12.2.2.2 灵敏度分布 275 dRJ
](Gw 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 XMI*obS'z 12.3 参考文献 276 CwX?%$S
13 Runsheet 与Simulator 277 n;Oe- +oSC 13.1 原理介绍 277 lrv-[}} 13.2 截止滤光片设计 277 ^}-l["u` 14 光学常数提取 289 rS BI'op 14.1 介绍 289 4@-tT;$ 14.2 电介质薄膜 289 )-3~^Y#r_ 14.3 n 和k 的提取工具 295 :.*Q@X}-I 14.4 基底的参数提取 302 gS+X% 14.5 金属的参数提取 306 |:R\j0t 14.6 不正确的模型 306 <=7nTcO~ 14.7 参考文献 311 '0+I' _( 15 反演工程 313 L[2qCxB'^ 15.1 随机性和系统性 313 ta)gOc)r
R 15.2 常见的系统性问题 314 gFTU9k< 15.3 单层膜 314 {S=<(A@ 15.4 多层膜 314 D",L. 15.5 含义 319 ;-u]@35 15.6 反演工程实例 319 9!n:hhJM 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 1$T`j2s 15.6.2 反演工程提取折射率 327 2X2Ax~d@ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 %]LoR$|Y 16.1 光学性质的热致偏移 329 |URfw5Hm 16.2 应力工具 335 M
+OVqTsFU 16.3 均匀性误差 339 /+92DV 16.3.1 圆锥工具 339 cj2Smgw&> 16.3.2 波前问题 341 E D>7 16.4 参考文献 343 {A0F/#M] 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 #g6 _)B=S 17.1 引言 345 UJ}}H}{ 17.2 操作数 345 *1dZs~_ 18 如何在Function中编写脚本 351 $l7}e=1 18.1 简介 351 u;t<rEC2 18.2 什么是脚本? 351 t08U9`w 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ([q>.[WbH] 18.4 基础 352 bra2xHK@ 18.4.1 Classes(类别) 352 ,9ueHE 18.4.2 对象 352 QIkFX.^ 18.4.3 信息(Messages) 352 s1_Y~<yX 18.4.4 属性 352 \ZcI{t'a 18.4.5 方法 353 LOkgeJuWv 18.4.6 变量声明 353 E^rBs2;9 18.5 创建对象 354 _E?tVx.6 18.5.1 创建对象函数 355 R9A:"sJ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 @JlT*:Dz 18.5.3 丢弃对象 356 %_Vz0
D!7 18.5.4 总结 356 !hQ-i3?qm 18.6 脚本中的表格 357 7%"|6dw 18.6.1 方法1 357 hFA |(l6 18.6.2 方法2 357 l5w^rj 18.7 2D Plots in Scripts 358 k$%{w\?Jf 18.8 3D Plots in Scripts 359 }`
3- 18.9 注释 360 WDY\Fj 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Bdh*[S\u@E 18.11 一个更高级的脚本 362 6E) T;R(@ 18.12 <esc>键 364 _]*[TGap 18.13 包含文件 365 %t&Lq }e 18.14 脚本被优化调用 366 `S((F|Ty=; 18.15 脚本中的对话框 368 9q?knMt 18.15.1 介绍 368 qOG@MR(5 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ]CP5s5 18.15.3 输入框函数 370 rrU(>jA! 18.15.4 自定义对话框 371 jW#dUKS( 18.15.5 对话框编辑器 371 65 zwi- 18.15.6 控制对话框 377 M{p6&eg 18.15.7 更高级的对话框 380 M
%zf?>]) 18.16 Types语句 384 +DSbr5"VlB 18.17 打开文件 385 49E|
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^q 18.18 Bags 387 <IR@/b!, 18.13 进一步研究 388 LeN }Q 19 vStack 389 8i"CU:( 19.1 vStack基本原理 389 X#axCDM- 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ,'c%S|]U7 19.3 五棱镜 393 Z%o.kd" 19.4 光束距离 396 Y_*KAr'{P 19.5 误差 399 z&!o1uq 19.6 二向分色棱镜 399 53uptQ{ 19.7 偏振泄漏 404 9*iVv)jd 19.8 波前误差—相位 405 VT>-* 19.9 其它计算参数 405 X{xkXg8h 20 报表生成器 406 27gHgz}} 20.1 入门 406 /w dvm4 20.2 指令(Instructions) 406 [x>Pf1 20.3 页面布局指令 406 TCzz]?G]la 20.4 常见的参数图和三维图 407 rMG[,:V 20.5 表格中的常见参数 408 WuVsW3@ 20.6 迭代指令 408 <8%+-[(
20.7 报表模版 408 u^C\aujg 20.8 开始设计一个报表模版 409 L~+aD2E { 21 一个新的project 413 q:up8-LAr 21.1 创建一个新Job 414 8Ie0L3d- 21.2 默认设计 415 Y]R=z*i% 21.3 薄膜设计 416 LL:N/1ysG 21.4 误差的灵敏度计算 420 nS$4[!0 21.5 显色指数计算 422 CNuE9|W(vI 21.6 电场分布 424 dT1UYG}>j 后记 426 s7E %Et 有兴趣可以扫码加微联系 K&._fG
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