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,#6\:i 内容简介 ]Ea6Z Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 U ;/ )V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 2I 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Y|L57F kW9STN 讯技科技股份有限公司 Syb:i(Y
QK\z-'&n 目录 (46)v'? Preface 1 ()Z$j,2 内容简介 2 x0]*'^aA 目录 i ur|2FS7 1 引言 1 BeRn9[ 2 光学薄膜基础 2 R;%iu0 2.1 一般规则 2 &}oDSD
H^, 2.2 正交入射规则 3 !Kis,e 2.3 斜入射规则 6 z'm;H{xf 2.4 精确计算 7 c=5$bo]LI 2.5 相干性 8 :MpCj<<[ 2.6 参考文献 10 1/ a,7Hl 3 Essential Macleod的快速预览 10 j'W)Nyw$[ 4 Essential Macleod的特点 32 A U](pXK; 4.1 容量和局限性 33 a?;{0I:Ln 4.2 程序在哪里? 33 ci!c7 ,'c 4.3 数据文件 35 b#b#r
4.4 设计规则 35 ;tHF$1!J 4.5 材料数据库和资料库 37 8WvT0q>] 4.5.1材料损失 38 "}n]0 >J 4.5.1材料数据库和导入材料 39 Dbgw)n*2 4.5.2 材料库 41 UwLa9Dn^ 4.5.3导出材料数据 43 uwbj`lpf 4.6 常用单位 43 M*x_1h5n 4.7 插值和外推法 46 A
9u9d\ 4.8 材料数据的平滑 50 *aSFJK 4.9 更多光学常数模型 54 fE(rDQI 4.10 文档的一般编辑规则 55 ]8RcZn 4.11 撤销和重做 56 n@*NQ`(_ 4.12 设计文档 57 Eq|_>f@@8 4.10.1 公式 58 3+)i23[4=\ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 hgm`6TQ 4.10.3 沉积密度 59 Ij"`pdp 4.10.4 平行和楔形介质 60 V< J~:b1V 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 #q%&,;4 4.10.4 性能 61 /@0wbA 4.10.5 保存设计和性能 64 U5" C"+
3 4.10.6 默认设计 64 #SO9e.yhI 4.11 图表 64 s{gdTG6v` 4.11.1 合并曲线图 67 =l
{>-`: 4.11.2 自适应绘制 68 vrH/Z.WD 4.11.3 动态绘图 68 CYz]tv}g: 4.11.4 3D绘图 69 p 5P<3( 4.12 导入和导出 73 Ur_~yX]Mo 4.12.1 剪贴板 73 lrK5q 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 wL~
dZ!,J 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 [ $B 4.13 背景 77 J3C"W794} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9"&HxyOfX 4.15 生成Rugate 84 zDC-PHFHQ 4.16 参考文献 91 68d(6?OgW 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 H"m^u6Cmy- 5.1 Jobs 92 D/rKqPp|! 5.2 创建一个新Job(工作) 93 \=1k29O 5.3 输入材料 94 7|*|xLrVY 5.4 设计数据文件夹 95 PbCXcs 5.5 默认设计 95 ^,@Rd\q 6 细化和合成 97 IX$ $pdQ 6.1 优化介绍 97 /&a[D2 6.2 细化 (Refinement) 98 ]QRhTz 6.3 合成 (Synthesis) 100 LC2t,!RRl& 6.4 目标和评价函数 101 cW%F%:b 6.4.1 目标输入 102 $yBU
,lu} 6.4.2 目标 103 c=h{^![$ 6.4.3 特殊的评价函数 104 }"E?#&^ 6.5 层锁定和连接 104 )Yy`$` 6.6 细化技术 104 y.HE3tH 6.6.1 单纯形 105 $s5LzJn 6.6.1.1 单纯形参数 106 {O[a+r.n 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )L<NW{ 6.6.2.1 Optimac参数 108 k& 2U& 6.6.3 模拟退火算法 109 ^/U-(4O05* 6.6.3.1 模拟退火参数 109 =LC:1zn4 6.6.4 共轭梯度 111 ] K3^0S/ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 !X*+Ct^ 6.6.5 拟牛顿法 112 IXDj;~GF 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 hQv~C4Wfrf 6.6.6 针合成 113 bx#GOK- 6.6.6.1 针合成参数 114 *VG#SK 6.6.7 差分进化 114 s3Pr$h 6.6.8非局部细化 115 @FKm_q 6.6.8.1非局部细化参数 115 8M<q-sn4B 6.7 我应该使用哪种技术? 116 G~5EAeG 6.7.1 细化 116 .B_LQ;0:
6.7.2 合成 117 UzTFT:\ 6.8 参考文献 117 d"`/P?nx 7 导纳图及其他工具 118 [H<![Z1*r 7.1 简介 118 hd0d
gc 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [#hpWNez(> 7.2.1 四分之一波长规则 119 aDceOhfx 7.2.2 导纳图 120 7}>Zq`]~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 AqnDsr! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 awxzP*6 7.5 斜入射导纳图 141 xMsSZ{j%5 7.6 对称周期 141 zW.I7Z0^ 7.7 参考文献 142 Yz7H@Y2i 8 典型的镀膜实例 143 <q\OREMsq 8.1 单层抗反射薄膜 145 {,xI|u2R 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 *9Ta0e* 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 .\)`Xj[? 8.4 W-膜层 148 +U9m 8.5 V-膜层 149 wzX(]BG 8.6 V-膜层高折射基底 150 K
?uHAm 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 9lXjB_wG> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 E&>3 {uZI 8.9 四层抗反射薄膜 153 ufl[sj%^| 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |y%pJdPk= 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "-
2HKs 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 3T1t !q4/5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 J n>3c 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ''D\E6c\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M9~eDw'Pr 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 vNWCv 8.17 1/4波长堆栈 162 Df hu 8.18 陷波滤波器 163 4C:-1gu7 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 dMd2a4 8.20 褶皱 165 fI<|]c}P&J 8.21 消偏振分光器1 169 ~?6M4!u
8.22 消偏振分光器2 171 7=3'PfS 8.23 消偏振立体分光器 172 Th.Mn}1%L 8.24 消偏振截止滤光片 173 u B~C8} 8.25 立体偏振分束器1 174 }R&5Ye 8.26 立方偏振分束器2 177 ~SzHIVj:6 8.27 相位延迟器 178 y,/Arl}yc 8.28 红外截止器 179 [LF<aR5 8.29 21层长波带通滤波器 180 57|RE5]|! 8.30 49层长波带通滤波器 181 18eB\4NlD 8.31 55层短波带通滤波器 182 HpKF7oJ'N 8.32 47 红外截止器 183 E\Qm09Dj`< 8.33 宽带通滤波器 184 a>H8,a 8.34 诱导透射滤波器 186 \8^c"%v,: 8.35 诱导透射滤波器2 188 aam6R/4 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 uN;]Fv@Z 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ` W}Bc 8.35 增益平坦滤波器 193 c0U=Hj@@ 8.38 啁啾反射镜 1 196 Z1dLC'/b] 8.39 啁啾反射镜2 198 h uIvXl 8.40 啁啾反射镜3 199 OD8{
/7 8.41 带保护层的铝膜层 200 6%A_PP3Z 8.42 增加铝反射率膜 201 ISDeLUihY 8.43 参考文献 202 /idrbc 9 多层膜 204 nj4G8/U-q 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 "i^<
H 9.2 内部透过率 204 PRi1 `%d 9.3 内部透射率数据 205 b haYbiX? 9.4 实例 206 N<e72x 9.5 实例2 210 xH4Qv[k
Q7 9.6 圆锥和带宽计算 212 1m4Xl%KS> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 H"vkp~u]I 10 光学薄膜的颜色 216 + t7n6 10.1 导言 216 c( 8>|^M 10.2 色彩 216 SCL8.%z D 10.3 主波长和纯度 220 ZW@%>_JR] 10.4 色相和纯度 221 YwaWhBCIF 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Q:^.Qs"IK 10.6 色差 226 4S1\5C9 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ]L/AW 10.8 颜色渲染指数 234 <x[CL,Zg7 10.9 色差计算 235 s9[547?` 10.10 参考文献 236 (RU\a]Ry 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 QzilivJf 11.1 短脉冲 238 {?RVw`g&f 11.2 群速度 239 60z8U#upM 11.3 群速度色散 241 .C\## 11.4 啁啾(chirped) 245 0WI@BSHnM 11.5 光学薄膜—相变 245 yllEg9L0z 11.6 群延迟和延迟色散 246 ?:DUsg 11.7 色度色散 246 `'G1"CX 11.8 色散补偿 249 T)o>U&KNP 11.9 空间光线偏移 256 wCgi@\ 11.10 参考文献 258 "I,=L;p 12 公差与误差 260 <?FkwW\? 12.1 蒙特卡罗模型 260 d#1yVdqRl 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 oM(8'{S= 12.2.1 误差工具 267 wV^c@.ga 12.2.2 灵敏度工具 271 @@V{W)rl 12.2.2.1 独立灵敏度 271 tA8O(9OV 12.2.2.2 灵敏度分布 275 X'J!.Jj 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 VRB!u420 12.3 参考文献 276 %R^*MUTx 13 Runsheet 与Simulator 277 '!<gPAVTzV 13.1 原理介绍 277 <Uc?#;%Y} 13.2 截止滤光片设计 277 -dS@l'$ 14 光学常数提取 289 T# .pi@PF> 14.1 介绍 289 UY(\T8 14.2 电介质薄膜 289 |8?DQhd} 14.3 n 和k 的提取工具 295 +Ze;BKZ3 14.4 基底的参数提取 302 a4&Aw7"X 14.5 金属的参数提取 306 G@zJf)u} 14.6 不正确的模型 306 ^*"i
*e 14.7 参考文献 311 [\e/xY(4 15 反演工程 313 m "96%sB 15.1 随机性和系统性 313 \V#fl 15.2 常见的系统性问题 314 nJ}@9v F/ 15.3 单层膜 314 &dG^ M2g-F 15.4 多层膜 314 1:!H`*DU& 15.5 含义 319 {H* 15.6 反演工程实例 319 NfWL3"&X 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )=VAEQhL- 15.6.2 反演工程提取折射率 327 jyB
Ys& v 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 d ehK#8 16.1 光学性质的热致偏移 329 *-*SCA`E^= 16.2 应力工具 335 ?a-5^{{ 16.3 均匀性误差 339 8S7#tb@3 16.3.1 圆锥工具 339 >Ptu-* 16.3.2 波前问题 341 A*g-pJh 16.4 参考文献 343 "W~vSbn7 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 0xY</S 17.1 引言 345 e/&^~ $h 17.2 操作数 345 R?IRE91 : 18 如何在Function中编写脚本 351 s(KSN/ 18.1 简介 351 BO WOH 18.2 什么是脚本? 351 Nz}PcWF/ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 lQd7p+21 18.4 基础 352 }[R-)M 18.4.1 Classes(类别) 352 |Sm/s;&c6 18.4.2 对象 352 3YJ"[$w='( 18.4.3 信息(Messages) 352 }'*6 A 18.4.4 属性 352 }*C*!?pcd 18.4.5 方法 353 ":f]egq
- 18.4.6 变量声明 353
tcO{CI 18.5 创建对象 354 YN+vk}8 < 18.5.1 创建对象函数 355 T];dFv-GT 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 U
E$Ix 18.5.3 丢弃对象 356 <#RVA{ 18.5.4 总结 356 !JyY&D~` 18.6 脚本中的表格 357 #f<v% 18.6.1 方法1 357 %pxO<O 18.6.2 方法2 357 +V Nk#Z i 18.7 2D Plots in Scripts 358 ""Da2Md 18.8 3D Plots in Scripts 359 {}$Zff 18.9 注释 360 wYg!H>5 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <N1wET- 18.11 一个更高级的脚本 362 yIrJaS- 18.12 <esc>键 364 TN1pg 18.13 包含文件 365 DU0/if9. 18.14 脚本被优化调用 366 wapSpSt 18.15 脚本中的对话框 368 Z &Ciy n 18.15.1 介绍 368 pF4Z4?W 18.15.2 消息框-MsgBox 368 0/b
_T 18.15.3 输入框函数 370 w4vV#C4X 18.15.4 自定义对话框 371 ](A2,F
9(U 18.15.5 对话框编辑器 371 bh<;px- 18.15.6 控制对话框 377 !t^DN\\# 18.15.7 更高级的对话框 380 FO5a<6 18.16 Types语句 384 3f] ;y<Km 18.17 打开文件 385 p,goYF?? 18.18 Bags 387 8 {V9)U 18.13 进一步研究 388 V`1,s~"q 19 vStack 389 TK
fN`6 19.1 vStack基本原理 389 1|(Q| 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 L%T(H< |