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N2\{h(*u 内容简介 k/.a
yLq Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 d
D;r35h= 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .;jp2^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 F92et<y. ?/FCq6o 讯技科技股份有限公司 TY*uK
,Ep41v;T%` 目录 :2E?|}`7\ Preface 1 Z Ne(sg~G 内容简介 2 aT20FEZ; 目录 i 7f#r&~= 1 引言 1 |QxT"`rT
2 光学薄膜基础 2 9P\R?~3 2.1 一般规则 2 v 8NoD_ 2.2 正交入射规则 3 48"=,IrM 2.3 斜入射规则 6 -/gAb<= 2.4 精确计算 7 @V71%D8{ 2.5 相干性 8 >Z!H9]f( 2.6 参考文献 10 l_0/g^( 3 Essential Macleod的快速预览 10 uH=^ILN. 4 Essential Macleod的特点 32 8bW,.to(?x 4.1 容量和局限性 33 y5$AAas 4.2 程序在哪里? 33 sq1v._^s 4.3 数据文件 35 t7qzAr 4.4 设计规则 35 w5R?9"d@ 4.5 材料数据库和资料库 37 ~pve;(e= 4.5.1材料损失 38 ;.#l[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 X}RQ&k 4.5.2 材料库 41 i[rXs/] 4.5.3导出材料数据 43 ODE^;:z ! 4.6 常用单位 43 oC >l|?h, 4.7 插值和外推法 46 vu=`s|R 4.8 材料数据的平滑 50 3iv;4e ; 4.9 更多光学常数模型 54 bbAJ5EqL 4.10 文档的一般编辑规则 55 >gGdzL 4.11 撤销和重做 56 }S}9Pm,: 4.12 设计文档 57 e'L$g-;>4b 4.10.1 公式 58 k(%h{0' 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 o}VW%G" 4.10.3 沉积密度 59 3,$G?auW 4.10.4 平行和楔形介质 60 4Up\_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 XR.Sm<A[ 4.10.4 性能 61 z2DjYTm[~ 4.10.5 保存设计和性能 64 +?R! 4.10.6 默认设计 64 NkL>ru!b9 4.11 图表 64 o%V%@q H 4.11.1 合并曲线图 67 ZZ@1l 4.11.2 自适应绘制 68 ]] Jg%}o 4.11.3 动态绘图 68 8>l#F<@5 4.11.4 3D绘图 69 EhK5<v} 4.12 导入和导出 73 <[w>Mbqj_ 4.12.1 剪贴板 73 usz H1@g' 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 iqh"sx{5bp 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 VT~jgsY 4.13 背景 77 !3T,{:gyrI 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 1@p'><\ 4.15 生成Rugate 84 Ub9p&=]h 4.16 参考文献 91 0
$_0T 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 zv[pfD7a 5.1 Jobs 92 I@9[ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 3,4m|Z2) 5.3 输入材料 94 ( V^C7ix: 5.4 设计数据文件夹 95 &R~)/y0] 5.5 默认设计 95 1Z| {3W 6 细化和合成 97 R<AT}!mkR 6.1 优化介绍 97 -&3mOn& (1 6.2 细化 (Refinement) 98 C#Y_La 6.3 合成 (Synthesis) 100 [ yf&]0 6.4 目标和评价函数 101 <oP"kh<D4 6.4.1 目标输入 102 .X)TRD#MW 6.4.2 目标 103 - BE.a< 6.4.3 特殊的评价函数 104 \]gUX- 6.5 层锁定和连接 104 ji:E 6.6 细化技术 104 9Vh> ty1|_ 6.6.1 单纯形 105 pXBlTZf 6.6.1.1 单纯形参数 106 DS]C`aM9 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 :L'U>)k 6.6.2.1 Optimac参数 108 F4`5z)<* 6.6.3 模拟退火算法 109 Sx|)GTJJ|- 6.6.3.1 模拟退火参数 109 x;L.j7lzA; 6.6.4 共轭梯度 111 -D-]tL6w 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4~YPLu 6.6.5 拟牛顿法 112 +kN/-UsB 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 9u2Mra 6.6.6 针合成 113 k6mC_ 6.6.6.1 针合成参数 114 |r%lJmBB 6.6.7 差分进化 114 >L {s[pLJ 6.6.8非局部细化 115 Q@"mL
6.6.8.1非局部细化参数 115 *4oj '} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 t3b64J[A{ 6.7.1 细化 116 XBF]|}% 6.7.2 合成 117 nL]-]n; 6.8 参考文献 117 ZlxJY%oeu 7 导纳图及其他工具 118 s)<^YASg 7.1 简介 118 @%}4R`S0 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 cm!|A)~ 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;DXcEzV 7.2.2 导纳图 120 %e,X7W`'2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +o7Np|Ou 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 c5f8pa
* 7.5 斜入射导纳图 141 .o?"=Epo 7.6 对称周期 141 ck"lX[d1 7.7 参考文献 142 6;8Jy 8 典型的镀膜实例 143 AtU!8Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 R]y[n;aGC 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 RHOEyXhOA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 !J@!P?0. C 8.4 W-膜层 148 }q~M$ 8.5 V-膜层 149 Mc#w:UH[ 8.6 V-膜层高折射基底 150 ("
,(@nS 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 !0+!%Nr>J 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 zLB7'7oP 8.9 四层抗反射薄膜 153 vUa&9Y 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 /v^1/i 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 2G9sKg,kL 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 F7r!zKXZ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 2kS]:4)T 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 O=Cz*j 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M],}.l 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Gj%cU@2 8.17 1/4波长堆栈 162 ![OKmy 8.18 陷波滤波器 163 ^3B&E^R 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 <E`Ygac 8.20 褶皱 165 $<[Q8V- 8.21 消偏振分光器1 169 `l0&,] 8.22 消偏振分光器2 171 >hcze<^S 8.23 消偏振立体分光器 172 NWt `X! 8.24 消偏振截止滤光片 173 nn0`A3 8.25 立体偏振分束器1 174 et$VR: 8.26 立方偏振分束器2 177 +U:U/c5Z^ 8.27 相位延迟器 178 3~mi 8.28 红外截止器 179 {d%% nK~ 8.29 21层长波带通滤波器 180 XYM 5' 8.30 49层长波带通滤波器 181 tf5h/: 8.31 55层短波带通滤波器 182 !M&Qca2 8.32 47 红外截止器 183 _+vE(:T 8.33 宽带通滤波器 184 jM'kY|<g; 8.34 诱导透射滤波器 186 `<z"BGQ 8.35 诱导透射滤波器2 188 R2 I
7d'|v 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 :E>"z6H 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
z!<X{&
e 8.35 增益平坦滤波器 193 S?M'JoYy 8.38 啁啾反射镜 1 196 g{_wMf 8.39 啁啾反射镜2 198 7t@r}rC,K 8.40 啁啾反射镜3 199 gC+PpY#2h 8.41 带保护层的铝膜层 200 vl"l 8.42 增加铝反射率膜 201 0^L>J"o 8.43 参考文献 202 zB?} {@ 9 多层膜 204 YA:7^-Bv 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ~'[0-_]=f 9.2 内部透过率 204 xxsax/h 9.3 内部透射率数据 205 ds*N1[
* 9.4 实例 206 #'@pL0dj 9.5 实例2 210 tLz,t&h 9.6 圆锥和带宽计算 212 R@+%~"Z 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 O_M2Axm 10 光学薄膜的颜色 216 yFYFFv\? 10.1 导言 216 -Dx_:k|k 10.2 色彩 216 m=hlim;P, 10.3 主波长和纯度 220 @&AUbxoj 10.4 色相和纯度 221 i1OF@~? 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ?51Y&gOEZ 10.6 色差 226 /.{q2] 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 O)$rC 10.8 颜色渲染指数 234 TspuZR@2 10.9 色差计算 235 iE~][_%U 10.10 参考文献 236 /3VSO"kcZ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 2+2Gl7" s 11.1 短脉冲 238 JjXuy7XQ 11.2 群速度 239 C3XB'CL6 11.3 群速度色散 241 rW8.bMmM 11.4 啁啾(chirped) 245 sUCI+)cM3 11.5 光学薄膜—相变 245 $y0[AB|V 11.6 群延迟和延迟色散 246 *WHQ1geI8 11.7 色度色散 246 Mj
guH5Uy 11.8 色散补偿 249 !>,\KxnM 11.9 空间光线偏移 256 g?e$B}% 11.10 参考文献 258 xksd&X: 12 公差与误差 260 Xiy9Oeq2uh 12.1 蒙特卡罗模型 260 O7M8!3Eqm 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :?2@qWaL 12.2.1 误差工具 267 zA
; 7Nv$3 12.2.2 灵敏度工具 271 eWgqds 12.2.2.1 独立灵敏度 271 pdz_qj!Z 12.2.2.2 灵敏度分布 275 klwC.=?(j" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 = 02$Dwr 12.3 参考文献 276 :"vW;$1
} 13 Runsheet 与Simulator 277 4dEfXrMf 13.1 原理介绍 277 }f~:>N# 13.2 截止滤光片设计 277 nE2w? 14 光学常数提取 289 pQ_EJX) 14.1 介绍 289 7z_EX8^ 14.2 电介质薄膜 289 Skbd'j 14.3 n 和k 的提取工具 295 va`/Dp)M 14.4 基底的参数提取 302 OH(w3:;[8 14.5 金属的参数提取 306 un)YK 14.6 不正确的模型 306 7CK3t/3D 14.7 参考文献 311 nmH1Wg*aW 15 反演工程 313 .+@;gVZx1 15.1 随机性和系统性 313 z(8:7 G 15.2 常见的系统性问题 314 k
Y}r^NaQA 15.3 单层膜 314 Ug VLHwkvk 15.4 多层膜 314 ,w9:)B7 15.5 含义 319 nQtp 4 15.6 反演工程实例 319 tFi'RRZ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 }MCh$ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 8p;|&7 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 KF%tF4^+| 16.1 光学性质的热致偏移 329 R7nT,7k. 16.2 应力工具 335 O<RLw)nzg 16.3 均匀性误差 339 u!B6';XY 16.3.1 圆锥工具 339 ? ZqvR^ 16.3.2 波前问题 341 )F$<-0pT 16.4 参考文献 343 I:L}7uA[t 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 |=o)|z2 17.1 引言 345 9 W7 ljUg 17.2 操作数 345 Jp d|<\Ml 18 如何在Function中编写脚本 351 $ #*";b)QY 18.1 简介 351 tbH`VD"u 18.2 什么是脚本? 351 yMd<<:Ap 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 or8`.hEHI 18.4 基础 352 ]UMt 18.4.1 Classes(类别) 352 6XFLWN-) 18.4.2 对象 352 9sgyg3fv>5 18.4.3 信息(Messages) 352 M3 TsalF 18.4.4 属性 352 +=V[7^K; 18.4.5 方法 353 mRNA ,* 18.4.6 变量声明 353 x}tg/`.=z 18.5 创建对象 354 Z]QpH<Z 18.5.1 创建对象函数 355 FJ/c(K 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 4X1!t 18.5.3 丢弃对象 356 y37c&XYq 18.5.4 总结 356 j@Ta\a-,x 18.6 脚本中的表格 357 <73dXTZ0 18.6.1 方法1 357 P4VMGP 18.6.2 方法2 357 B&M-em= 18.7 2D Plots in Scripts 358 r=J+ 18.8 3D Plots in Scripts 359 5Y3L 18.9 注释 360 YAc~,N 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ,(@J Ntx 18.11 一个更高级的脚本 362 +wHrS}I#g 18.12 <esc>键 364 %$*WdK# 18.13 包含文件 365 e!B>M{ 18.14 脚本被优化调用 366 8E+]yB" 18.15 脚本中的对话框 368 nj(\+l5 18.15.1 介绍 368 ,u<oAI` 18.15.2 消息框-MsgBox 368 2LTMt? 18.15.3 输入框函数 370 .,9e~6} 18.15.4 自定义对话框 371 0DsW1 18.15.5 对话框编辑器 371 JG:li} N 18.15.6 控制对话框 377 M}S1Zz%Ii1 18.15.7 更高级的对话框 380 ,O'#7Dj 18.16 Types语句 384 gic!yhsS_ 18.17 打开文件 385 XH`W( 18.18 Bags 387 h3`\L4b 18.13 进一步研究 388 ,pHQv(K/ 19 vStack 389 z*w.A=r 19.1 vStack基本原理 389 |b+ZKRW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 DTMoZm 19.3 五棱镜 393 fN!lXPgM 19.4 光束距离 396 y[64O x 19.5 误差 399 (oxMBd+n1 19.6 二向分色棱镜 399 I"hlLP 19.7 偏振泄漏 404 n90DS/Yx 19.8 波前误差—相位 405 n([9U0!gu 19.9 其它计算参数 405 IyPk3N 20 报表生成器 406 @4]} J-3 20.1 入门 406 }I3m8A 20.2 指令(Instructions) 406 JP1XH k 20.3 页面布局指令 406 %ZR<z$ 20.4 常见的参数图和三维图 407 2e<u/M21> 20.5 表格中的常见参数 408 {S$61ut 20.6 迭代指令 408 A?+0Ce&qL 20.7 报表模版 408 \5pBK 20.8 开始设计一个报表模版 409 1va~.;/rG 21 一个新的project 413 k5@PZFV 21.1 创建一个新Job 414 /Pyj|!C3`q 21.2 默认设计 415 ~#];&WE 21.3 薄膜设计 416 crbph.0 21.4 误差的灵敏度计算 420 /7fD;H^* 21.5 显色指数计算 422 (Zz8 ldO 21.6 电场分布 424 kc7,F2=F 后记 426 L']"I^(N 有兴趣可以扫码加微联系 {bP
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