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[7@g*!+d 内容简介 q}P@}TE Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 |qw0:c=7! 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 L0g+RohW 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 GY]P(NU (GmBv 讯技科技股份有限公司 OMLU ;,4
8TP$ ?8l 目录 t*(bF[? Preface 1 jaoZ}}V_$ 内容简介 2 P-\f-FS 目录 i eg;7BZim{ 1 引言 1 EwPrh 2 光学薄膜基础 2 Q>{$Aqc,e 2.1 一般规则 2 aoN\n]g 2.2 正交入射规则 3 [9">}l 2.3 斜入射规则 6 ]@$^Ju, 2.4 精确计算 7 arL>{mj 2.5 相干性 8 =?OU^u`C 2.6 参考文献 10 8Rj5~+5 3 Essential Macleod的快速预览 10 *igmi9A 4 Essential Macleod的特点 32 $@z77td3 4.1 容量和局限性 33 ?6:qAFw 4.2 程序在哪里? 33 P~\rP6
; 4.3 数据文件 35 ZexC3LD" 4.4 设计规则 35 ZE=sw}= 4.5 材料数据库和资料库 37 *O_fw 0jV 4.5.1材料损失 38 z0}j7ns] 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ='m$O 4.5.2 材料库 41 SxRJ{m~ 4.5.3导出材料数据 43 &BPYlfB1 4.6 常用单位 43 x4q}xwH 4.7 插值和外推法 46 P =X]'m_B 4.8 材料数据的平滑 50 tRoSq;VrS 4.9 更多光学常数模型 54 d {!P
c< 4.10 文档的一般编辑规则 55 O=o}uB-*6 4.11 撤销和重做 56 W> pe- 4.12 设计文档 57 J>_mDcPo 4.10.1 公式 58 pQa51 nc 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 MLdwf}[ 4.10.3 沉积密度 59 1bV
G%N 4.10.4 平行和楔形介质 60 Dd?G4xUG 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 'NtI bS 4.10.4 性能 61 Vh\_Ko\V5 4.10.5 保存设计和性能 64 wo`.sB&T 4.10.6 默认设计 64 |=}+%>y_ 4.11 图表 64 ]K(a32V CH 4.11.1 合并曲线图 67 :xsZz$ 4.11.2 自适应绘制 68 lO-DXbgql$ 4.11.3 动态绘图 68 N'2?Z b 4.11.4 3D绘图 69 M}|(:o3Yo 4.12 导入和导出 73 *Dp&;, b 4.12.1 剪贴板 73 E'WXi!>7p 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 [5P-K{Ko 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 {I{ 0rV 4.13 背景 77 >fC&bab 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 iV{_?f1jo 4.15 生成Rugate 84 "uBnK! 4.16 参考文献 91 \g34YY^L3 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 I 1]YT 5.1 Jobs 92 0!\gK<,z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 $wM..ee 5.3 输入材料 94 H9T~7e+ 5.4 设计数据文件夹 95 g}+|0FTV 5.5 默认设计 95 q'jOI_b 6 细化和合成 97 L0![SE> 6.1 优化介绍 97 q-z1ElrN7u 6.2 细化 (Refinement) 98 V>Jr4z 6.3 合成 (Synthesis) 100 IUOf/mM5 6.4 目标和评价函数 101 2* g2UP 6.4.1 目标输入 102 S|=)^$: 6.4.2 目标 103 b~^'P 6.4.3 特殊的评价函数 104 .BPd06y 6.5 层锁定和连接 104 K28L(4 ) 6.6 细化技术 104 V[.{cY?6 6.6.1 单纯形 105 w[z=x 6.6.1.1 单纯形参数 106 ?xaUWD 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
9tpyrGv 6.6.2.1 Optimac参数 108 :j]6vp6 6.6.3 模拟退火算法 109 <Y)14w% 6.6.3.1 模拟退火参数 109 5X0ex. 6.6.4 共轭梯度 111 ,3?=W/Um4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 sPK ]:iC 6.6.5 拟牛顿法 112 Pim 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 _f!ko<52 6.6.6 针合成 113 a#1r'z~]} 6.6.6.1 针合成参数 114 'fn}I0Vc 6.6.7 差分进化 114 G!FdTvx$ 6.6.8非局部细化 115 H
r:*p6 6.6.8.1非局部细化参数 115 URVW5c 6.7 我应该使用哪种技术? 116 X0j\nXk 6.7.1 细化 116 ( %7V 6.7.2 合成 117 xI<l1@ 6.8 参考文献 117 v J0v6\ 7 导纳图及其他工具 118 o*$KiD 7.1 简介 118 r8(oTx 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 6@|!m ' 7.2.1 四分之一波长规则 119 i7dDklj4 7.2.2 导纳图 120 ](oeMl18R 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 M.H!dZ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 GIlaJ!/ 7.5 斜入射导纳图 141 OG#^d5( 7.6 对称周期 141 Z*Ffdh>*:& 7.7 参考文献 142 1'~+.92Y 8 典型的镀膜实例 143 E:rJi] 8.1 单层抗反射薄膜 145 ;*5z&1O 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 u4lM>(3Y} 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 kgBkwp 8.4 W-膜层 148 pRfKlTU\ 8.5 V-膜层 149 6ud?US( 8.6 V-膜层高折射基底 150 ywm"{ U?8 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 5JOfJ$(n 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 ULew ~j 8.9 四层抗反射薄膜 153 .;?ha' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 lsV>sW4]Z 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ydD:6bBX 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 YEV;GFI1 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 kYS#P(1 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 7_Vd%<: 8.15十五层宽带抗反射膜 159 8+!G/p 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 d)48m}[: 8.17 1/4波长堆栈 162 >%"TrAt 8.18 陷波滤波器 163 0uKm)t/ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 T72Li"00 8.20 褶皱 165 y2%[/L:u~ 8.21 消偏振分光器1 169 >$}Mr%49 8.22 消偏振分光器2 171 <!dZ=9^^1 8.23 消偏振立体分光器 172 5@.8O VPz 8.24 消偏振截止滤光片 173 oItC;T 8.25 立体偏振分束器1 174 `mkOjsj & 8.26 立方偏振分束器2 177 :TrP3wV_ 8.27 相位延迟器 178 4-O.i\1q 8.28 红外截止器 179 K{y`Sb~k 8.29 21层长波带通滤波器 180 :SFf} 8.30 49层长波带通滤波器 181 U;&s=M0[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 (O ;R~Io 8.32 47 红外截止器 183 }0R"ZPU1Rw 8.33 宽带通滤波器 184 ,9|7{j|u 8.34 诱导透射滤波器 186 j; /@A
lZl 8.35 诱导透射滤波器2 188 QdZHIgh`i 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 2aivc,m{r 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !OV+2suu1 8.35 增益平坦滤波器 193 7OZ0;fK 8.38 啁啾反射镜 1 196 L%7WHtU*# 8.39 啁啾反射镜2 198 [Qk j} 8.40 啁啾反射镜3 199 l7ES*==&@0 8.41 带保护层的铝膜层 200 E#w2'(t 8.42 增加铝反射率膜 201 0Q%I[f8 8.43 参考文献 202 k="wEZ;Q 9 多层膜 204 }8.$)&O$^ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ">|L< 9.2 内部透过率 204 ),;h 9.3 内部透射率数据 205 q+YK NXI 9.4 实例 206 {KqW<X6Hp 9.5 实例2 210 wj$3L3 9.6 圆锥和带宽计算 212 K(mzt[n( 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 f$nZogaQ 10 光学薄膜的颜色 216 i/N6 8 10.1 导言 216 aLevml2:T 10.2 色彩 216 ,J*#Ixe} 10.3 主波长和纯度 220 1
xr mmK 10.4 色相和纯度 221 pv|D{39Hs 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ZCuh^ 10.6 色差 226 iaJN~m\
M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 P`hg*"<V 10.8 颜色渲染指数 234 !Je!;mEvI 10.9 色差计算 235 kD+B8TrW 10.10 参考文献 236 NLWj5K)1P 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 h7\EN 11.1 短脉冲 238 imS&N.*3m 11.2 群速度 239 ]=^NTm, 11.3 群速度色散 241 )N
^g0L 11.4 啁啾(chirped) 245 AQBr{^inH| 11.5 光学薄膜—相变 245 p t{/|P 11.6 群延迟和延迟色散 246 9NC6q-2 11.7 色度色散 246 YF");itH 11.8 色散补偿 249 ~i@Z4tj7 11.9 空间光线偏移 256 j"+R*H(# 11.10 参考文献 258 2L2)``* 12 公差与误差 260 f#vVk
12.1 蒙特卡罗模型 260 1K$8F ~%Z 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 p)Q=' 12.2.1 误差工具 267 ]\R%@FCYc 12.2.2 灵敏度工具 271 d 7QWK(d 12.2.2.1 独立灵敏度 271 V,9UOC,Gn 12.2.2.2 灵敏度分布 275 @h\u}Ee 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 mK7egAo 12.3 参考文献 276 l< |)LDq~ 13 Runsheet 与Simulator 277 g60rm1b 13.1 原理介绍 277 Qgv-QcI{ 13.2 截止滤光片设计 277 v?1xYG@1 14 光学常数提取 289 9s6d+HhM 14.1 介绍 289 |
\JB/x 14.2 电介质薄膜 289 tTrue? 14.3 n 和k 的提取工具 295 {wfe!f 14.4 基底的参数提取 302 r`'n3#O* 14.5 金属的参数提取 306 i%_nH"h 14.6 不正确的模型 306 4THGHS^ 14.7 参考文献 311 mm<rdo(` 15 反演工程 313 \.dvRI' 15.1 随机性和系统性 313 \xaK?_hv 15.2 常见的系统性问题 314 gTP0: 15.3 单层膜 314 C}GOwvAL> 15.4 多层膜 314 *FUbKr0 15.5 含义 319 U,u\o@3A 15.6 反演工程实例 319 ZA4vQDW 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 bc|DC,n? 15.6.2 反演工程提取折射率 327 <[GkhPfZ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 nz]+G2h 16.1 光学性质的热致偏移 329 3+jqf@ fO 16.2 应力工具 335 S(*SUH 16.3 均匀性误差 339 J4ltHk.| 16.3.1 圆锥工具 339 /e}NZo{)g 16.3.2 波前问题 341 o;@T6-VH 16.4 参考文献 343 @(A[H^E 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 `=3:*.T* 17.1 引言 345 pTJJ.#$CEF 17.2 操作数 345 }%9A+w}o 18 如何在Function中编写脚本 351 !_gHIJiq} 18.1 简介 351 H6XlSj 18.2 什么是脚本? 351 'e>0*hF[ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 Bq]eNq 18.4 基础 352 4HK#]M>yz 18.4.1 Classes(类别) 352 7.l[tKh 18.4.2 对象 352 8FThu[ 18.4.3 信息(Messages) 352 h~
=UFE%' 18.4.4 属性 352 V}kZowWD 18.4.5 方法 353 .qCD(XZ+ 18.4.6 变量声明 353 %9A6c(L 18.5 创建对象 354 !7lS=D(? 18.5.1 创建对象函数 355 zj^Ys`nl 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 V1j5jjck 18.5.3 丢弃对象 356 5[Yzi> o[ 18.5.4 总结 356 Q=%1@ ,x" 18.6 脚本中的表格 357 O?9&6x 18.6.1 方法1 357 :)\< 18.6.2 方法2 357 k/yoRv% 18.7 2D Plots in Scripts 358 >8nRP%r[5, 18.8 3D Plots in Scripts 359 bi bjFg 18.9 注释 360 jR#g>MDKB 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 (P[:g 18.11 一个更高级的脚本 362 !$x9 s'D 18.12 <esc>键 364 bCF"4KXK 18.13 包含文件 365 [s4lSGh 18.14 脚本被优化调用 366 .ns1;8 18.15 脚本中的对话框 368 TC4W7}} 18.15.1 介绍 368 SAt{At 18.15.2 消息框-MsgBox 368 54w..8' 18.15.3 输入框函数 370 N4Z%8:"pj 18.15.4 自定义对话框 371 UHYnl] 18.15.5 对话框编辑器 371 Wej 8YF@ 18.15.6 控制对话框 377 ;k<g#She 18.15.7 更高级的对话框 380 sV+/JDl 18.16 Types语句 384 geL)v7t+# 18.17 打开文件 385 <8>gb!D G 18.18 Bags 387 R;gN^Yjk: 18.13 进一步研究 388 < 6[XE 19 vStack 389 3EN?{T<yf 19.1 vStack基本原理 389 ~1Q$FgLk 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 lz1l1.f8 19.3 五棱镜 393 3eqnc),Z 19.4 光束距离 396 :;S]jNy}j) 19.5 误差 399 YT6<1-E# 19.6 二向分色棱镜 399 W|o LS 19.7 偏振泄漏 404 Y=l91dxGI 19.8 波前误差—相位 405 [ 44d(P' 19.9 其它计算参数 405 ika/ GG 20 报表生成器 406 pDO&I]S`q0 20.1 入门 406 E4aCL#}D 20.2 指令(Instructions) 406 %:2<'s2Si 20.3 页面布局指令 406 *wcb 5p 20.4 常见的参数图和三维图 407 vd>X4e^j 20.5 表格中的常见参数 408 JB~79Lsdz 20.6 迭代指令 408 X|)Ox
,( 20.7 报表模版 408 _4VF>#b 20.8 开始设计一个报表模版 409 y|1,h}H^n 21 一个新的project 413 5 iUT# 21.1 创建一个新Job 414 ,c#=qb8"" 21.2 默认设计 415 .olDmFQD 21.3 薄膜设计 416 4hep1Kz% 21.4 误差的灵敏度计算 420 Np=IZnpt 21.5 显色指数计算 422 8r7~ >p~ 21.6 电场分布 424 ^~k2(DLk 后记 426 P)Vm4u
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