[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 0Q= o"@  
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在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 3V2w1CERE  
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图片:1-220G3232QN13.jpg

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建模任务 DfL>fk  
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图片:1-220G3232T1D5.png

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structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) h1uD>heGl  
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系统建模块 A1u|L^  
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图片:1-220G323292Xb.png

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特定位置的Talbot图案 {x8UL7{  
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图片:1-220G3233002M1.png

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特定位置的Talbot图案 S3(2.c~  
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图片:1-220G32331001C.png

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不同位置的Talbot图案 <fLk\ =  
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图片:1-220G3233132321.png

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不同位置的Talbot图案 ]CIZF,  
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图片:1-220G3233159A5.png

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沿 Z 轴的强度 ?8LRd5LH  
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图片:1-220G3233223910.png

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VirtualLab Fusion技术 fW
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