[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 ;qM I3wF  
Yt^<^l77D  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ]7H ?  
$@ /K/
"  
'k|?M  
z\iz6-\&y  
建模任务 Z0yy<9q]2  
'EsN{.l?  
%<^B\|d'?  
<sXmk{  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) H
)XHlO^  
f-at@C1L%L  
系统建模块 zj G>=2  
t\[aU\4-7  
j8lWra\y  
1Ql\aO)  
特定位置的Talbot图案 }%j@%Ep[  
1PwqWg-\\  
lZpa)1.tiC  
?NazfK  
特定位置的Talbot图案 5)=XzO0  
Vf Jpiv1  
P\"|b\O1  
不同位置的Talbot图案 3Q-i%7l  
 '%!'1si  
lYZ5FacqC  
,^dyS]!d$  
不同位置的Talbot图案 a-I3#3VJ@  
_ZgIm3p0A  
V?{[IMRC  
!E\xn^  
沿 Z 轴的强度 KH4 5A'o  
rh;@|/<l  
NL})_.Og  
6
#NptXB  
VirtualLab Fusion技术 wKe$(>d"L  
*G{%]\s?