摘要
3Hkb )Wu 4_h?E:sBb 在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个
图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。
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}l 建模任务
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#\gx.2W7 gt Rs|| structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
;7N~d TBQ 0R}F( tjw 系统建模块
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^_JByB D ++Fk8R/$U[ 特定位置的Talbot图案
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Iz[wrtDI 1 %q_b\K 特定位置的Talbot图案
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]? (_}""1 不同位置的Talbot图案
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D:Fi/JY~ 8d8GYTl b) 不同位置的Talbot图案
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6G]hs gro Vv3:x1S 沿 Z 轴的强度
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,w VirtualLab Fusion技术
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