摘要
DMn4ll| 1/;o 在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个
图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在
VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。
<+v{GF#R ^zr^ N?a XRtD< jlA" 8 lT{1ro 建模任务
o6a0'vU>< "& 25D )8,|-o= Da.G4,vLh structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)
Q.Aa{d9e Q@S-f:! 系统建模块
Z7a945Jd *if`/N-q(m nP3 E 2g-` ]Vqb 特定位置的Talbot图案
ru9zTZZD [f/I2 ezm&]F` 7DD&~ZcD 特定位置的Talbot图案
;9a 6pz< zjl!9M! `3 cCH 不同位置的Talbot图案
pUYM}&dX eiVC"0-c} 12UD19! |nUl\WRd\ 不同位置的Talbot图案
vB\]u. P-`(0M7^ HD>q(cK_|8 0#_'o , 沿 Z 轴的强度
fmX!6Kv `G9 l dT|vYK}\ |{>ER,<- VirtualLab Fusion技术
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