[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 9TW  
(3Z~EIZz  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 G6x
2!Ny  
"Q<*H<e  
Yg14aKZl  
) XHcrm&  
建模任务 T2MX_rt#D  
t9 m],aH  
QYTwGThWR  
%uLyL4*L(p  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ._z[T@!9  
:7Q, `W9  
系统建模块 4Vi&Y')f  
7 }sj&  
*npe]cC  
7%4@*  
特定位置的Talbot图案 /I&b5Vp  
r#[YBaCZJ  
@3b|jJyf  
+,
$"%C  
特定位置的Talbot图案 ,W/D0  
BV HO_  
Af"vSL  
不同位置的Talbot图案 kpN'H_ .  
;i><03  
>h m<$3  
ba  
不同位置的Talbot图案 VCvqiHn  
"i_}\p.,X  
dO[w3\~  
XOy#?X/`  
沿 Z 轴的强度 -m~[z  
QYL ';  
%7?v='s=  
(8(z42  
VirtualLab Fusion技术 3It'!R8$  
}`9}Q O