[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 LYd}w(}  
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在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 <Vz<{W3t  
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图片:1-220G3232QN13.jpg

1vB-M6(  
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建模任务 jP1$qhp  
K^"w]ii=  

图片:1-220G3232T1D5.png

C@*%A
Y  
S3SV.C:z>  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Y8)}PWMs  
%0vTA_W  
系统建模块 HR;/Br  
sC% b~  

图片:1-220G323292Xb.png

A:kkCG!~Nf  
XR|"dbZW.0  
特定位置的Talbot图案 }ppVR$7]0  
I^WIa"u_  

图片:1-220G3233002M1.png

/@Ez" ?V2  
-g:lOht  
特定位置的Talbot图案 k]Zo-xh4  
8O;Vl  

图片:1-220G32331001C.png

w|=gSC-o  
不同位置的Talbot图案 'g]hmE  
bFSlf5*H  

图片:1-220G3233132321.png

,*7H|de7  
2-~a P  
不同位置的Talbot图案 Ejq=*UOP  
SC'BmR"ox  

图片:1-220G3233159A5.png

JL.5QzA  
QjLji+L  
沿 Z 轴的强度 nB=0T`vQ  
;;@IfZ ?j  

图片:1-220G3233223910.png

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VirtualLab Fusion技术 |=\91fP68`  
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图片:1-220G32332544H.png