[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 yyYbB]D  
[_z2z6  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ?F:C!_  
P<w>1 =  

图片:1-220G3232QN13.jpg

4iB)oR  
NhaeAD $e  
建模任务 |x~ei_x7.p  
wz2)seZY  

图片:1-220G3232T1D5.png

;?[+vf")  
doU
qUak  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !EC\1rmdlN  
REe%>|   
系统建模块 P) 0=@{(  
;{#M  

图片:1-220G323292Xb.png

?>Ci`XlLr  
U8@*I>vA  
特定位置的Talbot图案 SOY#, Zu  
{d5ur@G1  

图片:1-220G3233002M1.png

~<Qxw>S#  
:=fHPT  
特定位置的Talbot图案 .*..pf|/  
TEy.zzt  

图片:1-220G32331001C.png


A&|(%  
不同位置的Talbot图案 GAe_Z(T  
+R jD\6bJb  

图片:1-220G3233132321.png

[75e\=wK  
k{$"-3ed  
不同位置的Talbot图案 j;c^pLUP  
olW`.3f  

图片:1-220G3233159A5.png

bSKV|z/x  
1+[|pXT}  
沿 Z 轴的强度 0hr)tYW,G  
dEl3?~  

图片:1-220G3233223910.png

fpC@3itI  
@G&xq"Fg7  
VirtualLab Fusion技术 YV+dUvz  
~]s"PV:|  

图片:1-220G32332544H.png