摘要 }3 _b%{
wPm
在传统的 Talbot 光刻中,在光敏层中仅使用一个图像。 但是,可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中,按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM,也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像,在主像平面中会再现柱状图案,而在次要像平面中再现孔图案。 n-xdyJD
t$~'$kM)<
^[r1Dk
5y 5Dn!`
建模任务 8!cHRtqK
UgK
c2~
iF Mf[qBg
{l5fKVb\C
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0MroHFh9`
@&EIH,c
系统建模块 xp'Q>%v
<K<#)mcv
{:("oK6w
d@1^U9sf
特定位置的Talbot图案 rm9>gKN;#
'fGKRd|)
jwAYlnQ^EM
ypG*41
特定位置的Talbot图案 !`RMXUV
X[r0$yuE
23i2yT
不同位置的Talbot图案 qbeUc5`1
#=S^i[K/
"O0xh_Nr
}.&;NgZS
不同位置的Talbot图案 {QylNC9
OqDP{X:
7L6L{~8
W
mICEJ\`x
沿 Z 轴的强度 +)WU:aKI
[2Zy~`*y{
%b<W]HwA
=#[oi3k
VirtualLab Fusion技术 hL6;n*S=
Y
0Fq-H