[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 %r&36d'  
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在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 h+S]C#X,}  
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建模任务 S4rm K&  
>U(E \`9D  
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E,fbIyX  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) WXG0Z  
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系统建模块 A-*MH#QUKh  
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B5+$VQ  
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特定位置的Talbot图案 yZ]?-7
 
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h8 M=  
D={$l'y9p  
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特定位置的Talbot图案 u$X =2u:P  
HZjuL.Tj  
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不同位置的Talbot图案 k=G c#SD5_  
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V;Q@'<w  
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不同位置的Talbot图案 [^XD@  
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沿 Z 轴的强度 Vt-V'`Y  
s>[Oe|`  
HGi%b5:<=M  
LR'~:46#u  
VirtualLab Fusion技术 ;bL?uL  
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