[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 w>}n1Nc$G  
Lxv_{~I*  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 ^gNbcWc7CU  
$fT#Wva-\d  
-/*VR$c  
g:U -kK!i  
建模任务 S
J:Teab  
E
x@}x#3  
8DbP$Wwi  
(v:8p!QN  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Qw|y%Td8r  
PL!dkaD^y>  
系统建模块 RyM29uD  
LfK/wSvWw  
{i3=N{5b  
P3Ah1X7W"C  
特定位置的Talbot图案 `krVfE;_O  
!YlEXaS  
?P#\CW  
(Kg)cc[B`  
特定位置的Talbot图案 7 n^1H[q  
n!lE|if  
|  >yc|W  
不同位置的Talbot图案 J~ +p7S  
$?VYHkX  
KZaiy*
>)  
zzh7 "M3Qn  
不同位置的Talbot图案 nr(C*E
 
=)N6R  
9(_n8br1  
ycvgF6Me<  
沿 Z 轴的强度 :!fY;c?  
V>UlL&V  
8= 82x
 
>fkV65w{*  
VirtualLab Fusion技术 f}ch1u>  
s.KfMJ"u[