[技术]锥形相位掩模的Talbot图像 [复制链接]

摘要 z9Rp`z&`E  
YNsJZnGr8#  
在传统的 Talbot 光刻中，在光敏层中仅使用一个图像。 但是，可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。 在本案例中，按照 I.-H. Lee 等人在 VirtualLab Fusion 中使用傅里叶模态方法 (FMM，也称为 RCWA) 对具有一层锥体的相位掩模进行建模。可以检测到不同的 Talbot 图像，在主像平面中会再现柱状图案，而在次要像平面中再现孔图案。 mrtb*7`$  
NyNXP_8  

图片:1-220G3232QN13.jpg

p9{mS7R9T  
C,|,-CY  
建模任务 =fFP5e ['  
d
5:c^`  

图片:1-220G3232T1D5.png

FXkM#}RgNm  
BR;D@R``}  
structure and material parameters from I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) xMG~N`r  
FJ)$f?=Qd  
系统建模块 $*=<Yw
4  
fVpMx4&F   

图片:1-220G323292Xb.png

k~1?VQ+?M  
0oIe>r  
特定位置的Talbot图案 .3Oap*X  
kc&U'&RgY  

图片:1-220G3233002M1.png

S;`A{Mow  
1#+S+g@#  
特定位置的Talbot图案 49HZ2`Y  
5VU2[ \  

图片:1-220G32331001C.png

t\7[f >  
不同位置的Talbot图案 r3UUlR/Do  
E$p+}sP(C  

图片:1-220G3233132321.png

]N F[>uiW  
sLxc(d'A  
不同位置的Talbot图案 Q>i^s@0  
##"HF  

图片:1-220G3233159A5.png

J
DT`C2-Q  
BLD gt~h#  
沿 Z 轴的强度 9p(.A$  
7J<5f)  

图片:1-220G3233223910.png

Z/+#pWBI!  
tK\~A,=  
VirtualLab Fusion技术 0flRh)[J  
$*fMR,~t&  

图片:1-220G32332544H.png