摘要
# &zM.O1Q eS#kDa/ % 0RHKzk6~c O[}{$NXw 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
A*+pGQ ]oT8H?%*Y 仿真任务
yP$@~L[! d*qb^C{'" L& = a( (~>uFH 连接建模技术:倾斜光栅
b a5,?FVI~ (=A61]yB r<'ni bn7"!6 可用的微
结构建模技术:
f3yH4r?;w /my5s\;s|z k+9*7y8w s;brs} 光栅阶数分析仪
\c')9g@ MzEeDN r ^=rs!f@ Sg%h}]~ 参数变化分析仪
;R5@]Hg6q EdL2t`` _V2^0CZ ATQw=w
3W 参数优化
0Q7teXRM LTZ8Eu zH"a>+st= su$IXI#R-& 优化结果-平均效率
6ZO6O=KD 1JQ5bB"
mpr_AL!ZO~ 4nsc`Hu 优化结果-对比度
2xLEB& jz,K>