[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             A\_|un%  
-x8nQ%X  
mGUO6>g  
@yXfBML?]  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             $D v\ e  
r;L>.wl*I  
仿真任务                                                                             -Y Bd, k3  
   gBh;=vOD  
/&F,
V+x  

3p2P= T  
连接建模技术:倾斜光栅 yme^b ;a  
~c)~015`  
                                                                     DypFl M*  
i wxVl)QL  
可用的微结构建模技术: 6hZ@;Q=b  
P&m\1W(  
R8rfM?"W  
                                                                                 cLPkK3O\=  
光栅阶数分析仪 t5)+&I
2  
oI)GKA_Ng7  
'XY`(3q  
,QzL)W7  
参数变化分析仪                                                                             8Og_W8  
   )X9W y!w0  
                                                                             Y]]}*8  
]EwVpvTw  
参数优化                                                                             b=~i)`  
FOq1>>a0  
                   `wF8k{Pb  
n,$IfC"  
优化结果-平均效率 A)%A!  
V=fEPM  
                                                   mUS_(0q  
&>e-(4Xu  
优化结果-对比度 A,r*%&4~  
^rvx!?zO