[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             P9'5=e@jB  
O@$hG8:  

图片:1-24012R10U91I.png

Hv=coS>g:  
vd;wQ  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             TcIUo!:z  
K)v(Z"  
仿真任务                                                                             <AIsNqr  
   XmnqZWB  

图片:1-24012R1102B09.png

0hv[
Ff  
Iq5F^rH`[  
连接建模技术:倾斜光栅 '|cuVxcE55  
af_zZf!0  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     ;'Y?wH[  
1dq.UW\  
可用的微结构建模技术: v_ J.M]  
jab]!eY  

图片:1-24012R1140H29.png

F;ZLoG*U  
                                                                                 4H,DG`[Mo  
光栅阶数分析仪 oO|^ [b#  
.dygp"*  

图片:1-24012R12K44c.png

jmb\eOq+~V  
.SsIU\[)  
参数变化分析仪                                                                             \x+DEy'4;5  
   z~BB|-kp1  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             gPfaiVY  
< d]|5  
参数优化                                                                             _E%[D(  
V.F 's(o  

图片:1-24012R12924306.png

                   dOhV`8l  
A
VJk  
优化结果-平均效率 EvYw$
j  
Vy9n3W"FB1  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   }n.h)Oz  
YOY+z\Q  
优化结果-对比度 }J*&()`  
;L[9[uQ[C  

图片:1-24012R13052X3.png