[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             s[jTP(d)8  
7! Nsm  

图片:1-24012R10U91I.png

 R&&4y 7  
V!
Uc(  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             F5<Hm_\:  
N7"W{"3D  
仿真任务                                                                             .Mbz3;i0  
   vP&(-a  

图片:1-24012R1102B09.png

*@5@,=d  
=bOW~0Z1  
连接建模技术:倾斜光栅 dd;~K&_Q/i  
fC`&g~yK'  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     0kh6@y3  
4s-!7  
可用的微结构建模技术: la!~\wpa  
9*gZ-#  

图片:1-24012R1140H29.png

"jZ-,P=  
                                                                                 o/E >f_k[  
光栅阶数分析仪 M3\AY30L  
XS#Qu=,-  

图片:1-24012R12K44c.png

afVT~Sf{  
';CNGv -  
参数变化分析仪                                                                             K+eM   
   L *wYx|  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             SUiOJ[5,  
us-L]S+lm  
参数优化                                                                             t.<i:#rj>l  
X?O[r3<  

图片:1-24012R12924306.png

                   Wr 4,YQM  
l?e.9o2-  
优化结果-平均效率 7!1S)dup  
{: /}NpA$  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   ?,z}%p  
cuX)8+  
优化结果-对比度 Nn6%9PX_)  
M`_0C38  

图片:1-24012R13052X3.png