[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             ZG(Pz9{K  
<xUX&J=;  
u1`JvfLrL  
|?t}7V#[  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             <OTx79m  
=-]NAj\  
仿真任务                                                                             w%$J<Z^-?  
   !M}ZK(  
R%"'k<`#  
AbIYdFXB  
连接建模技术:倾斜光栅 KM/c^a4V  
:kvQ3E0  
                                                                     NUh+ &M  
WmuYHE
U  
可用的微结构建模技术: y>0Gmr  
VjJ}q*/3e  
EzU3'x  
                                                                                 )!Zm*(  
光栅阶数分析仪 C?g<P0h  
e17]{6y  
|y4j:`@.  
 8;O/x  
参数变化分析仪                                                                             WNSEc%  
   5%w08  
                                                                             0(Hzh?t_  
p. KT=dZT  
参数优化                                                                             MP~+@0cv  
p21li}Iu  
                   zT")!Df>'  
hfpis==  
优化结果-平均效率 W4=A.2[q  
@zT2!C?^L  
                                                   >3&9Wbv>  
P>'29$1'  
优化结果-对比度 JvYs6u  
;Q
idf}: