[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             X@)5F 9  
S:Ne g!`  

图片:1-24012R10U91I.png

B
n/{J  
DO$jX 4  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             7PZ0  
*eytr#0B-  
仿真任务                                                                             <gKT7ONtg  
   \5Jpr'mY5  

图片:1-24012R1102B09.png

B@l/'$G  
/nRi19a%xU  
连接建模技术:倾斜光栅 yla&/K;|*  
oxb#{o9G  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     T'l >$6  
".eD&oX{  
可用的微结构建模技术: ~fE@]~f>  
<ok/2v
 

图片:1-24012R1140H29.png

=LS?:Mhm  
                                                                                 R$=UJ}>  
光栅阶数分析仪 &gZ5dTj>  
&V[m{.  

图片:1-24012R12K44c.png

|jniI(  
%9xz[Ng  
参数变化分析仪                                                                             RJ1Q.o  
   ]z,W1Zs?  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             /PAxPZf_  
eqQAst#~  
参数优化                                                                             &'UYV>  
&CFHH"OsT  

图片:1-24012R12924306.png

                   z)r)w?A  
%^g BDlR^  
优化结果-平均效率 }N1Z7G  
"EQ-`b=I4  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   GH![rK  
";cWK29\f  
优化结果-对比度 C$x
U!9K[+  
*Y6BPFE*4  

图片:1-24012R13052X3.png