[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             {>>X3I  
X%Ok ">  

图片:1-24012R10U91I.png

$n<a`PdH  
BT7{]2?&V  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             C- .;m  
GJ9>i)+h;  
仿真任务                                                                             F!+1w(b:  
   '*J+mZtN  

图片:1-24012R1102B09.png

Ss[[V(-  
;V,
L_"/X  
连接建模技术:倾斜光栅 ,#Z%0NLe  
aOD
h5  

图片:1-24012R1120W57.png

                                                                     ;aQ``B  
l=DF)#>w  
可用的微结构建模技术: cBxGGggB  
I&-r^6Yx  

图片:1-24012R1140H29.png

{'b;lA]0  
                                                                                 !"^Zr]Qt+\  
光栅阶数分析仪 Y'U1=w~E  
(&}[2pb!  

图片:1-24012R12K44c.png

4H{t6t@-:  
PR8nJts W5  
参数变化分析仪                                                                             yE}\4_0I/  
   a?[[F{X9^  

图片:1-24012R12T0E3.png

                                                                             wGy
VmC  
\jfK']P/H  
参数优化                                                                             ~I||"$R  
&'uP?r9c$  

图片:1-24012R12924306.png

                   "6B@V=d  
~P3b5 -  
优化结果-平均效率 ,Lig6Z`  
/VYT](  

图片:1-24012R13009193.png

                                                   g p:0Y  
sq|\!T  
优化结果-对比度 'f( CN3.!  
q5;dQ8Y?  

图片:1-24012R13052X3.png