[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             *y"|/_ *  
Ahd{f!  
Z[+Qf3j}o6  
L%9yFg%u  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             -'W:P'BG  
hQSJt[8My  
仿真任务                                                                             TuM
ZHB7h;  
   XSZjuQ<[3  
!/&~Feb  
n=fR%<v  
连接建模技术:倾斜光栅 I |D]NY^  
/7*qaG  
                                                                     b=Sl`&A  
43J8PMY  
可用的微结构建模技术: qmnCa&C9  
GLl@ 6S>v  
A&'HlI%J  
                                                                                 ;`bJgSCfo  
光栅阶数分析仪 of<>M4/g4y  
N~arxe(K  
r52,f%nlm  
$PbN=@  
参数变化分析仪                                                                             4d'tK^X  
   S4~;bsSx  
                                                                             (Gxv?\  
q14A'XW  
参数优化                                                                             EZiGi[t7  
**YNR:#Y  
                   {&(bKQ  
[dL?N  
优化结果-平均效率 .J\U|r  
?Ve5}N  
                                                   Zr2QeLQC(  
l 0b=;^6  
优化结果-对比度 +XRv iHA`  
{K0T%.G