[技术]倾斜光栅的鲁棒性优化 [复制链接]

摘要                                                                             7%F8  
#!RO,{FT  
p"k[ac{  
^Z`?mNq9  
由于制造过程中潜在的不准确性，对于一个好的光栅设计来说，面对光栅参数的微小变化，提供稳健的结果是至关重要的。VirtualLab Fusion为光学工程师提供了各种工具，可以将这种行为直接纳入优化过程，例如参数变化分析仪。该工具结合了同一系统的多次迭代，在优化过程中实现了评价函数的表示和自动计算，如平均效率。在这个用例中，我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。             Uh=@8v  
l.@&B@5F  
仿真任务                                                                             f zsD  
   ed:[^#Lj  
ae-hQ
F&  
9:1[4o)~  
连接建模技术:倾斜光栅 Y}UVC|Ef  
R}J}Qb  
                                                                     }[c,/NH  
@?YO_</  
可用的微结构建模技术: 8P[aX3T7G  
A[6D40o  
hH])0C  
                                                                                 "GY/2;  
光栅阶数分析仪 Q( g&/O  
B>XfsZS  
g+  P  
-lDAxp6p  
参数变化分析仪                                                                             3qNLosm#M  
   7v{s?h->$  
                                                                             qrxn%#\XP  
0oiz V;B5%  
参数优化                                                                             I {&8iUN  
[t}\8^y  
                   Yp(F}<f?  
%UnL,V9)  
优化结果-平均效率 
SE;Yb'  
unZYFA}(  
                                                   8{ooLdpX7  
K|^'`FpPO  
优化结果-对比度 NPY\ >pf  
io
^L
[