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]jrxrUl 内容简介 U /Fomu Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 qa?y lR"kA 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 N$b;8F 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 N/=3Bs0y- e@By@r&nql 讯技科技股份有限公司 B\yq%m
jgIzB1H 目录 boon=;{p Preface 1 {P+[CO 内容简介 2 jXR+>=_ 目录 i #{1fb%L{i 1 引言 1 1=.?KAXR 2 光学薄膜基础 2 ,:{+
H 2.1 一般规则 2 *RM'0[1F4 2.2 正交入射规则 3 3!W&J 2.3 斜入射规则 6 '+wTrW m~j 2.4 精确计算 7 z w9r0bG 2.5 相干性 8 RMXj)~4. 2.6 参考文献 10 >S]')O$c 3 Essential Macleod的快速预览 10 aQFHB! 4 Essential Macleod的特点 32 S#dS5OX 4.1 容量和局限性 33 B8Z66#EQ 4.2 程序在哪里? 33 _Ohq'ZgXm 4.3 数据文件 35 jyr#e 4.4 设计规则 35 RdHR[Usm 4.5 材料数据库和资料库 37 :P~Owz 4.5.1材料损失 38 z(qz(`eGC& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 E
.5xzY 4.5.2 材料库 41 8E{>czF" 4.5.3导出材料数据 43 QeoDq
4.6 常用单位 43 m6D4J=59 4.7 插值和外推法 46 *Y~64FM 4.8 材料数据的平滑 50 9~yuyv4$ 4.9 更多光学常数模型 54 KMcP !N.I 4.10 文档的一般编辑规则 55 8b!_b2Za 4.11 撤销和重做 56 W{d/m;<@N 4.12 设计文档 57 >wwEa4
4.10.1 公式 58 Q{60^vg 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 1,,-R*x 4.10.3 沉积密度 59 QZo l(2~Y 4.10.4 平行和楔形介质 60 [G*mQ@G9 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 1wt]J!hgV 4.10.4 性能 61 /Z_QCj 4.10.5 保存设计和性能 64 u.6%n.g 4.10.6 默认设计 64 DP_ \%(A 4.11 图表 64 [qB=OxH? 4.11.1 合并曲线图 67 ^(R
gSMuT` 4.11.2 自适应绘制 68 Pl4d(2
7 4.11.3 动态绘图 68 /Y:Zqk3 4.11.4 3D绘图 69 p20Nk$. 4.12 导入和导出 73 O/Vue 4.12.1 剪贴板 73 ~4 ab\hq 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 .anL}OA_q 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,")7uMZaF\ 4.13 背景 77 H'2 =yhtVh 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 b%(0AL 4.15 生成Rugate 84 ||f4f3R' 4.16 参考文献 91 $.Ni'U 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ff0,K#- 5.1 Jobs 92 UuGv= yC^6 5.2 创建一个新Job(工作) 93 jk@]d5 5.3 输入材料 94 &BkNkb 0 5.4 设计数据文件夹 95 c1[;a> 5.5 默认设计 95 gQ~4udla. 6 细化和合成 97 @p;4g_F 6.1 优化介绍 97 l}x{.q7Ul 6.2 细化 (Refinement) 98 \] K-<&f 6.3 合成 (Synthesis) 100 <S
qbj; 6.4 目标和评价函数 101 sp%7iNs 6.4.1 目标输入 102 ^^m%[$nw&r 6.4.2 目标 103 DWAU8>c+ 6.4.3 特殊的评价函数 104 /.r($Sg^ 6.5 层锁定和连接 104 N@g+51ye 6.6 细化技术 104 })B)-8 6.6.1 单纯形 105 Hi Yx(hY 6.6.1.1 单纯形参数 106 (ZYOm 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 A.[T#ZB.4 6.6.2.1 Optimac参数 108 MEu-lM7v 6.6.3 模拟退火算法 109 +] #>6/2q 6.6.3.1 模拟退火参数 109 o9/P/PZ\X 6.6.4 共轭梯度 111 I ;_.tG 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]zO]*d=m 6.6.5 拟牛顿法 112 ep5aBrN]" 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 [kCn6\_<V 6.6.6 针合成 113 eMs`t)rQ 6.6.6.1 针合成参数 114 7?Fl [FW$ 6.6.7 差分进化 114 wgrYZ^] 6.6.8非局部细化 115 &>-Cz%IV 6.6.8.1非局部细化参数 115 ?NL2|8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 ,#crtX 6.7.1 细化 116 =c|Bu^(Ctw 6.7.2 合成 117
6?6
u 6.8 参考文献 117 R~`Y6>o~9: 7 导纳图及其他工具 118 [f'7/w+ 7.1 简介 118 , Le_PJY) 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 z, OMR`W 7.2.1 四分之一波长规则 119 ZrTq)BZ 7.2.2 导纳图 120 HV}NT~ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 <C&UDj 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 yHCc@`1. 7.5 斜入射导纳图 141 ,"D1!0 7.6 对称周期 141 |A2.W8`o 7.7 参考文献 142 @t_<oOI2 8 典型的镀膜实例 143 .m<-)Kx 8.1 单层抗反射薄膜 145 L8V'mUyD 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 t*COzE 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 RKe19l_V 8.4 W-膜层 148 /:S.("Unv 8.5 V-膜层 149 O&}0 7( 8.6 V-膜层高折射基底 150 |PWLFiT(> 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 2]@U$E='s 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 hJ|z8Sy@1 8.9 四层抗反射薄膜 153 toF@@% 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 k2xjcrg 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 LE7o[<> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 t<e?f{Q5 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 9qw~]W~Nm 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 >6@UjGj54 8.15十五层宽带抗反射膜 159 pPIH`Iq 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 1Ao"DxZHy7 8.17 1/4波长堆栈 162 rP*?a~< 8.18 陷波滤波器 163 5f1yszd 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ?A+-k4l 8.20 褶皱 165 ^}fc]ovV 8.21 消偏振分光器1 169 4i|yEf 8.22 消偏振分光器2 171 e:D8.h+&} 8.23 消偏振立体分光器 172 gqJSz}' 8.24 消偏振截止滤光片 173 H]As2$[ 8.25 立体偏振分束器1 174 %/iD@2r 8.26 立方偏振分束器2 177 k+b!Lw!L 8.27 相位延迟器 178 z-ns@y(f@X 8.28 红外截止器 179 UEHJ?
} 8.29 21层长波带通滤波器 180 |Lf>Z2E 8.30 49层长波带通滤波器 181 o{MF'B# 8.31 55层短波带通滤波器 182 XT+V> HI 8.32 47 红外截止器 183 "%]<Co<S 8.33 宽带通滤波器 184 v,]-;V~< 8.34 诱导透射滤波器 186 a8nqzuI 8.35 诱导透射滤波器2 188 j.or:nF 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 5,dKha 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ;GQCq@)- 8.35 增益平坦滤波器 193 *WMI<w~_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 ~i_YrTp 8.39 啁啾反射镜2 198 s R/z)U_ 8.40 啁啾反射镜3 199 lEAf\T7 8.41 带保护层的铝膜层 200 T8^`<gr. 8.42 增加铝反射率膜 201 0nr 5(4h 8.43 参考文献 202 *? V boyU 9 多层膜 204 2`d KnaF| 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 L0\~K~q 9.2 内部透过率 204 ~cv322N 9.3 内部透射率数据 205 4yK{(!&i+ 9.4 实例 206 Uv) B 9.5 实例2 210 Uc%kyTBm1 9.6 圆锥和带宽计算 212 x`:c0y9uG 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 D?.H|% 10 光学薄膜的颜色 216 1S+lHG92I 10.1 导言 216 '[Zgwz;z 10.2 色彩 216 O\J{4EB@. 10.3 主波长和纯度 220 utu
V'5GD 10.4 色相和纯度 221 [CG3&J 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 k*4!rWr0r& 10.6 色差 226 A('o&H 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 i&TWIl8 10.8 颜色渲染指数 234 "IHFme@^ 10.9 色差计算 235 xs6kr 10.10 参考文献 236 zx/$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 4_P6P 11.1 短脉冲 238 6]r#6c% 11.2 群速度 239 %At.nlss 11.3 群速度色散 241 4L bll%[9 11.4 啁啾(chirped) 245 SM8f"H28 11.5 光学薄膜—相变 245 wQ^RXbJI9 11.6 群延迟和延迟色散 246 !]3kFWs 11.7 色度色散 246 m[CyvcF*u 11.8 色散补偿 249 ;i?rd f 11.9 空间光线偏移 256 )(9[> _+40 11.10 参考文献 258 "$/1.SX;] 12 公差与误差 260 e3mFO+ 12.1 蒙特卡罗模型 260 #-i#mbZ e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 O"X:3srJ` 12.2.1 误差工具 267 ]!]B7|JFJ 12.2.2 灵敏度工具 271 Wo(m:q(Om 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ce[
Maw 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ~h:(9q8NLC 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 QHxof7 12.3 参考文献 276 y=0)vi{] 13 Runsheet 与Simulator 277 "ql$Rz8 13.1 原理介绍 277 F9"Xu-g 13.2 截止滤光片设计 277 I7W`\d) 14 光学常数提取 289 Vr@tSc& 14.1 介绍 289 8|(],NyEJ 14.2 电介质薄膜 289 &e78xtA{ 14.3 n 和k 的提取工具 295 g^}C/~b[ 14.4 基底的参数提取 302 9 p,O>I 14.5 金属的参数提取 306 +cbF$,M4 14.6 不正确的模型 306 +/bD9x1H 14.7 参考文献 311 (xE |T f 15 反演工程 313 *\@RBJGF 15.1 随机性和系统性 313 sjOv!|]A 15.2 常见的系统性问题 314 P,xIDj4d 15.3 单层膜 314 /+*N.D'`t, 15.4 多层膜 314 G[*z,2Kb> 15.5 含义 319 EDuH+/:n 15.6 反演工程实例 319 ]28j$)6
15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 fC3T\@(& 15.6.2 反演工程提取折射率 327 IMncl=1 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 q(X7e 16.1 光学性质的热致偏移 329 ?pcbso 16.2 应力工具 335 *?*~<R 16.3 均匀性误差 339 p_
f<@WE 16.3.1 圆锥工具 339 xXc>YTK' 16.3.2 波前问题 341 ,"KfZf;? 16.4 参考文献 343 LuHRB}W 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 SQhVdYU1' 17.1 引言 345 OrYN-A4{ 17.2 操作数 345 "GR*d{ 18 如何在Function中编写脚本 351 0}"\3EdAbD 18.1 简介 351 ,Tu.cg 18.2 什么是脚本? 351 SO.u0! 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
W~2,J4= 18.4 基础 352 ]8fn1Hx\ 18.4.1 Classes(类别) 352 Kc95yt 18.4.2 对象 352 ?AD-n6 18.4.3 信息(Messages) 352 w/O'&],x 18.4.4 属性 352 h]L.6G|hEN 18.4.5 方法 353 }^0'IAXi 18.4.6 变量声明 353 C0KFN 18.5 创建对象 354 6r`N\ :18 18.5.1 创建对象函数 355 "?F[]8F.b 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ~nhO*bs}7{ 18.5.3 丢弃对象 356 -3i(N.)<; 18.5.4 总结 356 d,N6~?B 18.6 脚本中的表格 357 l?2 18.6.1 方法1 357 QNINn>2 18.6.2 方法2 357 k}F7Jw#. 18.7 2D Plots in Scripts 358 qqe"hruFJ 18.8 3D Plots in Scripts 359 ]7cciob 18.9 注释 360 [ i,[^ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 OblHN* 18.11 一个更高级的脚本 362 m3Wc};yE*Q 18.12 <esc>键 364 qbsod 18.13 包含文件 365 y>x"/jzF# 18.14 脚本被优化调用 366 Iy49o! 18.15 脚本中的对话框 368 x}pH'S7 18.15.1 介绍 368 8^+|I, 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ~dEo^vJD 18.15.3 输入框函数 370 $)"T9$>$ 18.15.4 自定义对话框 371 lAM)X&}0 18.15.5 对话框编辑器 371 a'|]_`36x 18.15.6 控制对话框 377 %;h1n6=v2 18.15.7 更高级的对话框 380 8v2Wi.4T 18.16 Types语句 384 "lu^ 18.17 打开文件 385 &4|]VOf 18.18 Bags 387 FS&QF@dtgf 18.13 进一步研究 388 D((/fT)eD 19 vStack 389 1="]'!2Is 19.1 vStack基本原理 389 Qc-W2% 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 &odQ&%X 19.3 五棱镜 393 eA(\#+)X ` 19.4 光束距离 396 4cSs=|m?+ 19.5 误差 399 F/lL1nTdK 19.6 二向分色棱镜 399 9C,gJp}P 19.7 偏振泄漏 404 JS8pN5 19.8 波前误差—相位 405 mfI[9G 19.9 其它计算参数 405 guYP| 20 报表生成器 406 O4f9n 20.1 入门 406 AJLzLbV+ 20.2 指令(Instructions) 406 *(q{k%/M 20.3 页面布局指令 406 ~s4JGV~R 20.4 常见的参数图和三维图 407 -u%o) ;B 20.5 表格中的常见参数 408 _){u5%vv 20.6 迭代指令 408 /_cpSq 20.7 报表模版 408 DL~!
^fx 20.8 开始设计一个报表模版 409 }])j>E 21 一个新的project 413 4IfkYM 21.1 创建一个新Job 414
A ;`[va 21.2 默认设计 415 "[["naa 21.3 薄膜设计 416 ._x"b5C 21.4 误差的灵敏度计算 420 wd|^m% 21.5 显色指数计算 422 ^8oN~HLZ 21.6 电场分布 424 i`CNgScF> 后记 426 7SkW!5 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 6I=d0m.io
?cz7s28a
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