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TGe)%jZ 内容简介 DQ a0S7I Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 y66V`,e0 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 _r6aLm2n 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 kq m$a X=Th 讯技科技股份有限公司 |x[zzx#
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^/k`URQ 目录 9*"Ae0ok1 Preface 1 :Jz@` s1n 内容简介 2 JkiMrpkuk 目录 i U<|h4'(@L 1 引言 1 ) C?emTih 2 光学薄膜基础 2
S@N:Cj 2.1 一般规则 2 :mpR}.^hv 2.2 正交入射规则 3 k~<b~VcU 2.3 斜入射规则 6 GG KD8'j] 2.4 精确计算 7 ,2I8,MOg 2.5 相干性 8 Lh"!Z 2.6 参考文献 10 @H?_x/qBT 3 Essential Macleod的快速预览 10 C6-71`C0 4 Essential Macleod的特点 32 PN$vBFjm 4.1 容量和局限性 33 ~gjREl,+D# 4.2 程序在哪里? 33 f"8!uE*; 4.3 数据文件 35 cc"L> XoK 4.4 设计规则 35 [^U#ic>cT 4.5 材料数据库和资料库 37 ~BSE8M+r 4.5.1材料损失 38 y].vll8R 4.5.1材料数据库和导入材料 39 quvdm68 4.5.2 材料库 41 ylEQeN 4.5.3导出材料数据 43 ) ag8]
4.6 常用单位 43 Bx>)i8P7i0 4.7 插值和外推法 46 x9c/;Q&m 4.8 材料数据的平滑 50 c2,1d` 4.9 更多光学常数模型 54 :n4X>YL) 4.10 文档的一般编辑规则 55 gx*rxid 4.11 撤销和重做 56 k>N >_{\ 4.12 设计文档 57 h7EKb-@ 4.10.1 公式 58 ~sI$xX! 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 (Nky?* 4.10.3 沉积密度 59 |kUxTe 4.10.4 平行和楔形介质 60 0S{dnp 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 5K~kzRL$r 4.10.4 性能 61 6 +:Tv2 4.10.5 保存设计和性能 64 gD[Fkq$] 4.10.6 默认设计 64 kg>Ymo. 4.11 图表 64 g' xR$6t 4.11.1 合并曲线图 67 !_EaF`oh( 4.11.2 自适应绘制 68 2hjR'6h"Y 4.11.3 动态绘图 68 GYx_9"J\5 4.11.4 3D绘图 69 "]j GCo>9 4.12 导入和导出 73 &*}NN5Sv 4.12.1 剪贴板 73 s[V$fvW 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 4)o_gm~6c4 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 jf&LSK;2 4.13 背景 77 Pgy&/-u 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 3lyk/', 4.15 生成Rugate 84 g[rxKn\Z 4.16 参考文献 91 1I?D$I>CV 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q/o|uAq 5.1 Jobs 92 $GzTDq
Y9@ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Q9lw~" 5.3 输入材料 94 e7{n=M 5.4 设计数据文件夹 95 FBjIft5e 5.5 默认设计 95 ]7QRelMiz+ 6 细化和合成 97 )C
@W_cfMN 6.1 优化介绍 97 Ek [V A\G 6.2 细化 (Refinement) 98 =:+k 6.3 合成 (Synthesis) 100 y\'t{>U/ 6.4 目标和评价函数 101 *0 ;DCUv 6.4.1 目标输入 102 >H@
zP8 6.4.2 目标 103 wAr (5nEbx 6.4.3 特殊的评价函数 104 ~~?4w.k 6.5 层锁定和连接 104 k,L , 6.6 细化技术 104 U/ncD F%C 6.6.1 单纯形 105 ?|8QL9Q"| 6.6.1.1 单纯形参数 106 {gE19J3 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 z$3 3NM 6.6.2.1 Optimac参数 108 ;79X#hI 6.6.3 模拟退火算法 109 U9D4bn D 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ZQT14. $L 6.6.4 共轭梯度 111 P@Wi^svj 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 tHSe>*eC 6.6.5 拟牛顿法 112 8&6h() 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 `;7^@ k 6.6.6 针合成 113 8K!
l X 6.6.6.1 针合成参数 114 (k9{&mPJ 6.6.7 差分进化 114 Do7&OBI~ 6.6.8非局部细化 115 h1.]Nl
C 6.6.8.1非局部细化参数 115 q$EicH}k8 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N[%^0T$ 6.7.1 细化 116 eRC
/Pr 6.7.2 合成 117 J4qFU^ 6.8 参考文献 117 +OFq=M 7 导纳图及其他工具 118 esH>NH_ 7.1 简介 118 OO@ (lt 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 [&n2 yt 7.2.1 四分之一波长规则 119 tBgB>-h( 7.2.2 导纳图 120 }2Y:#{m 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 +#gJ[Cc 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8(UUc>g 7.5 斜入射导纳图 141 L]L-000D( 7.6 对称周期 141 2R&msdF 7.7 参考文献 142 zbdmz 8 典型的镀膜实例 143 .jRp.U 8.1 单层抗反射薄膜 145 [HB>\ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 +K4d(!Sb 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 75~>[JM 8.4 W-膜层 148 WL4{_X 8.5 V-膜层 149 A4.Q\0 8.6 V-膜层高折射基底 150 MXY[t 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 oD]tHuDa 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 c&.>SR') 8.9 四层抗反射薄膜 153 F}P+3IaE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 dzMlfJp 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 q.0a0/R 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ~:r:?PwWG 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 42aYM! 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 3z9}cOFq]z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 v*'dA^Q 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 bCY8CIF 8.17 1/4波长堆栈 162 R]e?<,"X 8.18 陷波滤波器 163 PSz|I8
c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 \ Tf845 8.20 褶皱 165 '#REbY5ev 8.21 消偏振分光器1 169 ~=~|@K 8.22 消偏振分光器2 171 |Id0+-V
? 8.23 消偏振立体分光器 172 5LU8QHj3 8.24 消偏振截止滤光片 173 mGZ^K,)&OR 8.25 立体偏振分束器1 174 hER]%)#r 8.26 立方偏振分束器2 177 M<oIo036 8.27 相位延迟器 178 _|`~CLE[ 8.28 红外截止器 179 5q<AMg
8.29 21层长波带通滤波器 180 e[f}L xln 8.30 49层长波带通滤波器 181 s(W]>Ib 8.31 55层短波带通滤波器 182 2Z
4Ekq0@ 8.32 47 红外截止器 183 B2QttcJ
8.33 宽带通滤波器 184 xMNUyB{? 8.34 诱导透射滤波器 186 [+EmV >Y 8.35 诱导透射滤波器2 188 XnmQp)nyV 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 cl
kL)7RQ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 v0)I rO 8.35 增益平坦滤波器 193 b6sj/V8 8.38 啁啾反射镜 1 196 >ENZ['F 8.39 啁啾反射镜2 198 Eb66GXF[ 8.40 啁啾反射镜3 199 ]cvP ! 8.41 带保护层的铝膜层 200 SoX\S|}%6[ 8.42 增加铝反射率膜 201 $'FPsoH 8.43 参考文献 202 x"q!=&>f 9 多层膜 204 +~b@W{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 *;7~aM 9.2 内部透过率 204 !5lb+%7 9.3 内部透射率数据 205 JGl0
(i*| 9.4 实例 206 "NR`{1f:O 9.5 实例2 210 ~R-P%l P 9.6 圆锥和带宽计算 212 (/TYET_H 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 [@YeQ{ 10 光学薄膜的颜色 216 &`+tWL6L 10.1 导言 216 RV^
N4q4 10.2 色彩 216 J?VMQTa/+ 10.3 主波长和纯度 220 UXpF$= 10.4 色相和纯度 221 o9I=zAGjy 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ~n9x
, 10.6 色差 226 SVKjhZK 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 )5n*4A 10.8 颜色渲染指数 234 /BEE.`6yI5 10.9 色差计算 235 3%gn:.9N 10.10 参考文献 236 ]\DZW4?' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {/|RKV83 11.1 短脉冲 238 h"R{{yf2 11.2 群速度 239 ejs_ ? 11.3 群速度色散 241 (R^X3 11.4 啁啾(chirped) 245
X0a)6HZ{ 11.5 光学薄膜—相变 245 IZ?+c@t 11.6 群延迟和延迟色散 246 +9EG6"..@H 11.7 色度色散 246 H!N`hEEj> 11.8 色散补偿 249 ;1x(~pD*o 11.9 空间光线偏移 256 eO7 )LM4 11.10 参考文献 258 9BW"^$ 12 公差与误差 260 )wT@`p"4 12.1 蒙特卡罗模型 260 FFC"rG 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ;5S'?fj 12.2.1 误差工具 267 :Y4m3| 12.2.2 灵敏度工具 271 i`k{}!F 12.2.2.1 独立灵敏度 271 #Y|t,x; 12.2.2.2 灵敏度分布 275 -d'swx2aZ! 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 (rTn6[* 12.3 参考文献 276 3`
,u^ w 13 Runsheet 与Simulator 277 ?rauhTVnJ 13.1 原理介绍 277 &Ul8h,qw 13.2 截止滤光片设计 277 Ht`kmk;I) 14 光学常数提取 289 C[X2]zr 14.1 介绍 289 Tj(DdR#w 14.2 电介质薄膜 289 2Q bCH} 14.3 n 和k 的提取工具 295 GN0s`'#"3% 14.4 基底的参数提取 302 :X+!W_xR 14.5 金属的参数提取 306 |FED< 14.6 不正确的模型 306 rJz`v/:|P 14.7 参考文献 311 r2b_$ 15 反演工程 313 uv#."_Va 15.1 随机性和系统性 313 {wK|C<K 15.2 常见的系统性问题 314 a+!r5689 15.3 单层膜 314 C3k[ipCN 15.4 多层膜 314 ;*+wg5| 15.5 含义 319 BQo$c~ 15.6 反演工程实例 319 f3;.+hJ]) 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 W)~}o<a)[ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 A
WS[e$Mt2 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 PS:"mP7n 16.1 光学性质的热致偏移 329 Ea<kc[Q 16.2 应力工具 335 nyl[d|pVa 16.3 均匀性误差 339 ^}Wk 16.3.1 圆锥工具 339 UI]UxEJ 16.3.2 波前问题 341 7gnrLc$]O 16.4 参考文献 343 hBRcI0R 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 HI\V29
a 17.1 引言 345 z%lLbKSe 17.2 操作数 345 S4O'N x 18 如何在Function中编写脚本 351 :P/0 " 18.1 简介 351 ]yAOKmS 18.2 什么是脚本? 351 R!z32 <5k
18.3 Function中脚本和操作数对比 351 pP|LSrY! 18.4 基础 352 4NK{RN3 18.4.1 Classes(类别) 352 -]~KQvIH! 18.4.2 对象 352 [sc4ULS & 18.4.3 信息(Messages) 352 nhImO@Q: 18.4.4 属性 352 ;
8B)J<y 18.4.5 方法 353 :jHDeF.A 18.4.6 变量声明 353 _C4N6YdU 18.5 创建对象 354 -Cc2|~n 18.5.1 创建对象函数 355 NK!#K>AO 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Ha41Wn'tZ 18.5.3 丢弃对象 356
k:i}xKu 18.5.4 总结 356 pPH"6
18.6 脚本中的表格 357 @AfC$T 18.6.1 方法1 357 qBDhCE 18.6.2 方法2 357 jccSjGX@w 18.7 2D Plots in Scripts 358 8{B]_:
-: 18.8 3D Plots in Scripts 359 W6&mXJ^3L 18.9 注释 360 g;-6Hg' 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 spG3"Eodi 18.11 一个更高级的脚本 362 AAc*\K 18.12 <esc>键 364 *-,jIaL; 18.13 包含文件 365 'z$!9ufY, 18.14 脚本被优化调用 366 P
~rT uj 18.15 脚本中的对话框 368 ?Zh,W(7W 18.15.1 介绍 368 a0)] W%F 18.15.2 消息框-MsgBox 368 }!^`%\ %\ 18.15.3 输入框函数 370 Mh"vH0\Lj 18.15.4 自定义对话框 371 &]S\GnqlU] 18.15.5 对话框编辑器 371 ,cFBLj(@ 18.15.6 控制对话框 377 <!a%GI 18.15.7 更高级的对话框 380 |_u|Td(n 18.16 Types语句 384 fl+dL#] 18.17 打开文件 385 e3=-7FU 18.18 Bags 387 <d~IdK'\x 18.13 进一步研究 388 (_n U}<y_i 19 vStack 389 8T"8C 19.1 vStack基本原理 389 ['_W< 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 PL*1-t?# 19.3 五棱镜 393 P.W@5:sD 19.4 光束距离 396 w\%AR1,rs 19.5 误差 399 5-! Zm] 19.6 二向分色棱镜 399 nq 9{{oe 19.7 偏振泄漏 404 !f01.Tq8 19.8 波前误差—相位 405 owe6ge7m
19.9 其它计算参数 405 Q7(I' 20 报表生成器 406 %ou@Y` 20.1 入门 406 ppR;v 20.2 指令(Instructions) 406 ;dquld+q 20.3 页面布局指令 406 n0vhc; d 20.4 常见的参数图和三维图 407 ,jJbQIu# 20.5 表格中的常见参数 408 f"aqg/l 20.6 迭代指令 408 @,;VMO 20.7 报表模版 408 "W@>lf?" 20.8 开始设计一个报表模版 409 4=C7V,a 21 一个新的project 413 :89AYqT" 21.1 创建一个新Job 414 EeDK ^W8N 21.2 默认设计 415 2yPF'Q7u_. 21.3 薄膜设计 416 ^
Q 21.4 误差的灵敏度计算 420 1+9}Xnxb 21.5 显色指数计算 422 8^5@J)R8 21.6 电场分布 424 UO}Yr8Z; 后记 426 @%gth@8 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 8Uoqj=5F @!,W]?{
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