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l* =\0 内容简介 c|%.B2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 x4PA~R 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 5
#)5Z8`X 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %o4ZD7@ ' w NlC2is 讯技科技股份有限公司 ]CD
FabzP_<b 目录 0Z{f!MOh Preface 1 ?H\K]; 内容简介 2 RG9YA&1ce 目录 i }]ak6'|[ 1 引言 1 "/e:V-W
2 光学薄膜基础 2 )A}u)PH4O 2.1 一般规则 2 x roo_ 2.2 正交入射规则 3 XrY\ot`,D 2.3 斜入射规则 6 KErQCBeJ 2.4 精确计算 7 t%$> 2.5 相干性 8 nCZ&FNi{O~ 2.6 参考文献 10 A{Jp>15AVg 3 Essential Macleod的快速预览 10 owDp?Sy}E 4 Essential Macleod的特点 32 ~ [k0ay 4.1 容量和局限性 33 #d,+87]\= 4.2 程序在哪里? 33 b!C\J 4.3 数据文件 35 1&JPyW 4.4 设计规则 35 Y[l*>}:w 4.5 材料数据库和资料库 37 tONX<rA|] 4.5.1材料损失 38 5hN`}Ve 4.5.1材料数据库和导入材料 39 kcg{z8cd'r 4.5.2 材料库 41 B|9)4f&\=R 4.5.3导出材料数据 43 W_:3Sj l' 4.6 常用单位 43 +yvtd]D$2W 4.7 插值和外推法 46 + niz(] 4.8 材料数据的平滑 50 cn62:p]5 4.9 更多光学常数模型 54 s9R#rwIc 4.10 文档的一般编辑规则 55 "]1 !<M6\i 4.11 撤销和重做 56 5G!0Yy[' 4.12 设计文档 57 jlvh'y` 4.10.1 公式 58 V2As 5 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 k1l\Rywp 4.10.3 沉积密度 59 eD4D<\* 4.10.4 平行和楔形介质 60 'MLp*3djF, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 $T.u Iq 4.10.4 性能 61 |$*1!pL-QP 4.10.5 保存设计和性能 64 w;@NYMK) 4.10.6 默认设计 64 |]--sUx: 4.11 图表 64 ME.l{?v 4.11.1 合并曲线图 67 U($bR|%D 4.11.2 自适应绘制 68 !&'GWQY{( 4.11.3 动态绘图 68 UoAHy%Y<% 4.11.4 3D绘图 69 Q&j-a;L 4.12 导入和导出 73 ! =(OvX_< 4.12.1 剪贴板 73 b`a4SfbQS 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ?A4zIJ\ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 S T#9auw 4.13 背景 77 7s8-Uwl< 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 eh\_;2P 4.15 生成Rugate 84 Q=YIAGK 4.16 参考文献 91 H7{)"P]{f 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Z3C]n,I 5.1 Jobs 92 kYbqb? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 /\L-y,>X 5.3 输入材料 94 PHQ7 5.4 设计数据文件夹 95 RT+pB{Y 5.5 默认设计 95 Db:^Omwo 6 细化和合成 97 6,wi81F,} 6.1 优化介绍 97 p.wed%O. 6.2 细化 (Refinement) 98 #mT\B[4h 6.3 合成 (Synthesis) 100 >:o$h2 6.4 目标和评价函数 101 |7Dc7p"D 6.4.1 目标输入 102 O`?qnNmc; 6.4.2 目标 103 bVLBqa= 6.4.3 特殊的评价函数 104 1zNh&
" 6.5 层锁定和连接 104 Qy4eDv5 6.6 细化技术 104 `$PdI4~J 6.6.1 单纯形 105
}?eO.l{ 6.6.1.1 单纯形参数 106 M Ewa^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 >X@4wP7l 6.6.2.1 Optimac参数 108 GZefeBi 6.6.3 模拟退火算法 109 Nm{+!}cC 6.6.3.1 模拟退火参数 109 NUO#[7OK+x 6.6.4 共轭梯度 111 o#Gf7.E8 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 \wZ
4enm 6.6.5 拟牛顿法 112 \wjT|z1+Y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 :)9CG!2y<M 6.6.6 针合成 113 SEKR`2Zz, 6.6.6.1 针合成参数 114 v(0IQ 6.6.7 差分进化 114 b=L4A,w~a 6.6.8非局部细化 115 MnLo{G] 6.6.8.1非局部细化参数 115 7MbV|gM} 6.7 我应该使用哪种技术? 116 KPi_<LuK 6.7.1 细化 116 b6%[?k 6.7.2 合成 117 K#%@4]jO3 6.8 参考文献 117 at|.Q*&a# 7 导纳图及其他工具 118
O*SJx. 7.1 简介 118 5'<J@3B 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 iv!; gMco 7.2.1 四分之一波长规则 119 7|@FN7]5NF 7.2.2 导纳图 120 po! [Nd&" 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 QBYY1)6S, 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 `w8Ejm?n 7.5 斜入射导纳图 141 w,T-vf 7.6 对称周期 141 c)j60y 7.7 参考文献 142 9^?2{aP% 8 典型的镀膜实例 143 2tw3 =) 8.1 单层抗反射薄膜 145 i}L*PCP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 {^@vCBE+ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 )H1\4LeP 8.4 W-膜层 148 l5T0x=y9! 8.5 V-膜层 149 " k0gZb 8.6 V-膜层高折射基底 150 #Zg pm"MW 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 r1&eA% eh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Qef5eih 8.9 四层抗反射薄膜 153 ^:^ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ]>/oo =E 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Fy*t[> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 6fm oIK{ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 :@b=; 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 h1~/zM/` 8.15十五层宽带抗反射膜 159 eemC;JV % 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 v8"Zru 8.17 1/4波长堆栈 162 XI'.L ~ 8.18 陷波滤波器 163 kp-`_sDg 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 XZ=%XB:? 8.20 褶皱 165 {,=U]^A 8.21 消偏振分光器1 169 *qA:%m3 8.22 消偏振分光器2 171 _<6E>"*m 8.23 消偏振立体分光器 172 >~l^E!<i-u 8.24 消偏振截止滤光片 173 7 \AoMk}
8.25 立体偏振分束器1 174 }U^iVq* 8.26 立方偏振分束器2 177 Bdcs}Ga 8.27 相位延迟器 178 \;+TZ1i_ 8.28 红外截止器 179 yR% l[/ X 8.29 21层长波带通滤波器 180 |fB/ hs \ 8.30 49层长波带通滤波器 181 D4T42L 8.31 55层短波带通滤波器 182 C';Dc4j 8.32 47 红外截止器 183 rA|&G' 8.33 宽带通滤波器 184 +3k.xP?QS 8.34 诱导透射滤波器 186 Hf+oG 8.35 诱导透射滤波器2 188 ^KJi|'B 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 |&MOus#v 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 !S'!oinV 8.35 增益平坦滤波器 193 L0R$T=~%) 8.38 啁啾反射镜 1 196 )43z(:< 8.39 啁啾反射镜2 198 L@S1C=-/ 8.40 啁啾反射镜3 199 bt"5.nm 8.41 带保护层的铝膜层 200 19:1n]*X< 8.42 增加铝反射率膜 201 _n0NE0 8.43 参考文献 202 j|>^wB 9 多层膜 204
e**5_L 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ;*{Ls# 9.2 内部透过率 204 Qoa&]] 9.3 内部透射率数据 205 vW0U~(XlN 9.4 实例 206 [4Q;5 'Dj 9.5 实例2 210 pQxv_4 9.6 圆锥和带宽计算 212 !iL6 / 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 @,{Qa!A>l 10 光学薄膜的颜色 216 Ri3*au/Q 10.1 导言 216 yb-4[C:i 10.2 色彩 216 T5-Yqz 10.3 主波长和纯度 220 .7+"KP: 10.4 色相和纯度 221 Z6nQW53- 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 g77 :92 10.6 色差 226 <r)5jf 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 E_0i9 10.8 颜色渲染指数 234 y,6KU$G 10.9 色差计算 235 NOFH 10.10 参考文献 236 Q$5%9 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 N+vsQ!Qz 11.1 短脉冲 238 jw)c|%r> 11.2 群速度 239 CropHB/t 11.3 群速度色散 241 xg4wtfAbS 11.4 啁啾(chirped) 245 ./<giTR:p 11.5 光学薄膜—相变 245 {5 3#Xd 11.6 群延迟和延迟色散 246 EgRuB@lw76 11.7 色度色散 246 T[-Tqi NT 11.8 色散补偿 249 \0)2 u[7 11.9 空间光线偏移 256 39x
4( 11.10 参考文献 258 '8LHX6FXK 12 公差与误差 260 d>0 j!+s 12.1 蒙特卡罗模型 260 @P">4xVX{ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 55Xfu/hQ 12.2.1 误差工具 267 8mC$p6Okd 12.2.2 灵敏度工具 271 Z ?ATWCa 12.2.2.1 独立灵敏度 271 [KMS/'; ] 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Hn]6re 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 z3M6<.K 12.3 参考文献 276 ,nWZJ&B 13 Runsheet 与Simulator 277 ^vZu[m 13.1 原理介绍 277 E?jb? 13.2 截止滤光片设计 277 Gw#z:gX2 14 光学常数提取 289 S-79uo 14.1 介绍 289 Pa{bkr 14.2 电介质薄膜 289 FX+^S?x. 14.3 n 和k 的提取工具 295 `a8 &7J( 14.4 基底的参数提取 302 {DX1/49 14.5 金属的参数提取 306 G{.A5{ 14.6 不正确的模型 306 +$R%Vbd 14.7 参考文献 311 b(A;mt#N 15 反演工程 313 GPAz#0p 15.1 随机性和系统性 313 p]6/1&t |