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:|3C-+[ 内容简介 QLG,r^
Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 9Wrclai 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 .&.CbE8K[ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 vy?YA- ix`x dVj` 讯技科技股份有限公司 CNYchE,}
\RO Sd 目录 V= PoQ9d Preface 1 m
0PF"( 内容简介 2 `<~P> 目录 i '~J6mojE 1 引言 1 Su #1yw> 2 光学薄膜基础 2 rzLlM 2.1 一般规则 2 >,vuC4v- 2.2 正交入射规则 3 jqedHnx 2.3 斜入射规则 6 1j,Y 2.4 精确计算 7 <~w#sIh 2.5 相干性 8 =x>k:l~s 2.6 参考文献 10 0in6z 3 Essential Macleod的快速预览 10 WpZ^R;eK 4 Essential Macleod的特点 32 9t1_"{'N1 4.1 容量和局限性 33 7Y:s6 R| 4.2 程序在哪里? 33 Rby7X*.-v 4.3 数据文件 35 ]S ,GHPEN 4.4 设计规则 35 ?]N&H90^5 4.5 材料数据库和资料库 37 ?VsZo6Z" 4.5.1材料损失 38 1| DI'e[X 4.5.1材料数据库和导入材料 39 DmsloPB?_ 4.5.2 材料库 41 lUd,- 4.5.3导出材料数据 43 |\t_I~de 4.6 常用单位 43 pE N`&'4 4.7 插值和外推法 46 7F\g3^z9` 4.8 材料数据的平滑 50 % BKTN@;7 4.9 更多光学常数模型 54
H'.eqZM 4.10 文档的一般编辑规则 55 [~wcHE 4.11 撤销和重做 56 Ipx:k+J 4.12 设计文档 57 f *vziC<m 4.10.1 公式 58 VuW19-G 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 |t_2AV 4.10.3 沉积密度 59 fHi+PEbR 4.10.4 平行和楔形介质 60 ?dYDfyFfB 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 is$d<Y&F 4.10.4 性能 61 bX1ip2X
lk 4.10.5 保存设计和性能 64 <n{9pZ5. 4.10.6 默认设计 64 /o2eKx 4.11 图表 64 (%Rs&/vU~ 4.11.1 合并曲线图 67 B?'ti{p
A9 4.11.2 自适应绘制 68 v*LL7b0A 4.11.3 动态绘图 68 N}=-+E| 4.11.4 3D绘图 69 /xzL!~g`6< 4.12 导入和导出 73 , +^db) 4.12.1 剪贴板 73 CiSG=obw 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 @ 2_&ti 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 =g:\R$lQ 4.13 背景 77 .9ne'Ta 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 I1,?qr"Zr 4.15 生成Rugate 84 9^tyjX2 4.16 参考文献 91 j>iM(8`t1 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 q8J/tw?%v 5.1 Jobs 92 \+\h<D-5 5.2 创建一个新Job(工作) 93 mVLGQlvVK 5.3 输入材料 94 3^Y-P8.zdB 5.4 设计数据文件夹 95 QZfnoKz 5.5 默认设计 95 q'q{M-U< 6 细化和合成 97 P$bo8* 6.1 优化介绍 97 DH%X+r 6.2 细化 (Refinement) 98 7^F?key? 6.3 合成 (Synthesis) 100 ]{hfM 6.4 目标和评价函数 101 xjYFTb}! 6.4.1 目标输入 102 ?m6E@.{ 6.4.2 目标 103
EA\~m*k 6.4.3 特殊的评价函数 104 w'!gLta 6.5 层锁定和连接 104 fu/c)D6u*m 6.6 细化技术 104 -_3.]o/J 6.6.1 单纯形 105 3A5" % 6.6.1.1 单纯形参数 106 jv ";?*I6. 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 qA30G~S 6.6.2.1 Optimac参数 108 RUEUn 6.6.3 模拟退火算法 109 ]x|sTKv2 6.6.3.1 模拟退火参数 109 B06/mKZ7 6.6.4 共轭梯度 111 ]:;gk&P 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 QS_u<B 6.6.5 拟牛顿法 112 [o~w>,a 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 -3fvO~ 6.6.6 针合成 113 +vP1DXtj( 6.6.6.1 针合成参数 114 >\'yj|
U, 6.6.7 差分进化 114 >Ry4Cc 6.6.8非局部细化 115 ]WG\+1x9 6.6.8.1非局部细化参数 115 ^6`U0|5mRX 6.7 我应该使用哪种技术? 116 h5JXKR.1]c 6.7.1 细化 116 n;U|7it7 6.7.2 合成 117 6= 6.8 参考文献 117 sYz:(hZS 7 导纳图及其他工具 118 _heQ|'( 7.1 简介 118 8P .! q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 eR/7*G5 7.2.1 四分之一波长规则 119 Lv_>cFJ}[ 7.2.2 导纳图 120 w3*JVIQC 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Gi-tf< 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 u1uY*p 7.5 斜入射导纳图 141 [8"nRlXH 7.6 对称周期 141 pO^
6p% 7.7 参考文献 142 <AVpFy 8 典型的镀膜实例 143
G~JQcJFj 8.1 单层抗反射薄膜 145 O/Fzw^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 JwO+Dd 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 mp#5Vc 8.4 W-膜层 148 ()7=(<x{ 8.5 V-膜层 149 j_}e%,} 8.6 V-膜层高折射基底 150 |89`O^ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 FUDMaI 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 NYCkYI 8.9 四层抗反射薄膜 153 |y]#-T?)t 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 6ugBbP +^ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 yY1&hop 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ''Hq-Ng 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 yCz?V[49 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 th]9@7UE, 8.15十五层宽带抗反射膜 159 3y@'p(}Az 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 8Hhe&B 8.17 1/4波长堆栈 162 eq"~by[Uq 8.18 陷波滤波器 163 4U((dx*m 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 x*YJ:t 8.20 褶皱 165 C}Khh`8@5. 8.21 消偏振分光器1 169 A81kb 8.22 消偏振分光器2 171 X\ h]N 8.23 消偏振立体分光器 172 ,xGlWH wrY 8.24 消偏振截止滤光片 173 DzYno-]A] 8.25 立体偏振分束器1 174 -X |G 8.26 立方偏振分束器2 177 '?-GZ0oM 8.27 相位延迟器 178 Dr;@) 8.28 红外截止器 179 !_]WUQvV? 8.29 21层长波带通滤波器 180 -i58FJ`B 8.30 49层长波带通滤波器 181 pdE=9l' 8.31 55层短波带通滤波器 182 ~2pctqMA 8.32 47 红外截止器 183 "xh]>_;&' 8.33 宽带通滤波器 184 Tj.;\a|d 8.34 诱导透射滤波器 186 r`"
? K]rI 8.35 诱导透射滤波器2 188 yXDf;`J 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 $
@^n3ZQ4 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 3i7n"8\$ 8.35 增益平坦滤波器 193 N &=,)d~M 8.38 啁啾反射镜 1 196 Qd@`jwjS 8.39 啁啾反射镜2 198 s,0,w--= 8.40 啁啾反射镜3 199 w7O(I" 8.41 带保护层的铝膜层 200 LaLA}1!
8.42 增加铝反射率膜 201 =6? 3c\ 8.43 参考文献 202 &
K7+V 9 多层膜 204 JK,k@RE y] 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 WhvO-WF 9.2 内部透过率 204 BM:je(*p 9.3 内部透射率数据 205 B&tl6?7h 9.4 实例 206 lT*Hj. 9.5 实例2 210 +lE 9*Gs_$ 9.6 圆锥和带宽计算 212 b-ZvEDCR 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 }4+S_b 10 光学薄膜的颜色 216 R,tR{| 8 10.1 导言 216 x3)qK6,\ 10.2 色彩 216 u+S*D\p<` 10.3 主波长和纯度 220 f4uK_{ 10.4 色相和纯度 221 ]` 3;8, 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 O"Ar3> 10.6 色差 226 Pg5 1}{ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Y0U:i.) 10.8 颜色渲染指数 234 TC ^EyjD 10.9 色差计算 235 Ww@Rewo 10.10 参考文献 236 V7 c7(G 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 qdzc"-gH` 11.1 短脉冲 238 AWGeK-^ 11.2 群速度 239 I,.>tC 11.3 群速度色散 241 g,9o'fs`x 11.4 啁啾(chirped) 245
%<K`d 11.5 光学薄膜—相变 245 5y@JMQSO 11.6 群延迟和延迟色散 246 \U,.!'+ 11.7 色度色散 246 J}lBKP:-* 11.8 色散补偿 249 <1V!-D4xu 11.9 空间光线偏移 256 :tNH Cx 11.10 参考文献 258 4K:p 12 公差与误差 260 s&z+j%;+o 12.1 蒙特卡罗模型 260 NO"=\Zn6 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Q-(twh 12.2.1 误差工具 267 p ^T0(\1 12.2.2 灵敏度工具 271 N}Z"$4 12.2.2.1 独立灵敏度 271 D@&0 P& 12.2.2.2 灵敏度分布 275 e<>(c7bF 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 d:Wh0 y} 12.3 参考文献 276 f0}+8JW5h 13 Runsheet 与Simulator 277 <[kdF") 13.1 原理介绍 277 Fb
VtyQz 13.2 截止滤光片设计 277 aw {?UvL& 14 光学常数提取 289 z1_\P) M 14.1 介绍 289 $!ka8)
~ 14.2 电介质薄膜 289 vfm|?\ 14.3 n 和k 的提取工具 295 KE6[ u*\ 14.4 基底的参数提取 302 C%0 |o/Wi 14.5 金属的参数提取 306 4Rp2 14.6 不正确的模型 306 1]m]b4] 14.7 参考文献 311 ^. M*pe 15 反演工程 313 b\ F(.8 15.1 随机性和系统性 313 G)M9to 15.2 常见的系统性问题 314 H5{d;L1[ 15.3 单层膜 314 OcwD<Xy 15.4 多层膜 314 -(ABQgSO] 15.5 含义 319 A9!%H6 15.6 反演工程实例 319 CFkM}`v0 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 O#uTwnW 15.6.2 反演工程提取折射率 327 6m|j "m 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 &%$r3ePwc 16.1 光学性质的热致偏移 329 m:.ywiw= 16.2 应力工具 335 c4k3|=f 16.3 均匀性误差 339 YFL9Q< 16.3.1 圆锥工具 339 7lqj" o( 16.3.2 波前问题 341 t[XxLG* 16.4 参考文献 343 6$lj$8\ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 bT2 b)nf 17.1 引言 345 XL1v&'HLV 17.2 操作数 345 49E<`f0 18 如何在Function中编写脚本 351 : ) SLi 18.1 简介 351 mvyqCOp 0 18.2 什么是脚本? 351 D4?5% s 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 pZ}4'GnZI 18.4 基础 352 rfpeX 18.4.1 Classes(类别) 352 T& 18.4.2 对象 352 _p"nR 18.4.3 信息(Messages) 352 :
2Ho
18.4.4 属性 352 G>qzAgA 18.4.5 方法 353 _pnJ/YE 18.4.6 变量声明 353 q["CT&0 18.5 创建对象 354 za` 18.5.1 创建对象函数 355 `BG{\3> 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 G'{$$+U^K 18.5.3 丢弃对象 356 M}k t q) 18.5.4 总结 356 NjIe2)}' 18.6 脚本中的表格 357 ]L@VpHEj 18.6.1 方法1 357 C0eP/d 18.6.2 方法2 357 k4FxdX 18.7 2D Plots in Scripts 358 V\^3I7F 18.8 3D Plots in Scripts 359 eQbDs_ 18.9 注释 360 Xt %;]1n 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 XbsEO>_Z'A 18.11 一个更高级的脚本 362 vr+O)/P}) 18.12 <esc>键 364 ^Qt4}V= 18.13 包含文件 365 7{e0^V,\k 18.14 脚本被优化调用 366 hqd}L~o: 18.15 脚本中的对话框 368 Dm?>U1{ 18.15.1 介绍 368 K+5S7wFDZ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 a;jXMR 18.15.3 输入框函数 370 0wU8PZ Nj 18.15.4 自定义对话框 371 ?4GI19j 18.15.5 对话框编辑器 371 <2Lcy&w_M 18.15.6 控制对话框 377 :biM}L 18.15.7 更高级的对话框 380 n>T1KC% 18.16 Types语句 384 c%9wI*l 18.17 打开文件 385 k\W%^Z 18.18 Bags 387
~$-Nl 18.13 进一步研究 388 20h|e+3 19 vStack 389 ]:m>pI*z. 19.1 vStack基本原理 389 AQ:cim` 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ~GZ!;An 19.3 五棱镜 393 %T4htZa 19.4 光束距离 396 #K:|@d 19.5 误差 399 Ch8w_Jf1yx 19.6 二向分色棱镜 399 28J
;9 19.7 偏振泄漏 404 l ps
6lnh 19.8 波前误差—相位 405 (,<&H;,8 19.9 其它计算参数 405 7714}%Z 20 报表生成器 406 W|XTa 20.1 入门 406 ZWH?=Bk: 20.2 指令(Instructions) 406 +`4`OVE_# 20.3 页面布局指令 406 o7Ms]AblT 20.4 常见的参数图和三维图 407 |y=; #A 20.5 表格中的常见参数 408 9Ps[i)- 20.6 迭代指令 408 \lwYDPY: 20.7 报表模版 408 <+ 0cQq=2 20.8 开始设计一个报表模版 409 HH
=sq 21 一个新的project 413 lIPy)25~ 21.1 创建一个新Job 414 +^1E0@b% 21.2 默认设计 415 <20rxOEnf 21.3 薄膜设计 416 iy_'D 21.4 误差的灵敏度计算 420 D5x }V 21.5 显色指数计算 422 dXR70/ 21.6 电场分布 424 qd\5S*Z1 后记 426 /Qi;'h] 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 oo sbf#V z'N_9=
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