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% 内容简介 \Pl,'
1% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,u}<Ws8N 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ,!6M*| 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 -G],H)M (0E U3w?] 讯技科技股份有限公司 #
0GGc.
wJ+U[a 目录 m~u|VgD Preface 1 0)d?Y 内容简介 2 4}Q O!( 目录 i $%g\YdC 1 引言 1 Es'-wr\Hm 2 光学薄膜基础 2 K2cq97k,d 2.1 一般规则 2 k> b&xM! 2.2 正交入射规则 3 yS[z2:! 2.3 斜入射规则 6 ybZ} 2.4 精确计算 7 i8Fs0U4" 2.5 相干性 8 ^|wT_k\ 2.6 参考文献 10 f}[H
`OF 3 Essential Macleod的快速预览 10 @Ex;9F,Q 4 Essential Macleod的特点 32 cz2,",+~ 4.1 容量和局限性 33 -a
*NbH 4.2 程序在哪里? 33 4~O6$;!|~ 4.3 数据文件 35 \ V6
4.4 设计规则 35 ^ED"rMI 4.5 材料数据库和资料库 37 0iYP 4.5.1材料损失 38 WP5VcBC 4.5.1材料数据库和导入材料 39 br0u@G 4.5.2 材料库 41 =G(*gx 4.5.3导出材料数据 43 ~|&="K4,: 4.6 常用单位 43 q*L
] 4.7 插值和外推法 46 BwC<rOU 4.8 材料数据的平滑 50 G%a] j 4.9 更多光学常数模型 54 I> {!U$ 4.10 文档的一般编辑规则 55 N~;*bvW{ 4.11 撤销和重做 56 Oe/6.h? 4.12 设计文档 57 I*Vt,JYx 4.10.1 公式 58 ;a|`s 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 *p=fi 4.10.3 沉积密度 59 SD?BM-&~ 4.10.4 平行和楔形介质 60 [-\({<t3x 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 i;c'P}[K 4.10.4 性能 61 `gt:gx>a 4.10.5 保存设计和性能 64 *z q .C 4.10.6 默认设计 64 tM)Iir*U# 4.11 图表 64 ~n
WsP}`n 4.11.1 合并曲线图 67 || [89G 4.11.2 自适应绘制 68 *C\(wL 4.11.3 动态绘图 68 LfEvc2
v=g 4.11.4 3D绘图 69 czI{qi5N 4.12 导入和导出 73 )!e3.C|V1W 4.12.1 剪贴板 73 Go 1(@ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 tQrS3Hz'nA 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Z==!C=SBv 4.13 背景 77 Hle\ON 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &y70 4.15 生成Rugate 84 .d~\Ysve 4.16 参考文献 91 8lwFAiC8 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 5SUN.%y 5.1 Jobs 92 IZ*}idlkn/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 Gzw@w{JBL 5.3 输入材料 94 -/>9c-F 5.4 设计数据文件夹 95 f])M04< 5.5 默认设计 95 i^*M^P3m 6 细化和合成 97 Q"%S~' 6.1 优化介绍 97 jv =EheD 6.2 细化 (Refinement) 98 y;nvR6) 6.3 合成 (Synthesis) 100 Yt+h2ft! 6.4 目标和评价函数 101 +3;Ody"59 6.4.1 目标输入 102 EUy(T1Cl&& 6.4.2 目标 103 d",(aZ 6.4.3 特殊的评价函数 104 >GXXjAIu/ 6.5 层锁定和连接 104 XA)'=L!^ 6.6 细化技术 104 ZqQ*}l5 6.6.1 单纯形 105 5;mRGY 6.6.1.1 单纯形参数 106 gWOt]D/ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 1a$IrQE 6.6.2.1 Optimac参数 108 WuM C^ 6.6.3 模拟退火算法 109 56DoO' 6.6.3.1 模拟退火参数 109 BC! 6O/kr 6.6.4 共轭梯度 111 Z~p!C/B 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 Fu7M0X'p 6.6.5 拟牛顿法 112 T|;@T^ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 q8>t!rh<R 6.6.6 针合成 113 N}b^fTq 6.6.6.1 针合成参数 114 *KJB>W%@uM 6.6.7 差分进化 114 7?J3ci\ 6.6.8非局部细化 115 >;4!O%F 6.6.8.1非局部细化参数 115 XA<ozq' 6.7 我应该使用哪种技术? 116 H(|AH;?ou 6.7.1 细化 116 !`&\Lx_ 6.7.2 合成 117 \\:|Odd 6.8 参考文献 117 -\#lF?fzb 7 导纳图及其他工具 118 M0L&~p_F 7.1 简介 118 I [0!SIqY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 Nxk(mec" 7.2.1 四分之一波长规则 119 _c2WqQ-05 7.2.2 导纳图 120 6e&$l- 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ~_>cM c 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 d'"r("w# 7.5 斜入射导纳图 141 *geN[[ 7.6 对称周期 141 5u$ D/*
Eb 7.7 参考文献 142 oC*=JJe, 8 典型的镀膜实例 143 h2~4G)J 8.1 单层抗反射薄膜 145 $*f?&U]k 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 yNCEz/4 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 |3shc,7 8.4 W-膜层 148 FhkkWWL 8.5 V-膜层 149 #%$28sxB 8.6 V-膜层高折射基底 150 '<dgT&8C 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3qaMO#{M 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 GZ3 ]N 8.9 四层抗反射薄膜 153 J !HjeZ 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 %m&@o~+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 5~H#(d<oZ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 V'DA[{\* 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 t"vRc4mf 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ZU{4lhe 8.15十五层宽带抗反射膜 159 YKZa$@fA? 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 S`!-Cal`n 8.17 1/4波长堆栈 162 ,q#0hy%5/ 8.18 陷波滤波器 163 {X~gwoz 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 V}WB*bE 8.20 褶皱 165 4J0Rvod_ 8.21 消偏振分光器1 169 :E&g%'1 8.22 消偏振分光器2 171 N&,]^>^u 8.23 消偏振立体分光器 172 [?k8}B)mHB 8.24 消偏振截止滤光片 173 k@dN$O%p 8.25 立体偏振分束器1 174 SaOYu &> 8.26 立方偏振分束器2 177 :A1: 8.27 相位延迟器 178 ?D`T7KSe~D 8.28 红外截止器 179 U_B((Z(g 8.29 21层长波带通滤波器 180 B<?wh0 8.30 49层长波带通滤波器 181 n.}E5%qK 8.31 55层短波带通滤波器 182 Lel|,mc`k2 8.32 47 红外截止器 183 Jh&~ToF! 8.33 宽带通滤波器 184 )%d*3\Tsd 8.34 诱导透射滤波器 186 em{(4!W> 8.35 诱导透射滤波器2 188 r^Zg-|gr 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 47K1$3P 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 "N?+VkZEv 8.35 增益平坦滤波器 193 8s{?v&p 8.38 啁啾反射镜 1 196 l{j~Q^U}) 8.39 啁啾反射镜2 198 r|u MovnV 8.40 啁啾反射镜3 199 Ho;X4lo[j 8.41 带保护层的铝膜层 200 'cix`l|^ 8.42 增加铝反射率膜 201 <{5EdX 8.43 参考文献 202 *)M49a*UD 9 多层膜 204 v59dh (:`Z 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 )3Z ^h<"j 9.2 内部透过率 204 @Fp_^5 9.3 内部透射率数据 205 `-h8vj5uG 9.4 实例 206 hrG M|_BE 9.5 实例2 210 ~Wo)?q8UY, 9.6 圆锥和带宽计算 212 ngohtB^] 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?L&'- e@ 10 光学薄膜的颜色 216 G 0%6ch^% 10.1 导言 216 Qv,"($n\ 10.2 色彩 216 {(U %i\F\ 10.3 主波长和纯度 220 !$-\;<bZw 10.4 色相和纯度 221 9RN-suE[ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Ez|oN, 10.6 色差 226 N ,8/Y 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 AV9m_hZt 10.8 颜色渲染指数 234 7Mb#O_eh 10.9 色差计算 235 AP77a*@8 10.10 参考文献 236 6f')6X'x 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [W%$qZlP 11.1 短脉冲 238 P9g en6 11.2 群速度 239 $hivlI-7Ko 11.3 群速度色散 241 QUU;g 2k 11.4 啁啾(chirped) 245 35E _W>n 11.5 光学薄膜—相变 245 h 3]wL.V 11.6 群延迟和延迟色散 246 %?e& WLS 11.7 色度色散 246 \b%kf9 9 11.8 色散补偿 249 fFb_J`'ue 11.9 空间光线偏移 256 ]gYz
4OT 11.10 参考文献 258 CC#;c1t 12 公差与误差 260 Vn*tpbz 12.1 蒙特卡罗模型 260 yW$0\E6<r 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ,lZB96r0 12.2.1 误差工具 267 xx[9~z=d 12.2.2 灵敏度工具 271 ZovW0Q)m 12.2.2.1 独立灵敏度 271 GB$;n? 12.2.2.2 灵敏度分布 275 $s9Vrw0Z 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 dZi"$ g 12.3 参考文献 276 Y.g59X!Ub2 13 Runsheet 与Simulator 277 Z.92y 13.1 原理介绍 277 h }B%
/U 13.2 截止滤光片设计 277 %Ev4]}2C1 14 光学常数提取 289 zIh['^3.n 14.1 介绍 289 .Fdgb4>BXX 14.2 电介质薄膜 289 E\Rhz]G( 14.3 n 和k 的提取工具 295 vI>>\.ED 14.4 基底的参数提取 302 -r-k_6QP 14.5 金属的参数提取 306 {NHdyc$ 14.6 不正确的模型 306 |&RU/ a 14.7 参考文献 311 rg^'S1x| 15 反演工程 313 0g+'/+Ho 4 15.1 随机性和系统性 313 <YdE1{fm 15.2 常见的系统性问题 314 8_{X1bj 15.3 单层膜 314 V5UF3'3;} 15.4 多层膜 314 .Y&)4+ckL 15.5 含义 319 a!=D [Gz*5 15.6 反演工程实例 319 i\,-oO 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 rJGf.qJJ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 KET2Ws[w 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 \O2Rhz 16.1 光学性质的热致偏移 329 Mu+0<> 16.2 应力工具 335 '.:z&gSqx0 16.3 均匀性误差 339 G"h'_7 16.3.1 圆锥工具 339 vX/T3WV
16.3.2 波前问题 341 LDPUD' 16.4 参考文献 343 3yVMXK 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 <sBbT` 17.1 引言 345 G3Z)Z)N 17.2 操作数 345 k?+?v?I
= 18 如何在Function中编写脚本 351 E=nIRG|g 18.1 简介 351 %5(I/zB 18.2 什么是脚本? 351 ?l9XAWt\ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 4 o Fel.o 18.4 基础 352 ynthDEo 18.4.1 Classes(类别) 352 37s0e;aF 18.4.2 对象 352 sB7#
~pA 18.4.3 信息(Messages) 352 1*\o. 18.4.4 属性 352 3 2&;`]C 18.4.5 方法 353 GPN]9 18.4.6 变量声明 353 Y3Yz)T}UkS 18.5 创建对象 354 LRL,m_gt 18.5.1 创建对象函数 355 pFOx>u2`a 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 +S o4rA*9 18.5.3 丢弃对象 356 G?O1>?4C 18.5.4 总结 356 dYJ(!V& 18.6 脚本中的表格 357 ,o86}6Ag 18.6.1 方法1 357 eA2@Nkw~) 18.6.2 方法2 357 $a.JSXyxL 18.7 2D Plots in Scripts 358 g6j?,c|y 18.8 3D Plots in Scripts 359 ,E S0NA 18.9 注释 360 -t!~%_WCv 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 <:+ x+4ru 18.11 一个更高级的脚本 362 *4\:8 18.12 <esc>键 364 s6 uG`F" 18.13 包含文件 365 LBYMCY 18.14 脚本被优化调用 366 +r2+X:#~T 18.15 脚本中的对话框 368 f6hnTbJ 18.15.1 介绍 368 d,k!qjf=r 18.15.2 消息框-MsgBox 368 hOjk3
k 18.15.3 输入框函数 370 y0L_"e/ 18.15.4 自定义对话框 371 (7wc *#} 18.15.5 对话框编辑器 371 M?1Y,5 18.15.6 控制对话框 377 ,wQ5.U, 18.15.7 更高级的对话框 380 DX#Nf""Pw 18.16 Types语句 384 Ag-(5: 18.17 打开文件 385 p|U?86t 18.18 Bags 387 +}Dw3;W}m 18.13 进一步研究 388 *#,7d"6W5 19 vStack 389 R@1 xt@? 19.1 vStack基本原理 389 <FV1Wz 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 .s?L^Z^ 19.3 五棱镜 393 _>&X\`D 19.4 光束距离 396 =W(Q34 19.5 误差 399 - YEZ]:" 19.6 二向分色棱镜 399 q+yQwX{ 19.7 偏振泄漏 404 V(H1q`ao9 19.8 波前误差—相位 405 BX`{73sw 19.9 其它计算参数 405 1+_`^|eK 20 报表生成器 406 ^UP`%egR 20.1 入门 406 0yk]o5a++ 20.2 指令(Instructions) 406 X8Bd3-B 20.3 页面布局指令 406 p_RsU`[ 20.4 常见的参数图和三维图 407 94'&b=5+ 20.5 表格中的常见参数 408 [_BP)e 20.6 迭代指令 408 Cjn#00 20.7 报表模版 408 x]}^v# 20.8 开始设计一个报表模版 409 `'DmDg 21 一个新的project 413 KjD/o?JUr 21.1 创建一个新Job 414 }7b%HTF= 21.2 默认设计 415 w'>p Y 21.3 薄膜设计 416 =Qy<GeY 21.4 误差的灵敏度计算 420 j\eI0b @* 21.5 显色指数计算 422 8SMxw~9$ 21.6 电场分布 424 T^zXt? 后记 426 X]ipI$'+C 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 (d(CT; {i;r
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