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$7Z-Nn38 内容简介 E|RC|Sz=u Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 bV'r9&[_6 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ld|GY>rH 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #M#$2Vt X+u1p? 讯技科技股份有限公司 /f oI.S
jVoD9H
F/ 目录 g$Vr9MH Preface 1 rhaq!s38: 内容简介 2 a[rb-Z 目录 i ;0 +Dx~ 1 引言 1 CHO_3QIz 2 光学薄膜基础 2 +mR^ I$9 2.1 一般规则 2 k5Q1.;fW76 2.2 正交入射规则 3 fY78 2.3 斜入射规则 6 GCw4sb4~w 2.4 精确计算 7 ;iJxJX\+ 2.5 相干性 8 %yfl-c(u 2.6 参考文献 10 c`S+>: 3 Essential Macleod的快速预览 10 }|M:MJ` 4 Essential Macleod的特点 32 LLzxCMc9* 4.1 容量和局限性 33 3'A0{(b 4.2 程序在哪里? 33 QKVOc,Fp7i 4.3 数据文件 35 6;!)^b 4.4 设计规则 35 s?9Y3]&+&M 4.5 材料数据库和资料库 37 /yx)_x{ 4.5.1材料损失 38 [,ulz4" 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \x4:i\Fx@ 4.5.2 材料库 41 fTK84v"7_ 4.5.3导出材料数据 43 z`Nss
o= 4.6 常用单位 43 (=1zMZo 4.7 插值和外推法 46 >RJ&b 4.8 材料数据的平滑 50 DNqC*IvuzM 4.9 更多光学常数模型 54 %WmTG }L) 4.10 文档的一般编辑规则 55 p_JWklg^ 4.11 撤销和重做 56 H;tE= 4.12 设计文档 57 BjTgZ98J 4.10.1 公式 58 JwWxM3(%t 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ]Z=al`- 4.10.3 沉积密度 59 {5%d#|? 4.10.4 平行和楔形介质 60 jpW_q+^? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 o#z$LT1dY 4.10.4 性能 61 >YF=6zq.` 4.10.5 保存设计和性能 64 E&@#*~ 4.10.6 默认设计 64 GGhk`z 4.11 图表 64 q j9q 4.11.1 合并曲线图 67 WMWMb3 4.11.2 自适应绘制 68 &U}8@; 4.11.3 动态绘图 68 *O[/-
p&7 4.11.4 3D绘图 69 ;<b7kepR 4.12 导入和导出 73 Q^@7Yg@l 4.12.1 剪贴板 73 JxLfDr,dy 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 Q^05n$ tI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 1_c%p#?K 4.13 背景 77 4Xt`L"f 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 /<k5"C%z 4.15 生成Rugate 84 Y"s8j=1m 4.16 参考文献 91 31e
O2|7 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 1:@ScHS 5.1 Jobs 92 N cGFPi(Z 5.2 创建一个新Job(工作) 93 cg9}T[A 5.3 输入材料 94 Z6Kp-z(l3 5.4 设计数据文件夹 95 5e7\tBab 5.5 默认设计 95 oZl%0Uy?9I 6 细化和合成 97 V3a6QcG 6.1 优化介绍 97 !g=b=YK 6.2 细化 (Refinement) 98 V+l7W 6.3 合成 (Synthesis) 100 OTJMS_IT 6.4 目标和评价函数 101 !)W#|sys& 6.4.1 目标输入 102 Q0x?OL] A 6.4.2 目标 103 UVgSO|Tg 6.4.3 特殊的评价函数 104 m^TN6/]) 6.5 层锁定和连接 104 M_r[wYt! 6.6 细化技术 104 &2q<#b 6.6.1 单纯形 105 Iu >4+6 6.6.1.1 单纯形参数 106 #
kNp); 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ~ kDJ-V 6.6.2.1 Optimac参数 108 ,]]IJ;:w 6.6.3 模拟退火算法 109 QF*cdc< 6.6.3.1 模拟退火参数 109 )"6"g9A 6.6.4 共轭梯度 111 &k-NDh3 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 p
Tz]8[^ 6.6.5 拟牛顿法 112
! R3P@,j 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 n'JS- 6.6.6 针合成 113 MLmaA3 6.6.6.1 针合成参数 114 CY[3%7fv 6.6.7 差分进化 114 /_Ku:?{ 6.6.8非局部细化 115 u$(ei2f 6.6.8.1非局部细化参数 115 koD}o^U# 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |90X_6( 6.7.1 细化 116 ji.?bKqHE 6.7.2 合成 117 ]?oJxW. 6.8 参考文献 117 IXm[c@5l 7 导纳图及其他工具 118 zfg+gd)Z 7.1 简介 118 c813NHW 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 }#g+~9UK 7.2.1 四分之一波长规则 119 h.l.da1# 7.2.2 导纳图 120 w1VYU> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 D. x8=|; 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 }Ya! [tX 7.5 斜入射导纳图 141 9$C?)XKXB 7.6 对称周期 141 EYCZuJxv 7.7 参考文献 142 0G33hIOS 8 典型的镀膜实例 143 R osU~OK 8.1 单层抗反射薄膜 145 VEn3b 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 KtH^k&z.f 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 #5'@at'1 8.4 W-膜层 148 qfxEo76' 8.5 V-膜层 149 2efdJ&eIV 8.6 V-膜层高折射基底 150 yx:+Xy*N 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "zCT S 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 P4eH:0=# 8.9 四层抗反射薄膜 153 d"Wuu1tEY 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 (uhE'IQ{( 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 [/VpvQ' 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 7l~^KsX 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 o8hE.pf& 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Ht\2 IP 8.15十五层宽带抗反射膜 159 tm2lxt 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 V|}9bNF 8.17 1/4波长堆栈 162 4gNN " 8.18 陷波滤波器 163 U,61 3G 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 bX(/2_l 8.20 褶皱 165 n"D` = 8.21 消偏振分光器1 169 Q4a7g$^ 8.22 消偏振分光器2 171 "+wkruC 8.23 消偏振立体分光器 172 Di4GaKa/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 n00J21 8.25 立体偏振分束器1 174 6-)WXJ@V 8.26 立方偏振分束器2 177 I.T?A9Z 8.27 相位延迟器 178 ;BT7pyu%[ 8.28 红外截止器 179 Md~._@`|K 8.29 21层长波带通滤波器 180 *FZav2]- 8.30 49层长波带通滤波器 181 ',t*:GBZCf 8.31 55层短波带通滤波器 182 1@h8.ym<" 8.32 47 红外截止器 183 \@N~{72:k 8.33 宽带通滤波器 184 3;> z %{ 8.34 诱导透射滤波器 186 +'MO$&6 8.35 诱导透射滤波器2 188 y,ub*-: 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 H)"]I3 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 ZX1/6|_ 8.35 增益平坦滤波器 193 .s!0S-RkC 8.38 啁啾反射镜 1 196 Ak kF6d+ 8.39 啁啾反射镜2 198 X"r.*fb;N 8.40 啁啾反射镜3 199 DLqH*U 8.41 带保护层的铝膜层 200 o$+R 8.42 增加铝反射率膜 201 bM:4i1Z 8.43 参考文献 202 V+@ }dJS 9 多层膜 204 UntFkoO 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 Dc$q0|N=z 9.2 内部透过率 204 6-TYOUm 9.3 内部透射率数据 205 d^!k{Qx' 9.4 实例 206 bu_@A^ys 9.5 实例2 210 3!fR'L/i 9.6 圆锥和带宽计算 212 K@g
~ 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 .35~+aqC 10 光学薄膜的颜色 216 \ERxr
10.1 导言 216 8 sc2r 10.2 色彩 216 |)Dm.)/0) 10.3 主波长和纯度 220 t!6uz 10.4 色相和纯度 221 <2&qIvHL 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 <#nU 06 fN 10.6 色差 226 hif;atO 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 .
_|=Btoo 10.8 颜色渲染指数 234
pV u[ 10.9 色差计算 235 ?YZgH>7" 10.10 参考文献 236 h9<PP2.( 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ly0L)L]\ 11.1 短脉冲 238 C,W_0=!e 11.2 群速度 239 U:n~S 11.3 群速度色散 241 t=@d`s:R2 11.4 啁啾(chirped) 245 :/szA?:W 11.5 光学薄膜—相变 245 b|DU 11.6 群延迟和延迟色散 246 qCfEv4 11.7 色度色散 246 r,0D I 11.8 色散补偿 249 24? _k]Y 11.9 空间光线偏移 256 ]GY8f3~|{ 11.10 参考文献 258 r0lI&25w 12 公差与误差 260 7qOkv1.}0 12.1 蒙特卡罗模型 260 Y,Z$U| U 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 wzd(=*N 12.2.1 误差工具 267 0|tyKP|J 12.2.2 灵敏度工具 271 IE996
12.2.2.1 独立灵敏度 271 2\k!DF 12.2.2.2 灵敏度分布 275 X=)L$Kd7 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 a6./;OC 12.3 参考文献 276 bO/r1W 13 Runsheet 与Simulator 277 ,e;,+w=~E 13.1 原理介绍 277 ||pOiR5 13.2 截止滤光片设计 277 qp6'n&^& 14 光学常数提取 289 e.DN,rhqI 14.1 介绍 289 Ea<\a1Tl43 14.2 电介质薄膜 289
=5B5 14.3 n 和k 的提取工具 295 $3>Rw/, 14.4 基底的参数提取 302 \:1$E[3v 14.5 金属的参数提取 306 Zn
r4^i&( 14.6 不正确的模型 306 "i/GzD7 `n 14.7 参考文献 311 p19(>|$J 15 反演工程 313 F) Q[ cai 15.1 随机性和系统性 313 BV>9U5 15.2 常见的系统性问题 314 Tr:@Dv.O 15.3 单层膜 314 yLfyLyO L 15.4 多层膜 314 kJf0..J[#< 15.5 含义 319 jFe8s@7 15.6 反演工程实例 319 |g^YD;9s. 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 f:~G) 15.6.2 反演工程提取折射率 327 K g#Bg## 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 RxJbQs$Ph 16.1 光学性质的热致偏移 329 hf9i%,J 16.2 应力工具 335 Y_ne?/sZE 16.3 均匀性误差 339 NdLe|L?c 16.3.1 圆锥工具 339 y|MhV/P04 16.3.2 波前问题 341 {[Ri:^nHgL 16.4 参考文献 343 8Y RT0/V 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 YB4
ZI 17.1 引言 345 6 *S/frE 17.2 操作数 345 X{Vs 18 如何在Function中编写脚本 351 H#hpaP; 18.1 简介 351 iz/CC V L 18.2 什么是脚本? 351 gTTKjlI[ 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 r5hkxk' 18.4 基础 352 uuFQTx)) 18.4.1 Classes(类别) 352 3T]cDVQ_ 18.4.2 对象 352 ;ZI8vFb 18.4.3 信息(Messages) 352 kDmuj>D 18.4.4 属性 352 M=;csazN 18.4.5 方法 353 4+d(d 18.4.6 变量声明 353 .Er+*j;&w 18.5 创建对象 354 FN!?o:|( 18.5.1 创建对象函数 355 l}^ziY! 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ;k#_/c 18.5.3 丢弃对象 356 MDIPoS3BRa 18.5.4 总结 356 j1{`}\e 18.6 脚本中的表格 357 CckfoJ 9 18.6.1 方法1 357 O
]
!tK 18.6.2 方法2 357 r-EIoZ"P 18.7 2D Plots in Scripts 358 mMZ{W+"[f 18.8 3D Plots in Scripts 359 Hn)?
xw]x 18.9 注释 360 k CGb~+ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 [T7&)p 18.11 一个更高级的脚本 362 K*Ba;"Ugeg 18.12 <esc>键 364 }\8-&VoY#X 18.13 包含文件 365 Wll0mtv 18.14 脚本被优化调用 366 iY@}Q " 18.15 脚本中的对话框 368 ;7qzQ{Km 18.15.1 介绍 368 JP\jhkn 18.15.2 消息框-MsgBox 368 GR*sk#{ 18.15.3 输入框函数 370 ~YW;' 18.15.4 自定义对话框 371 8NNh8k#6 18.15.5 对话框编辑器 371 8(K:2 18.15.6 控制对话框 377 ,|\\C6s 18.15.7 更高级的对话框 380 wo(O+L/w 18.16 Types语句 384 |-/@3gPO 18.17 打开文件 385 jMI30 18.18 Bags 387 {RI^zNgs[ 18.13 进一步研究 388 o ?05bv 19 vStack 389 (
EJ1g^|" 19.1 vStack基本原理 389 Il@K8?H@ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 lj&\F|-i 19.3 五棱镜 393 |;Jt*
_ 19.4 光束距离 396 kkHK~(>G 19.5 误差 399 W!XBuk- 19.6 二向分色棱镜 399 qrw*?6mSQ 19.7 偏振泄漏 404 ;t9_*)[ 19.8 波前误差—相位 405 Px?"5g#+ 19.9 其它计算参数 405 .c<U5/ 20 报表生成器 406 }I}GA:~$% 20.1 入门 406 +[n#{;]< 20.2 指令(Instructions) 406 =m (u=|N3 20.3 页面布局指令 406 rf+}J_ 20.4 常见的参数图和三维图 407 E,?IIRg& 20.5 表格中的常见参数 408 b9?Vpu`? 20.6 迭代指令 408 8kU(>' ^_: 20.7 报表模版 408 #huh!Mn 20.8 开始设计一个报表模版 409 \+U;$.)3 21 一个新的project 413 9&^5!R8 21.1 创建一个新Job 414 IpzU=+h 21.2 默认设计 415 P;gd!Yl<- 21.3 薄膜设计 416 a[zVC)N0 21.4 误差的灵敏度计算 420 4<1V 21.5 显色指数计算 422 $d-yG553 21.6 电场分布 424 {GT5 后记 426 #H Jlm1d 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 INk|NEX M{)eA<6
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