摘要 )#`&[9d-
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光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 zw iS%-F
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任务说明 . lNf.x#u
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简要介绍衍射效率与偏振理论 @Qp#Tg<'
某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 n9-W Zsc1
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： Lg|d[*;'7
/!`xqG#
其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 U"~W3vwJ
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： jX^_(Kg
;kT~&.,y
因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 *.Z~f"SZy*
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光栅结构参数 ) t CNp
研究了一种矩形光栅结构。 P4+PY 8
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 M Ih\z7gW
根据上述参数选择以下光栅参数： ! / =.~B
光栅周期：250 nm 3e1P!^'\
填充因子：0.5 "b%FkD
光栅高度：200 nm QZ*gR#K]Sz
材料n_1：熔融石英（来自目录） !0F+qzGG7
材料n_2：二氧化钛（来自目录） p+d O w #
0Q)YZ2
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偏振态分析 OB*V4Yv
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 <y&&{*KW8m
如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 &y(%d 7@/
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 9Hd_sNUu\
2 gR*] ?C*
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模拟光栅的偏振态 2<n@%'OQp
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： !SIk9~rJ
在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 B&6 lG!K'?
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 vTTXeS-b
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 ia_l P
VKf&}u/
Passilly等人更深入的光栅案例。 -:OJX #j
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 0N$FIw2
因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 Lj3Pp$h
Lw%_xRn)
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光栅结构参数 1Kd6tnX
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 =itQ@ ``r
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。 t[@>u'YKt
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 5pK
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但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 `csZ*$7
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光栅#1——参数 J0oeCb
假设侧壁倾斜为线性。 76KNgV)3
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 wm_rU]
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。 -3guuT3x\
光栅周期：250 nm DUh\x>^
光栅高度：660 nm b6p'%;Y/
填充因子：0.75（底部） m^=El7+
侧壁角度：±6° =O-irGms*
n_1：1.46 j 4+Px%sW
n_2：2.08 n?;rWq"
F=e-jKogK
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光栅#1——结果 /,UnT(/k(
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。
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与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 =I@I
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光栅#2——参数 )*S:C
假设光栅为矩形。 /
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忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 zn7)>cQ905
矩形光栅足以表示这种光栅结构。
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光栅周期：250 nm ,v,rY'
光栅高度：490 nm
E)ZL +(
填充因子：0.5 X 8R`C0
n_1：1.46 Lj9RF<39g
n_2：2.08
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光栅#2——结果 [ ~ 2imS
这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 ^gZ,A]
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 (xRcG+3];
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