[技术]严格分析和设计抗反射蛾眼结构 [复制链接]

摘要 C0[Z>$  
1wt(pkNk  
   xL\R-H^c]  
对于许多光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射纳米和微米结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚波长领域，具有独特的波长和角度依赖性质。本文介绍了在VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。 A)641"[  
DRmN+2I  
设计任务 zz1]6B*eX  
DH'0#  
'<%;Nv  
连接建模技术：蛾眼结构 Usf7 AS=  
   3#~w#Q0%  
=6< Am  
光栅阶数分析器 2PG= T/  
   97MbyEE8J  
4=7h1qex  
元件内场分析器：FMM 4NRG{FZ9  
\4"01:u'  
r>;6>ZMe  
参数运行 %tT=q^%5  
be+tAp`  
JQk][3Rv  
参数优化 Ob m%\h  
l@<yC-Xd  
B|.8+Q  
模拟结果 K4j2xSGeo  
tP0!TkTo9  
通过计算器进行参考测量 Ncsk~=[  
[FN4_  
7MhN>a;A\  
结构内的场 CZ}%\2>-v  
N9X`81)t  
UY`U[#  
OVhtU+r  
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 'o% .Qx  
*|^}=ioj*  
~-K<gT/  
初始解决方案 #1 的参数优化 ^K`Vqo  
CvB)+>oa  
@&}~r  
最终设计 #1 的性能分析 J>%uak<  
ODE^;:z !  
初始解决方案 #2 的参数优化 oC >l|?h,  
vu=`s|R  
3iv;4e ;  
最终设计 #2 的性能分析 ,n\'dMNii