摘要 PZpwi?N
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_*t( 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
GU'5`Yzd9 U3lr<(r* 设计任务 VR_+/,~ =Gd[Qn83.% {L$b$u$7: 连接建模技术:蛾眼结构 ]-%ZN+ jXi<ZJ )dF(5,y) 光栅阶数分析器 A
i9*w?C I2j;9Qcz )0AE*S 元件内场分析器:FMM 4>Uo0NfL
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J-?\,N1R7 T,7Y7MzF 模拟结果 pJa FPO..| .&@|)u 通过计算器进行参考测量 .2xypL8(
V]k!] tO[+O=d 结构内的场 FbFUZ^Zj A$XjzTR ~g|e?$j U"m!f*a 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 jcq(=7j 0M8JE9 Kx f!LZT! y 初始解决方案 #1 的参数优化 wmo'Pl ~BS*x+M { tR=D_5 最终设计 #1 的性能分析 ^Y'J0v2 1v2wP2]|; 初始解决方案 #2 的参数优化 34;c00 g=U?{<8.m g+k6pi* 最终设计 #2 的性能分析 XIjSwR kYJ