摘要 RrLiH> i7H([b<_m P.(UbF d' 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
W@}@5,}f> QmBHD;Gf 设计任务 &Hw:65O |mhKD#: XzAXcxC6G 连接建模技术:蛾眼结构 yc0
1\o ~Dg:siw TrDTay 光栅阶数分析器 fTmJDUv+ @G&oUhS e\z,^ 元件内场分析器:FMM ,5 ,r. *r>Y]VG;S ZZi9<g1 参数运行 IlEU6Rs
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[ 参数优化 uJ"#j
X ;4+z~7Je]^ c'$y_] 模拟结果 ~,W|i +46& Zb35 通过计算器进行参考测量 DI{Qs[ L< s2sJJdN 结构内的场 D[T\_3W @>`N%wH' 8hV4l'Pa72 L `2{H%J` 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 d3oRan}z JA >&$h r 8N<<^ 初始解决方案 #1 的参数优化 g9GPyU 6\h*SBI?( =
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