摘要 y
T1Qep kT } '" R6WgA@Z|r 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
&Lt$a_y> afP&+ 5t@O 设计任务 wMPw/a; :z0>H5 gA 6h 5F)_ 连接建模技术：蛾眼结构 0@FM^ejA# cf [u%{
6Y ,b.4uJg' 光栅阶数分析器 CAo )v,f t+4Y3*WeGF eDM0417O( 元件内场分析器：FMM *_).UAP. c] >&6-;rf >2Qqa;nx| 参数运行 ID)gq_k[8, :kiO ~ Dp:j*H 参数优化 4{pemqS* N7I71q| ssJDaf79 模拟结果 t{S{!SF4 ZV q 通过计算器进行参考测量 [ls ?IFg X,Q=n2X?3 4wj| 结构内的场 hte9l) =@jM x^A" 61rh\<bn ;Y|~!%2~ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 }
@fu~V/ ,nChwEn >wS :3$Q 初始解决方案 #1 的参数优化 cJWfLD>2_! S. F=$z.% .kKwdqO+zB 最终设计 #1 的性能分析 Nj-rZ%& 1DlcO>#@ 初始解决方案 #2 的参数优化 %1?V6 & dbUZGn~ Fee WZe0i 最终设计 #2 的性能分析 v{{2<,l
