摘要 dAkgR~
#nK>Z[ zhpt%7So 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
w(/aiV Q2F+?w;, 设计任务 @!yMIM%P uFPF!Ern Od5JG .] 连接建模技术:蛾眼结构 =p=rg$? /qy-qUh3h I~Zh@d% 光栅阶数分析器 .2v_H5< |>tKq;/ /iJ4{p 元件内场分析器:FMM 37|&?||
V9dF1Hj }DK7'K 参数运行 [N#,K02mk 6u7?dG'4 C86J
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Ux}(?Z \0vr>C 模拟结果 O2f-5Y$@ pXtX jb 通过计算器进行参考测量 g#t[LI9(F[
qCqFy#Ms\ glF; eT 结构内的场 |qmu_x\ %Cv D-![0 }9W4"e 2) 8=Z9T<K 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 t`,`6@d P%(O| */|9= $54 初始解决方案 #1 的参数优化 A3iFI9Iv Ksy -e{n TG+VEL |T 最终设计 #1 的性能分析 @ vrV*! "0cID3A$ 初始解决方案 #2 的参数优化 A?t%e Vy938qX 2VJR$Pao 最终设计 #2 的性能分析 mM-8+H?~b