摘要 v|IPus|>
^HJvT)e4 uY{zZ4iw 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
DhN{Y8'~ j#}wg`P"A 设计任务 q1rBSlzN G~z=,72 MIV<"A 连接建模技术:蛾眼结构 V*xo3hU #%Z 0! ZGILV 光栅阶数分析器 YkOl@l$D 9%+Nzo(Fd
BHmmvbM#Qm 元件内场分析器:FMM .b.pyVk
<1t.f}}uX mEL<d,XhI 参数运行 .A(QqL> XH^X4W ,iUWLcOM 参数优化 |hx"yy'ux
!p:kEIZ)y p"%K(NL 模拟结果 9' $\GN{0 +c7e[hz 通过计算器进行参考测量 3pzp6o2
8iv0&91Z }u3Q*oAGl 结构内的场 I_?+;<n V-1H(wRu Z<P?P` m`;dFL7"E 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ":qhO0 xE$>;30b_ D)O2=aQ;] 初始解决方案 #1 的参数优化 nj90`O.K
Rcn6puZt PZ#\O 最终设计 #1 的性能分析 ^ gy"$F3{` hFW{qWP 初始解决方案 #2 的参数优化 D+nKQ4 "c9T4=]&t ES4[@RX 最终设计 #2 的性能分析 j1Ns|oph1