摘要 4Y}{?]>pu
-|&&lxrwh ABnJ{$=n# 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
&qae+p? 7,Q>>%/0P 设计任务 ^1,VvLA+ #qdfr3 lH1gWe 连接建模技术:蛾眼结构 W v!%'IB {3*Zx"e![ D1f}g 光栅阶数分析器 a}/ A]mu 5TS&NefM L+2<J,
元件内场分析器:FMM 7y'2
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n]fMl:77 {#4F}@Q 结构内的场 j)b[7% g.T:72" ^K'@W <#F@OU 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 \*5${[ E8]kd ;dZuO[4\ 初始解决方案 #1 的参数优化 -|_MC^) ![j?/376 oA]rwaUX 最终设计 #1 的性能分析 ~l"]J'jF"H b,uudtlH 初始解决方案 #2 的参数优化 ![9umsx ]YWz;Z Wg!JQRHtT 最终设计 #2 的性能分析 2nkymEPu