摘要 $W*|~}F/Ap
p;e$kg1 hk.yR1Y| 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
X\mz+al>[ (M8hy4Ex 设计任务 *(p7NYf1 Wz5=(<{S (FG^UA#' 连接建模技术:蛾眼结构 ]<q'U> N =+4 _j /:KQAM0 光栅阶数分析器 S?2YJl8B p>&S7M/9 ]K*GSU 元件内场分析器:FMM E9L!)D]Y
e z+yP,.# 19) !$Hl 参数运行 CdNih8uG *V -ds8AQ `yx56 参数优化 j6}$+!E
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X>PefR 初始解决方案 #1 的参数优化 @~hz_Nm@8 l:x_j\ g*28L[Q~ 最终设计 #1 的性能分析 x~nQm]@`h j37: 初始解决方案 #2 的参数优化 I0(8Z]x =<TO" ,;c{9H 最终设计 #2 的性能分析 =:;YTie