摘要 A$a>=U|Z8
L4x08 e \GFFPCi4D 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
@'ln)RT, !idQ-& 设计任务 Ug1[pONk iYE7BUH= V|njgcn d 连接建模技术:蛾眼结构 ="<S1}. r@.3.Q |
WN9& 光栅阶数分析器 1;Q>B>6 4P(ysTuM ZnVx'Y 元件内场分析器:FMM [/Figr]
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[:MpOl-KIz `"#0\Wh 结构内的场 {;kH&Pp 2 ~zo)G0 (K}Md~ ' >F_y t9 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 '~Z#h P MUs~ZF DOzJ-uww1 初始解决方案 #1 的参数优化 R06zca jl:dKL@ AVx 0aj 最终设计 #1 的性能分析 2|8&=K / a33SY6. 初始解决方案 #2 的参数优化 ;44?`[oP j$f `:A bO:m^* 最终设计 #2 的性能分析 sHr!GF