摘要 U(g:zae
}@+0/W?\. :U%W% 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
$k%2J9O .@U@xRu7| 设计任务 }<SQ @o _}g !9= Rtl"Ub@HV 连接建模技术:蛾眼结构 ,!y$qVg'\f 4F'LBS]=0 AjMh,@ 光栅阶数分析器 `?_Q5lp/s h(_57O: 5x4yyb' 元件内场分析器:FMM E
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mnX2a }@q`%uzi 结构内的场 #a,PZDaE k(G^z f+)L#>Gl? L48_96 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 D8?Vn" +_oJ}KI {Gk1vcq 初始解决方案 #1 的参数优化 {]@= ijjf 08\,<9 vw/J8' 最终设计 #1 的性能分析 (vJNHY M {ROVvs` 初始解决方案 #2 的参数优化 >tV{Pd1 y/7\?qfTk 4p;`C 最终设计 #2 的性能分析 _8UU'1d