摘要 Z79 6; qk tBkgn3w 4S*ifl 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
n CwA8AG =RXeN+
&R 设计任务 59$PWfi-\ IAzFwlO9 8 pf]M& 连接建模技术：蛾眼结构 #/Ob_~-? j q_ ^y ma R|}4H*N 光栅阶数分析器 PSv 5tQhm Py #EjF12 ,<!*@xy7v 元件内场分析器：FMM O Lt0Q.{ [(g2 u@ Z&?4<-@6\p 参数运行 \: F$7 *Ne P<Z` 8a[ 6:S,
{@G 参数优化 ~tT n7[! sqpo5~ 8ZbXGQ 模拟结果 \15'~ ]d OcWKK !A 通过计算器进行参考测量 &b^_~hB:q \VEnP=*:W >Vx_Xv`Jwb 结构内的场 %Iflf ]l l
x;87MDs &n8Ja@Y] qT$ IV\;_ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 LCS.C(n, ` ;mQ"lO \"RCJadK 初始解决方案 #1 的参数优化 P@G U2[ 1 K" t? xMQ >,nZ 最终设计 #1 的性能分析 k 4<28 #?r|6<4X 初始解决方案 #2 的参数优化 1yz%ud-l ks phO- Z~h6^h 最终设计 #2 的性能分析 "(W ;rl
