摘要 "5,Cy3
o 8^!wGY L!5="s[} 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
a#Z#-y! hNcEBSQ 设计任务 S ="\ S F%ukT6xp Ov:U3P?% 连接建模技术:蛾眼结构 tPJU,e) ?6[u\V BW`Tw^j 光栅阶数分析器 QSYKYgxC ->'q /ubGa6N 元件内场分析器:FMM (:#4{C
>\Iy <M &~)1mnv. 参数运行 L@ N\8mf _A$V~Hp9q Ip,0C8T`Q 参数优化 }N3Ur~X\
DQ6pe)E| AIQ]lQ( 模拟结果 yle~hL |msQ 通过计算器进行参考测量 t2-bw6U
t-hN4WKH_A IrP6Rxh 结构内的场 g;nPF*(
ra\2BS)X 1B`0.M'd =H^^A G\} 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 f;W>:`' bJ.68643 ")qO#b4 初始解决方案 #1 的参数优化 !B*d,_9c 0K^G>)l A.S:eQvS% 最终设计 #1 的性能分析 (XA]k%45 0V#eC 初始解决方案 #2 的参数优化 c:`&QDF )Chx,pcx< +(2mHS0_a 最终设计 #2 的性能分析 !7kca#,X