摘要 X]wRwG
BYVY)<v/ ;\14b?TUH 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
Rm255zp D ,o}el 设计任务 rA%usaW p<,*3huj (9Ux{@$o[ 连接建模技术:蛾眼结构 mi,E- L"o>wYx B9NWW6S 光栅阶数分析器 ihIVUu-M MP_ ~<Q HY&aV2|A1 元件内场分析器:FMM +n{#V;J
i}.&0Fp NbgK@eV}+{ 参数运行 B0dQ@Hq* }\\KYyjY P<X\%_Iat 参数优化 C71qPb|$R
n%-R[vW 4^WpS/#4 模拟结果 NQ(1 5|o6v1bM 通过计算器进行参考测量 +a^nlW9g
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