摘要 U"RA*|
!dq$qUl/ -tIye{ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
UD=[::## jO-T1P']Y 设计任务 6 2#@Y-5 {53|X=D64 nC(Lr,( 连接建模技术:蛾眼结构 (8baa.ge ~O~iP8T _(-i46x} 光栅阶数分析器 /dO*t4$ @? w75Ro6y uFA}w:Fm 元件内场分析器:FMM P?^%i
`A9fanh 8DX5bB 参数运行 m>|7&l_ jvxCCYXR 0{
_6le] 参数优化 &@FufpPw/
z%BX^b$Hj Jd~M q9( 模拟结果 k!bG![Ie| I@5$ <SN 通过计算器进行参考测量 B2Rpd &[
5g.w"0MkY MV w.Fl 结构内的场 BNe>Lk o \r9E6LLX' -g:i'e !Na@T]J 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 X,c`,B03 Nv|0Z'M 2'@D0L 初始解决方案 #1 的参数优化 );h Rn`DUYg -p%cw0*Y]C 最终设计 #1 的性能分析 I2krxLPd RP^vx`9h 初始解决方案 #2 的参数优化 gLY15v4? i9V, nN^lY=3 最终设计 #2 的性能分析 ~1aM5Ba{