摘要 %xruPWT:k vqHJc2yYkZ vOS0E^ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
>tzXbmFp; E.3}a>f 设计任务 :6 fQE#(s& qw/{o:ce] L_r &'B 连接建模技术:蛾眼结构 K_aN7?#.v` i<?4iwX%i* ]4yvTP3[Rm 光栅阶数分析器 yM2&cMHH~ O /&%`&2 lN'/Z&62 元件内场分析器:FMM jJvNN -^ yd~fC:_ ] B@=<'/S\7 参数运行 E0Djo'64 /z5lxS@# GP$Y4*y/ 参数优化 OKVYpf /WfVG\NF u^9c` 模拟结果 ar|[D7Xrq\ (0Cszm. 通过计算器进行参考测量 ,LZ:y1z'V- x,dv~QU d@tr]v5 B 结构内的场 l'T0< <^Tj}5)n 02[II_< 1 ArYF\7P 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Y ,yaB)&Ih jVIpbG44 BT3O_X`u 初始解决方案 #1 的参数优化 hhGpB$A @UX@puK`/ J"rwWIxO* 最终设计 #1 的性能分析 #:|?t&On [{F7Pc 初始解决方案 #2 的参数优化 29^bMau)v SWb5K0YRn )yW_O: 最终设计 #2 的性能分析 ,d>~='