摘要 ,F|49i.K SmP&wNHQ f YO.+ 06X 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
KW36nY\7 SQG9m2 设计任务 U]E~7C Fy^8]u*Fu S UoUXh^!w 连接建模技术：蛾眼结构 #.@D}7y5 :RX zq C gF|u%_y-qt 光栅阶数分析器 EHq?yj; F{m?:A j;&su=p" 元件内场分析器：FMM U ,\t2z #ChF{mh 7Rr
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* eC$ Jdf ]n4G]ybK% 参数优化 *b(nX,e JjH141 n%D Fau24-g 模拟结果 yt `K^07@ mv`ND& 通过计算器进行参考测量 vSJ#
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dU Smb ALp|fZ\vp SO JkeN 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ! X<dN.. -j}zr yG- AKUmh 初始解决方案 #1 的参数优化 hyC]{E 89%#;C /,^AG2]( f 最终设计 #1 的性能分析 ~d=Y98'xS Zopi;O J 初始解决方案 #2 的参数优化 Gs NZr=;C 6F3FcUL j:'8yFi_ 最终设计 #2 的性能分析 9at_F'> R
