摘要 H<d~AurX)J f|{iW E2d dlYpbw}W&< 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
fo ~uI(rk ?.e,NHf 设计任务 >.meecE?Q 3;>ls~4 8}|et~7! 连接建模技术：蛾眼结构 Ty g>Xv 5%} e j)@ $d*9]M4 光栅阶数分析器 Im;%.J NY7yk3 K1@ Pt} 元件内场分析器：FMM nH#>_R
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KQr+VQdq> DhE-g< LdZVXp^ 结构内的场 WE\TUENac( t]HY@@0g 5m1J&TZ0 nQc,^A)I 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 D7hTn@I ]y@A=n R z$J m1l 初始解决方案 #1 的参数优化 AYn65Ly @1*^ttC Rzd` MIHDp 最终设计 #1 的性能分析 %n | 7D AP_ C 初始解决方案 #2 的参数优化 ^`cv6;) <{#_;7h" \OW:- 最终设计 #2 的性能分析 3X gJZ
