摘要 gA3f@7}d gv i!|!M= "v0SvV<7 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
Vs
Z7 n~e (m=1yj9 设计任务 U!E}(9
tb n-,mC /4 P\QbMj1U 连接建模技术：蛾眼结构 OI3j!L2f YkFERIa076 FP Pl^ 光栅阶数分析器 h`( VMf'# u:B=lZ [ ml!c0 < 元件内场分析器：FMM &5G@YQD1e .YP&E1lNi 'Asr,[]? 参数运行 'q RQO(9&m `tXd?E/e V ZtFgN$J 参数优化 Y^ ;izM} ~dP\0x0AB /}iBrMD{[ 模拟结果 ; E >#qYC6 w@n}DC Ft 通过计算器进行参考测量 #7}YSfm^6 <Z\{ijfvD x uVc1jJH 结构内的场 %% )y4>I Tks"GlE*D !\O!Du N[v=;& 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 . [3C m}S }fH( mZuLwd$0 初始解决方案 #1 的参数优化 "/2kf)l{4 WT3g31 _N>#/v)Yi 最终设计 #1 的性能分析 ]1W ] VUz+ _) 初始解决方案 #2 的参数优化 b ):aqRwP G2+ gEg tF./Jx]_ 最终设计 #2 的性能分析 v "o@q2f_
