摘要 xHMFYt+0$G
4(p`xdr}K p6Z|)1O] 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
.G#li(NWH ;tSAQ 设计任务 qV6WT&)T . P+Qu
=r*Ykd;W|E 连接建模技术:蛾眼结构 <z\ `Ma Nte$cTjX /ywP
0 光栅阶数分析器 em'ADRxG+ _ OC@J*4. hGkJ$QT 元件内场分析器:FMM *~>p;*
T;?k]4.X $dF3@(p 参数运行 (|F.3~Amq [}]yJ+) 1)MDnODJ 参数优化 _&/ {A|n
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S 初始解决方案 #2 的参数优化 ##*]2Dy k%sH0 9 6:O<k2=2 最终设计 #2 的性能分析 NOuG# P