摘要 P0%N
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&mN'Tk VHXI@UT* 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
?,ZELpg n V";mWws+?# 设计任务 5f;n<EPy &Ki>h A",eS6 连接建模技术:蛾眼结构 Sm$p\ORa T ;i?w 0JmFQ^g( 光栅阶数分析器 f{)+-8 9#v-2QY @%6)^]m}r 元件内场分析器:FMM 9{_8cpm4
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ByJc 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 59V#FWe- O/mR9[} ]JH64~a 初始解决方案 #1 的参数优化 "[k1D_PZ TYYp"wx *D2Nm9sl 最终设计 #1 的性能分析 WrNLGkt X4a^mw\" 初始解决方案 #2 的参数优化 M|d={o9Hp IE2CRBfs ]fj- `== 最终设计 #2 的性能分析 KE<kj$