摘要 =nw0# ' -? Ejbko d _uF Y: 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
<0>[c< {V< BPqw Dj W 设计任务 {RH*8?7 Nv{eE<<6 _Po#ZGm~ 连接建模技术：蛾眼结构 L/5z ! "s${!A ) M",];h(I6( 光栅阶数分析器 l =,.iv=W )#Y|ngZ_> PJ}[D.elO 元件内场分析器：FMM Okk hP ThbP;CzI#
%Dl_} 参数运行 VSx%8IM+X }~ V,_Fv pL%4= ]m 参数优化 ~ yd% ~| L+u OBW_ WVinP(#nfM 模拟结果 I>\} }! tjt=N\; 通过计算器进行参考测量 "\}21B~{7' ^fG`DjA) H RWZ0 ' 结构内的场 UQSX<6" 1 iquHn 9*f2 b.Aj 7G?I a%u 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 )ynA:LXx #DrZ`Aq ?! R %o 初始解决方案 #1 的参数优化 G[vUOEU ~O .0?ss0~ >c&4_?d&,A 最终设计 #1 的性能分析 9t.fij </8be=e7p 初始解决方案 #2 的参数优化 2lX[hFa5 >aX:gN -, [~~ 最终设计 #2 的性能分析 4S^
