[技术]严格分析和设计抗反射蛾眼结构 [复制链接]

摘要 g4?2'G5m?  
jv)+qmqo!  
   Al$z.i?R  
对于许多光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射纳米和微米结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚波长领域，具有独特的波长和角度依赖性质。本文介绍了在VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。 Sn=6[RQ>P  
;_}pIO  
设计任务 jPh<VVQ$@  
5y#,z`S  
wh:;G`6S  
连接建模技术：蛾眼结构 h
RkCB  
   }M07-qIX{  
t@%w:*&  
光栅阶数分析器 j7I=2xnTWu  
   u~uzKG  
>* -IIo  
元件内场分析器：FMM is.t,&H4P]  
Wf~^,]9N  
8}QM~&&.  
参数运行 !3b& S4  
66=[6U9 *  
x9lA';})  
参数优化 pc`P;Eui  
-E-#@s  
H%_^Gy8f  
模拟结果 g~U
(w  
osp~)icun  
通过计算器进行参考测量 oz!)x\m*H  
j\}.GM'8  
VU3RFl  
结构内的场 N/a4Gl(  
2Bcc
E  
[4Q;(67  
9q;O`&  
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 +Mj6.X  
1?'4%>kp  
{vu\qXmMv  
初始解决方案 #1 的参数优化 ing'' _  
P\"kr?jZP  
G(E1c"?  
最终设计 #1 的性能分析 **q8vhJM  
fUw:jExz  
初始解决方案 #2 的参数优化 [$dVs16K  
U,rI/'  
+d, ~h_7!  
最终设计 #2 的性能分析 J6 ~Sr