摘要 7x>^ip"7
>!s<JKhI #&?ER]|3 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
OZe&p iz^uj 设计任务 YW&K,)L@
I[\7Bf f7\X3v2W}3 连接建模技术:蛾眼结构 g=Xy{Vm
9t)Hi qj RH<2f5-sC! 光栅阶数分析器 M(K7xx+G em3+V JN+7oh]u 元件内场分析器:FMM l~o!(rpX
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gs3(B/";c X5/fy"g& 模拟结果 xcWR#z{z SN ?Z7 通过计算器进行参考测量 axvZA:l
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U,FUS `b8nz 7 06 %-tAq: P8By~f32_ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 N6-7RoA+ lkTA"8d "0jwCX
Cu 初始解决方案 #1 的参数优化 m=@xZw< ;k `51=Wi U?f-/@fc 最终设计 #1 的性能分析 d;l%XZe f<