摘要 +p6cG\Gp
4a3Xz,[(a \l!^6G|c 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
E*V UP5E #;FHyKx 设计任务 ]"bkB+I 9Fb|B }YUUCq& 连接建模技术:蛾眼结构 #?%akQ+w U: 6 J ~ sute%6yM 光栅阶数分析器 L4Ep7= l%"[857 b]S4\BBT 元件内场分析器:FMM FlJ(V
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}izTI x`N_tWZ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 =hE5 ?}EP+ gM=oH
A:Y]<jt 初始解决方案 #1 的参数优化 Qx,?v|Xg s8w7/*<d 5`m RrEA 最终设计 #1 的性能分析 c +Pg[1- # Sfz^
初始解决方案 #2 的参数优化 =XWew* cJ9:XWW HfN-WYiR 最终设计 #2 的性能分析 kIS&! V