摘要 }mjJglK!N ` L(AvSR K_iy^|0)5] 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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GE1 qAsZ,ik 设计任务 iQczvn)"m 2kTLj2 @o, &(fB+VNrOH 连接建模技术：蛾眼结构 Jy 'ge4]3 [_jTy;E TxhTK5#f 光栅阶数分析器 BJ3st vgzNT4o H1uNlPT 元件内场分析器：FMM IKM=Q.
7j L&qzX) kb?QQ\e 参数运行 VVdgNT|}W 4WnB{9
i`I "D7*en 参数优化 Urhh)i W'\{8&: ! pR8]HNY0 模拟结果 NDhHU#Q9 yV :DR 通过计算器进行参考测量 22L#\qVkl tvptaw A. o<e AZ 结构内的场 v N%zk(?T WlVC0& `j088<?j Vtm5&- 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 S%b7NK raGov` 9r X[z : 初始解决方案 #1 的参数优化 VrhG=CK w%cd $"EH x~ xaE*r 最终设计 #1 的性能分析 -^8gZk/(W MpM-xz~ 初始解决方案 #2 的参数优化
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