摘要 vSo1WS
83VFBY2q Kd*=- 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
yTf/]H]d YUTI)&y 设计任务 CtZOIx.;| yi2F#o 'K
Az/B/BLB 连接建模技术:蛾眼结构 0qW"b`9R |O;vWn'U2 FM|3'a-z 光栅阶数分析器 EXR6Vb, o
^ 08< un}!&*+ 元件内场分析器:FMM 4~2 9,
w%(D4ldp bk]g}s 参数运行 fZQ2<*)pqO h~O^~"jc WP'.o 参数优化 d+"F(R9
_>3#dk w*X(bua@ 模拟结果 uH#X:Vne O\h%ZLjfO 通过计算器进行参考测量 AYDAt5K_
"BIhd*K[~ bD?gwhAKA 结构内的场 8Nx fYA 2nCHL'8N 'r1X6?dJ /?a9g>G%N 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ,l.+$G T
"#DhEM =L`PP>"rW 初始解决方案 #1 的参数优化 :d~mlyFI6P E+/XKF # wyjb:Ql 最终设计 #1 的性能分析 l9n$cv^ Jgy6 !qUn_ 初始解决方案 #2 的参数优化 AdbTI#eY !j3Xzn9 "V5_B^Gzb] 最终设计 #2 的性能分析 UG]x CkDS