摘要 #zf,%IYF
'^|u\$&U ?<;9=l\Q 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
n[KL Y! d6+$[4w 设计任务 +,Ud 3iS W(jOD,QMB WEaG/)y 连接建模技术:蛾眼结构 w!%"b03q c80Ffq MD):g@ 光栅阶数分析器 9 _oAs"w JW},7Ox Y&uwi:_g 元件内场分析器:FMM A.9ZFFz
/2f +$YHdgZ. 参数运行 BHu%x|d g:fkM{"{ un F=";9H 参数优化 Nov)'2g7G
Ro@=oyLE EJW}&e/ 模拟结果 XiL[1JM
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0[$ 通过计算器进行参考测量 p:NIRs
OQ&'3hv{ I~ 1Rt+: 结构内的场 h'nXV{N0 s'^sT=b 7_Op(C4,nC 0z$::p$%u 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 _Rb>py tfCK^{ :w<Ga8\tZ 初始解决方案 #1 的参数优化 K`0'2 #F=!g? 5S*aZ1t18 最终设计 #1 的性能分析 n_{az{~ ._q}lWT 初始解决方案 #2 的参数优化 =[:pm) vD^Uod1 6)veuA3] 最终设计 #2 的性能分析 FL{$9o\@