[技术]严格分析和设计抗反射蛾眼结构 [复制链接]

摘要 4[q'1N6-  
Z{'.fq2A  
   Z.!tp  
对于许多光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射纳米和微米结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚波长领域，具有独特的波长和角度依赖性质。本文介绍了在VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。 KDt@Xi6||  
4JOw@/nE  
设计任务 D4';QCwo  
A4C4xts]N  
\a\J0&Z  
连接建模技术：蛾眼结构 |dLA D4%  
   kaKV{;UM  
P:`tL)W_  
光栅阶数分析器 d5b \kRr  
   *ud"?{)Z  
6[iuCMOZ  
元件内场分析器：FMM BkZmE,  
T[$! ^WT  
HizMjJ|  
参数运行 c= f_  
/CXrxeo  
S7/0B4[  
参数优化 wF@mHv  
9!aQ@ J^  
{{3n">s}:  
模拟结果 M=HP!hn  
p_K``JE  
通过计算器进行参考测量 k@,&'imx  
wK0= I\WN9  
KINKq`Sx  
结构内的场 =K#12TRf  
8ec6J*b  
oH[4<K>  
^5"2s:vP  
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 k!%[W,*  
.H.#W1`  
{nl]F  
初始解决方案 #1 的参数优化 %Pz'D6 /  
&7gL&AY8  
N[(ovr  
最终设计 #1 的性能分析 5>o<!0g  
!3E %u$-}  
初始解决方案 #2 的参数优化 {;iG}jK  
>9h@Dj[|!  
U?%1:-#F  
最终设计 #2 的性能分析 M-  f)\`I