摘要 X"EZpJ'W
EC`=nGF _)XZ;Q 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
FnWN]9 r>_40+|& 设计任务 7wz9x8 \t R|'ftFebB. C-tkYP
连接建模技术:蛾眼结构 ko+fJ&$ <X"_S'O p?V@P6h 光栅阶数分析器 EN/r{Cm$B e pGC
Ta Msst:}QY 元件内场分析器:FMM #t<
F&u)wI' k{C03=xk 参数运行 :um]a70 $i|d=D&t B*OBXN>'P 参数优化 bR'UhPs-8;
Id^)WEK4 V {C{y5 模拟结果
{v}BtZ Qpocj: 通过计算器进行参考测量 d=eIsP'h
MG:eI?G/' ;:1o|>mX 结构内的场 `Rx\wfr} !6FO[^h||H [=]LR9c4 ~s2la~gu 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 "_
H9]}Q +lw8YH ~v6]6+ 初始解决方案 #1 的参数优化 2#Du5d |a!]Iqz"N td 5!
S] 最终设计 #1 的性能分析 fk2p} R q`j|tY 初始解决方案 #2 的参数优化 8}K4M( #+8G` wY=k$ 最终设计 #2 的性能分析 ![&9\aH