摘要 DDEn63{ Fk\xq`3'c Q\Eq(2p 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
P'+*d#*S -JK +{< 设计任务 J.*=7 zmw $A ,=z ]z,?{S 连接建模技术：蛾眼结构 C*$/J\6xy r BL)ct 3
V<8 光栅阶数分析器 h
? M0@Z AMr 9rB d GU xhCoxb 元件内场分析器：FMM Nb6HM~ #{(rOb6H) [3s~Z8
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Z-:`{dns/ 参数优化 ?s//a_nL* *QL brR iR9iI!+;N 模拟结果 -(jcsqDk E4{8 $:q= 通过计算器进行参考测量 z K&`&("4C PrCq
JY m{g{"=}YR 结构内的场 <MYD`,$yu W< 2-Q, >Y \ <5xf<{ tP\Utl-0 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 SF6n06UZu 1@am'#< @M1U)JoQ 初始解决方案 #1 的参数优化 Vrnx# j-U ^^v!..V]J bV"0}|A~K 最终设计 #1 的性能分析 gG}<l ': N;htKcZ 初始解决方案 #2 的参数优化 t((0]j^ nPKj%g3h 76
y}1aa 最终设计 #2 的性能分析 6 R!0 v8
