摘要 x
Dr^&rC Gs9jX/# jjbw.n+1 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
I2/wu(~> '1{~y3 设计任务 [n^___7 %8-S>'g' 5QT9 连接建模技术:蛾眼结构 md2kZ.5u :,u+[0-S tJn2:}-s 光栅阶数分析器 vSyN_ AB?$ kOjq LA W"0 # 元件内场分析器:FMM 2V0R|YUt l&yR-FJ7KY {P3,jY^ 参数运行 f9rToH I2Us!W>6- 1,mf]7k$ 参数优化 OGVhb>LO1 `BvcIn4do xtnB:3 模拟结果 zz9.OnZ~ ?L
$KlF Y 通过计算器进行参考测量 ,yT4(cMBk? &sllM RHBEC@d[} 结构内的场 M-Js"cB[ V?gQ`( , 8sIGJ|ku vS0P]AUo 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 9}\T?6?8pX \}2Wd`kD f(C0&"4e 初始解决方案 #1 的参数优化 HOw][}M_w U8c0C/ QO
k%Q$^G 最终设计 #1 的性能分析 Jk~T.p?tF h%O`,iD2 初始解决方案 #2 的参数优化 SAoqq {L+?n*;CA <)}*S 最终设计 #2 的性能分析 OO$<Wgh