摘要 _u`NIpXSP b[^=GF>e h SZ0 }/ 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
*nB fF{y U8P nt|0 M 设计任务 VOYuog 5o 9 59i2z NX$S^Z\QI 连接建模技术：蛾眼结构 N#;k;Z'iL 8?GS :+ uv+ +Kj! 光栅阶数分析器 .EC/[fM web =AQ5I4 M- !eL< 元件内场分析器：FMM }mjJglK!N t5z6{` 7-M$c7S 参数运行 g8yWFqE!T ZDZPJp, 3z[yKua\ 参数优化 g1Q^x/ n% w36_ `x"0 模拟结果 x@F"ZiYD@O }b+tD3+ 通过计算器进行参考测量 }N_9&I "h/{YjUS -{>Nrx| 结构内的场 R>"E X q A/W-'%+` "HW~|M7>( .`!|^h%0 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 |X9YVZC Ox"4 y NIDK:q dR 初始解决方案 #1 的参数优化 J!,5HJh1 m:<cLc :. ZpPm>|w 最终设计 #1 的性能分析 Sd.i1w & YMG{xGPtM 初始解决方案 #2 的参数优化 ,UQ4`Mh^L uXuMt
a* Y >2 gemTy 最终设计 #2 的性能分析 M:OY8=V
