摘要 e57}.pF^ ]QJLES ~!E% GCyFy 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
T12?'JL^r .!\y<9 设计任务 B%6>2S =E Os?G_ziIB @C0{m7q 连接建模技术：蛾眼结构 HB\< nK [( B A:x1 q{ n~v>wU 光栅阶数分析器 q@~N?$> { .B^ Gn<s >3E 元件内场分析器：FMM $u|p(E:* I;qeDCM kpsus \T 参数运行 M}!7/8HUC j/TsHJ= RnPJ,Z5s&& 参数优化 l]%_D*<Y /( 8Usu?g. T) 6p,l 模拟结果 bmr.EB/ y BXdj`bV 通过计算器进行参考测量 lsCD%P t/yGMR= A-aukJg9 结构内的场 ;hA>?o_i( ,
?WTX [?r`8K2!, $xNM ^O 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 \CM/KrCR {-2I^Ym 5i fKY6stJE 初始解决方案 #1 的参数优化 '*MNRduE6 P#\L6EO. @\e2Q& O 最终设计 #1 的性能分析 /Z';# G,z HUuL3 lYka 初始解决方案 #2 的参数优化 rbS67--] ~'m
GGH2 *.K+"WS% 最终设计 #2 的性能分析 2>l4$G 0
